محفظة تفريغ من الفولاذ المقاوم للصدأ مصقولة كهربائيًا 304 316L منخفضة الانبعاثات للتطبيقات البحثية في أشباه الموصلات

این محفظه خلاء فولاد ضد زنگ با درجه UHV و پرداخت الکترولیتی، به طور خاص برای کاربردهای خلاء فوق بالا در پردازش نیمه‌هادی‌ها، تحقیقات علوم سطوح و مشخصه‌یابی مواد پیشرفته ساخته شده است. این محفظه که از فولاد ضد زنگ کم کربن 304L یا 316L ساخته شده است، دارای سطح داخلی کاملاً پرداخت الکترولیتی با میانگین زبری (Ra) 0.4 میکرومتر یا بهتر است که به طور چشمگیری مساحت سطح مؤثر را کاهش داده و خروج مولکولی را به حداقل می‌رساند. تمام فلنج‌ها مطابق با استاندارد CF (ConFlat) با آب‌بندی واشر مسی با رسانایی بالا و بدون اکسیژن (OFHC) هستند که امکان عملکرد قابل اعتماد در فشارهای تا 1x10 به توان منفی 8 پاسکال و پایین‌تر را فراهم می‌کند. هر محفظه قبل از ارسال به دقت تست نشتی هلیوم و پخت در خلاء را طی می‌کند و آمادگی UHV را برای حساس‌ترین محیط‌های آزمایشی و تولیدی از همان ابتدا تضمین می‌کند.^{نوع تولید}سطح داخلی پرداخت الکترولیتی:

• ساختار کم کربن 304L/316L: انتخاب گریدهای فولاد ضد زنگ کم کربن از رسوب کاربید کروم در نواحی متأثر از حرارت جوش جلوگیری می‌کند، مقاومت در برابر خوردگی را حفظ کرده و یک منبع رایج نشتی مجازی در سیستم‌های UHV را حذف می‌کند.
• سیستم آب‌بندی فلنج CF: تمام پورت‌ها از استاندارد فلنج لبه چاقویی CF با واشرهای مسی OFHC استفاده می‌کنند که آب‌بندی فلز به فلز قابل اعتماد را فراهم می‌کند و قادر به تحمل چرخه‌های پخت مکرر تا دمای 250 درجه سانتی‌گراد بدون افت کیفیت است.
• طراحی آماده پخت: هندسه محفظه، انتخاب مواد و سخت‌افزار فلنج برای تحمل گرمایش یکنواخت تا 250 درجه سانتی‌گراد برای دفع حرارتی گازهای جذب شده مهندسی شده‌اند و امکان انتقال سریع از شرایط اتمسفر به شرایط عملیاتی UHV را فراهم می‌کنند.
• تأیید جامع نشتی: هر محفظه تحت تست نشتی طیف‌سنج جرمی هلیوم در نقاط متعدد با حدود تشخیص 1x10 به توان منفی 11 پاسکال متر مکعب بر ثانیه و پخت کامل در خلاء قبل از پذیرش نهایی قرار می‌گیرد و گواهی‌نامه‌های تست فردی ارائه می‌شود.
• انتخاب مواد با خروج کم: اجزای داخلی و جوش‌ها منحصراً از مواد سازگار با خلاء ساخته شده‌اند و استفاده از حجم‌های محبوس و مسیرهای نشتی مجازی که در طرح‌های محفظه خلاء معمولی رایج است، به حداقل رسیده است.^{بسته‌بندی و تضمین کیفیت}پس از صدور گواهینامه نهایی نشتی هلیوم و پخت در خلاء، هر محفظه UHV با نیتروژن خشک پر شده، با فلنج‌های مسدود کننده CF محافظ و واشرهای مسی آب‌بندی شده و در بسته‌بندی ضد الکتریسیته ساکن درجه اتاق تمیز دو لایه پیچیده می‌شود و سپس در یک جعبه چوبی حمل و نقل با گاز نیتروژن قرار می‌گیرد. بسته‌های مستندات شامل گزارش‌های تست نشتی هلیوم فردی، گواهی‌نامه‌های مواد با شماره حرارت، اندازه‌گیری‌های زبری سطح پرداخت الکترولیتی، سوابق انطباق ابعادی و گزارش پخت قبل از حمل و نقل است. SYNVAC پوشش گارانتی جامع و پشتیبانی مهندسی کاربردی اختصاصی برای ادغام سیستم، رویه‌های عملیاتی UHV و نگهداری عملکرد بلندمدت را ارائه می‌دهد.پارامتر
• مشخصاتجنس بدنه
• فولاد ضد زنگ 304L یا 316Lپرداخت سطح داخلی