ইউএইচভি ইলেক্ট্রোপোলিশড স্টেইনলেস স্টীল ভ্যাকুয়াম চেম্বার 304 316L সেমিকন্ডাক্টর গবেষণা অ্যাপ্লিকেশন জন্য কম Outgassing

এই UHV-গ্রেডের ইলেক্ট্রোপলিশড স্টেইনলেস স্টিলের ভ্যাকুয়াম চেম্বারটি সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণ, সারফেস সায়েন্স গবেষণা এবং উন্নত উপাদান চরিত্রায়নের আল্ট্রা-হাই ভ্যাকুয়াম অ্যাপ্লিকেশনের জন্য বিশেষভাবে তৈরি করা হয়েছে। লো-কার্বন 304L বা 316L স্টেইনলেস স্টিল দিয়ে নির্মিত, চেম্বারটিতে একটি সম্পূর্ণ ইলেক্ট্রোপলিশড অভ্যন্তরীণ পৃষ্ঠ রয়েছে যার রুক্ষতা গড় (Ra) 0.4μm বা তার বেশি, যা কার্যকর পৃষ্ঠের ক্ষেত্রফলকে নাটকীয়ভাবে হ্রাস করে এবং আণবিক আউটগ্যাসিং কমিয়ে দেয়। সমস্ত ফ্ল্যাঞ্জ CF (ConFlat) স্ট্যান্ডার্ডের সাথে সঙ্গতিপূর্ণ, অক্সিজেন-মুক্ত উচ্চ-পরিবাহিতা (OFHC) কপার গ্যাসকেট সিলিং সহ, যা 1x10⁻⁸ Pa এবং তার নিচে চাপ পর্যন্ত নির্ভরযোগ্য অপারেশন সক্ষম করে। প্রতিটি চেম্বার শিপমেন্টের আগে সাবধানে হিলিয়াম লিক পরীক্ষা করা হয় এবং ভ্যাকুয়াম বেক করা হয়, যা সবচেয়ে দূষণ-সংবেদনশীল পরীক্ষামূলক এবং উৎপাদন পরিবেশের জন্য আউট-অফ-দ্য-বক্স UHV প্রস্তুতি নিশ্চিত করে।^{উৎপাদন প্রকার}ইলেক্ট্রোপলিশড অভ্যন্তরীণ পৃষ্ঠ:

• লো-কার্বন 304L/316L নির্মাণ: লো-কার্বন স্টেইনলেস স্টিল গ্রেডের নির্বাচন ওয়েল্ড হিট-এফেক্টেড জোনে ক্রোমিয়াম কার্বাইড অধঃক্ষেপণ প্রতিরোধ করে, ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা বজায় রাখে এবং UHV সিস্টেমে ভার্চুয়াল লিকেজের একটি সাধারণ উৎস দূর করে।
• CF ফ্ল্যাঞ্জ সিলিং সিস্টেম: সমস্ত পোর্টে OFHC কপার গ্যাসকেট সহ CF নাইফ-এজ ফ্ল্যাঞ্জ স্ট্যান্ডার্ড ব্যবহার করা হয়, যা নির্ভরযোগ্য মেটাল-টু-মেটাল সিল সরবরাহ করে যা 250°C পর্যন্ত বারবার বেকআউট চক্র সহ্য করতে পারে কোনো অবনতি ছাড়াই।
• বেকআউট-রেডি ডিজাইন: চেম্বারের জ্যামিতি, উপাদান নির্বাচন এবং ফ্ল্যাঞ্জ হার্ডওয়্যার 250°C পর্যন্ত অভিন্ন গরম করার সহনশীলতার জন্য প্রকৌশলী করা হয়েছে যাতে শোষিত গ্যাসগুলির তাপীয় ডিসোর্পশন হয়, যা বায়ুমণ্ডলীয় এক্সপোজার থেকে UHV অপারেটিং অবস্থার দ্রুত রূপান্তর সক্ষম করে।
• ব্যাপক লিক যাচাইকরণ: প্রতিটি চেম্বার 1x10⁻¹¹ Pa·m³/s এর সনাক্তকরণ সীমা সহ মাল্টি-পয়েন্ট হিলিয়াম মাস স্পেকট্রোমিটার লিক টেস্টিং এবং চূড়ান্ত স্বীকৃতির আগে একটি সম্পূর্ণ ভ্যাকুয়াম বেকআউট এর মধ্য দিয়ে যায়, যেখানে পৃথক পরীক্ষার সার্টিফিকেট সরবরাহ করা হয়।
• লো আউটগ্যাসিং উপাদান নির্বাচন: অভ্যন্তরীণ উপাদান এবং ওয়েল্ডগুলি একচেটিয়াভাবে ভ্যাকুয়াম-সামঞ্জস্যপূর্ণ উপকরণ থেকে তৈরি করা হয়, যেখানে ট্র্যাপড ভলিউম এবং ভার্চুয়াল লিক পাথের ব্যবহার ন্যূনতম করা হয় যা প্রচলিত ভ্যাকুয়াম চেম্বার ডিজাইনকে প্রভাবিত করে।^{প্যাকেজিং এবং গুণমান নিশ্চিতকরণ}চূড়ান্ত হিলিয়াম লিক সার্টিফিকেশন এবং ভ্যাকুয়াম বেকআউটের পরে, প্রতিটি UHV চেম্বার শুকনো নাইট্রোজেন দিয়ে ব্যাকফিল করা হয়, প্রতিরক্ষামূলক CF ব্ল্যাঙ্ক ফ্ল্যাঞ্জ এবং কপার গ্যাসকেট দিয়ে সিল করা হয় এবং একটি নাইট্রোজেন-পার্জড কাঠের শিপিং ক্রেটে রাখার আগে অ্যান্টি-স্ট্যাটিক ক্লিনরুম-গ্রেড প্যাকেজিংয়ে ডাবল-ব্যাগ করা হয়। ডকুমেন্টেশন প্যাকেজগুলিতে পৃথক হিলিয়াম লিক টেস্ট রিপোর্ট, হিট নম্বর সহ মেটেরিয়াল সার্টিফিকেট, ইলেক্ট্রোপলিশিং সারফেস রুক্ষতা পরিমাপ, ডাইমেনশনাল কনফরমেন্স রেকর্ড এবং একটি প্রি-শিপমেন্ট বেকআউট লগ অন্তর্ভুক্ত থাকে। SYNVAC সিস্টেম ইন্টিগ্রেশন, UHV অপারেশনাল পদ্ধতি এবং দীর্ঘমেয়াদী কর্মক্ষমতা রক্ষণাবেক্ষণের জন্য ব্যাপক ওয়ারেন্টি কভারেজ এবং ডেডিকেটেড অ্যাপ্লিকেশন ইঞ্জিনিয়ারিং সহায়তা প্রদান করে।প্যারামিটার
• স্পেসিফিকেশনবডি উপাদান
• 304L বা 316L স্টেইনলেস স্টিলঅভ্যন্তরীণ পৃষ্ঠ ফিনিস