Cámara de vacío de acero inoxidable polido por electrólisis UHV 304 316L de baja emisión de gases para aplicaciones de investigación de semiconductores

Esta cámara de vacío de acero inoxidable electropulido de grado UHV está diseñada específicamente para aplicaciones de ultra alto vacío en el procesamiento de semiconductores, investigación de ciencia de superficies y caracterización de materiales avanzados. Fabricada con acero inoxidable 304L o 316L bajo en carbono, la cámara presenta una superficie interior completamente electropulida con una rugosidad promedio (Ra) de 0.4 µm o mejor, lo que reduce drásticamente el área superficial efectiva y minimiza la desgasificación molecular. Todas las bridas cumplen con el estándar CF (ConFlat) con sellado de junta de cobre de alta conductividad libre de oxígeno (OFHC), lo que permite un funcionamiento fiable a presiones tan bajas como 1x10⁻⁸ Pa y por debajo. Cada cámara se somete a pruebas de fugas de helio y horneado al vacío antes del envío, lo que garantiza la preparación UHV lista para usar en los entornos experimentales y de producción más sensibles a la contaminación.^{Tipo de Producción}Superficie Interior Electropulida:

• Construcción de Acero Inoxidable 304L/316L Bajo en Carbono: La selección de grados de acero inoxidable bajo en carbono previene la precipitación de carburo de cromo en las zonas afectadas por el calor de soldadura, preservando la resistencia a la corrosión y eliminando una fuente común de fugas virtuales en sistemas UHV.
• Sistema de Sellado de Bridas CF: Todos los puertos utilizan el estándar de brida de borde afilado CF con juntas de cobre OFHC, proporcionando sellos metal-metal fiables capaces de soportar ciclos de horneado repetidos hasta 250 °C sin degradación.
• Diseño Listo para Horneado: La geometría de la cámara, la selección de materiales y el hardware de las bridas están diseñados para tolerar un calentamiento uniforme a 250 °C para la desorción térmica de gases adsorbidos, lo que permite una transición rápida de la exposición atmosférica a condiciones de operación UHV.
• Verificación Integral de Fugas: Cada cámara se somete a pruebas de fugas de espectrómetro de masas de helio multipunto con límites de detección de 1x10⁻¹¹ Pa·m³/s, y un horneado al vacío completo antes de la aceptación final, con certificados de prueba individuales proporcionados.
• Selección de Materiales de Baja Desgasificación: Los componentes internos y las soldaduras se fabrican exclusivamente con materiales compatibles con vacío, con un uso minimizado de volúmenes atrapados y trayectorias de fugas virtuales que plagan los diseños convencionales de cámaras de vacío.^{Embalaje y Garantía de Calidad}Después de la certificación final de fugas de helio y el horneado al vacío, cada cámara UHV se rellena con nitrógeno seco, se sella con bridas ciegas CF protectoras y juntas de cobre, y se empaqueta doblemente en bolsas antiestáticas de grado sala limpia antes de colocarse en una caja de madera para envío purgada con nitrógeno. Los paquetes de documentación incluyen informes individuales de prueba de fugas de helio, certificados de materiales con números de lote, mediciones de rugosidad superficial de electropulido, registros de cumplimiento dimensional y un registro de horneado previo al envío. SYNVAC proporciona una cobertura de garantía integral y soporte de ingeniería de aplicaciones dedicado para la integración de sistemas, procedimientos operativos UHV y mantenimiento del rendimiento a largo plazo.Parámetro
• EspecificaciónMaterial del Cuerpo
• Acero Inoxidable 304L o 316LAcabado de Superficie Interior