Chambre à vide en acier inoxydable électropoli UHV 304 316L à faible dégazage pour applications de recherche en semi-conducteurs

Cette chambre à vide en acier inoxydable électropoli de qualité UHV est spécialement conçue pour les applications ultra-haute vide dans le traitement des semi-conducteurs, la recherche en science des surfaces et la caractérisation de matériaux avancés. Construite en acier inoxydable 304L ou 316L à faible teneur en carbone, la chambre présente une surface intérieure entièrement électropolie avec une rugosité moyenne (Ra) de 0,4 µm ou mieux, réduisant considérablement la surface effective et minimisant le dégazage moléculaire. Toutes les brides sont conformes à la norme CF (ConFlat) avec un joint en cuivre sans oxygène de haute conductivité (OFHC), permettant un fonctionnement fiable à des pressions descendant jusqu'à 1x10⁻⁸ Pa et en dessous. Chaque chambre est méticuleusement testée à l'hélium et cuite sous vide avant expédition, garantissant une préparation UHV prête à l'emploi pour les environnements expérimentaux et de production les plus sensibles à la contamination.^{Type de production}Surface intérieure électropolie :

• Construction en acier inoxydable 304L/316L à faible teneur en carbone : La sélection de nuances d'acier inoxydable à faible teneur en carbone empêche la précipitation de carbure de chrome dans les zones affectées par la chaleur des soudures, préservant la résistance à la corrosion et éliminant une source courante de fuites virtuelles dans les systèmes UHV.
• Système d'étanchéité à bride CF : Tous les ports utilisent la norme de bride à tranchant CF avec des joints en cuivre OFHC, fournissant des joints métal-métal fiables capables de résister à des cycles de cuisson répétés jusqu'à 250°C sans dégradation.
• Conception prête pour la cuisson : La géométrie de la chambre, la sélection des matériaux et le matériel des brides sont conçus pour tolérer un chauffage uniforme à 250°C pour la désorption thermique des gaz adsorbés, permettant une transition rapide de l'exposition atmosphérique aux conditions de fonctionnement UHV.
• Vérification complète des fuites : Chaque chambre subit des tests de fuite multi-points par spectromètre de masse à l'hélium avec des limites de détection de 1x10⁻¹¹ Pa·m³/s, et une cuisson sous vide complète avant acceptation finale, avec des certificats de test individuels fournis.
• Sélection de matériaux à faible dégazage : Les composants internes et les soudures sont fabriqués exclusivement à partir de matériaux compatibles avec le vide, avec une utilisation minimisée des volumes piégés et des chemins de fuite virtuels qui affligent les conceptions de chambres à vide conventionnelles.^{Emballage et assurance qualité}Après la certification finale de fuite à l'hélium et la cuisson sous vide, chaque chambre UHV est remplie d'azote sec, scellée avec des brides obturantes CF protectrices et des joints en cuivre, et emballée en double sac dans un emballage antistatique de qualité salle blanche avant d'être placée dans une caisse en bois purgée à l'azote pour l'expédition. Les dossiers de documentation comprennent des rapports individuels de test de fuite à l'hélium, des certificats de matériaux avec numéros de lot, des mesures de rugosité de surface d'électropolissage, des enregistrements de conformité dimensionnelle et un journal de cuisson avant expédition. SYNVAC offre une couverture de garantie complète et un support d'ingénierie d'application dédié pour l'intégration des systèmes, les procédures opérationnelles UHV et la maintenance des performances à long terme.Paramètre
• SpécificationMatériau du corps
• Acier inoxydable 304L ou 316LFinition de surface intérieure