Buồng chân không thép không gỉ đánh bóng điện UHV 304 316L ít thoát khí cho các ứng dụng nghiên cứu bán dẫn

Bu UHV-grade điện cực đánh bóng buồng chân không thép không gỉ được chế tạo riêng cho các ứng dụng chân không siêu cao trong xử lý bán dẫn, nghiên cứu khoa học bề mặt và đặc tính hóa vật liệu tiên tiến. Được chế tạo từ thép không gỉ 304L hoặc 316L carbon thấp, buồng có bề mặt bên trong được đánh bóng điện hoàn toàn với độ nhám trung bình (Ra) là 0,4 μm hoặc tốt hơn, giảm đáng kể diện tích bề mặt hiệu dụng và giảm thiểu sự thoát khí phân tử. Tất cả các mặt bích tuân thủ tiêu chuẩn CF (ConFlat) với lớp đệm bằng đồng dẫn điện cao không có oxy (OFHC), cho phép hoạt động đáng tin cậy ở áp suất xuống tới 1x10^-8 Pa và thấp hơn. Mỗi buồng đều được kiểm tra rò rỉ heli và nung chân không tỉ mỉ trước khi vận chuyển, đảm bảo sẵn sàng UHV ngay lập tức cho các môi trường thử nghiệm và sản xuất nhạy cảm với ô nhiễm nhất.

• Bề mặt bên trong đánh bóng điện: Toàn bộ bề mặt bên trong trải qua quy trình đánh bóng điện được kiểm soát đạt Ra ≤0,4 μm, giúp giảm sự hấp phụ hơi nước, tăng tốc độ bơm xuống áp suất UHV và giảm áp suất nền có thể đạt được so với các phương pháp đánh bóng cơ học.
• Cấu tạo thép không gỉ 304L/316L carbon thấp: Việc lựa chọn các loại thép không gỉ carbon thấp ngăn chặn sự kết tủa cacbua crom tại các vùng ảnh hưởng nhiệt của mối hàn, bảo toàn khả năng chống ăn mòn và loại bỏ nguồn rò rỉ ảo phổ biến trong các hệ thống UHV.
• Hệ thống làm kín mặt bích CF: Tất cả các cổng sử dụng tiêu chuẩn mặt bích cạnh dao CF với đệm đồng OFHC, cung cấp các mối hàn kim loại-kim loại đáng tin cậy có thể chịu được các chu kỳ nung lặp lại lên tới 250°C mà không bị suy giảm.
• Thiết kế sẵn sàng nung: Hình dạng buồng, lựa chọn vật liệu và phần cứng mặt bích được thiết kế để chịu được gia nhiệt đồng đều lên tới 250°C để giải hấp nhiệt các khí hấp phụ, cho phép chuyển đổi nhanh chóng từ điều kiện tiếp xúc khí quyển sang điều kiện hoạt động UHV.
• Xác minh rò rỉ toàn diện: Mỗi buồng trải qua kiểm tra rò rỉ máy đo khối phổ heli đa điểm với giới hạn phát hiện là 1x10^-11 Pa·m³/s, và nung chân không đầy đủ trước khi chấp nhận cuối cùng, với các chứng chỉ kiểm tra riêng lẻ được cung cấp.
• Lựa chọn vật liệu thoát khí thấp: Các bộ phận bên trong và mối hàn được chế tạo độc quyền từ vật liệu tương thích với chân không, với việc sử dụng tối thiểu các thể tích bị kẹt và đường rò rỉ ảo làm ảnh hưởng đến thiết kế buồng chân không thông thường.
• Kiến trúc cổng mô-đun: Các kích thước mặt bích CF tiêu chuẩn từ DN16CF đến DN250CF có thể được đặt trên nhiều mặt buồng, phù hợp với các kết nối bơm tuabin, đồng hồ đo ion, bộ phân tích khí dư, đầu nối điện và cửa sổ quan sát để truy cập chẩn đoán quang học.

Buồng chân không đánh bóng điện UHV này tạo thành lõi quan trọng của thiết bị xử lý wafer bán dẫn, bao gồm các hệ thống phún xạ chùm phân tử (MBE), các trạm cấy ion và các lò phản ứng lắng đọng tăng cường plasma, nơi ngay cả một lượng ô nhiễm nhỏ nhất cũng có thể ảnh hưởng đến năng suất và hiệu suất của thiết bị. Trong các phòng thí nghiệm khoa học bề mặt, buồng cho phép thực hiện các thí nghiệm quang phổ quang điện tử tia X (XPS), quang phổ điện tử Auger (AES) và kính hiển vi quét đường hầm (STM) yêu cầu bề mặt sạch nguyên tử được duy trì trong điều kiện UHV. Buồng cũng phù hợp cho các bộ phận đường dẫn chùm tia gia tốc hạt, các trạm cuối bức xạ synchrotron và các cơ sở thử nghiệm đủ điều kiện không gian, nơi phân tích khí dư và kiểm soát ô nhiễm là yếu tố quan trọng của nhiệm vụ. Các triển khai bổ sung bao gồm lò ủ UHV để phát triển vật liệu tiên tiến và buồng tăng trưởng màng mỏng để chế tạo thiết bị lượng tử.

Sau khi chứng nhận rò rỉ heli cuối cùng và nung chân không, mỗi buồng UHV được nạp đầy khí nitơ khô, niêm phong bằng mặt bích mù CF bảo vệ và đệm đồng, và đóng gói hai lớp trong bao bì chống tĩnh điện cấp phòng sạch trước khi đặt vào thùng gỗ được nạp khí nitơ để vận chuyển. Các gói tài liệu bao gồm báo cáo kiểm tra rò rỉ heli riêng lẻ, chứng chỉ vật liệu với số lô, phép đo độ nhám bề mặt đánh bóng điện, hồ sơ tuân thủ kích thước và nhật ký nung trước khi vận chuyển. SYNVAC cung cấp phạm vi bảo hành toàn diện và hỗ trợ kỹ thuật ứng dụng chuyên dụng cho việc tích hợp hệ thống, quy trình vận hành UHV và bảo trì hiệu suất dài hạn.