غرفة الفراغ من الفولاذ المقاوم للصدأ 304 316L منخفضة الغازات للاستخدام في أبحاث أشباه الموصلات

هذه الغرفة الفراغية من الفولاذ المقاوم للصدأ المكشوفة بالكهرباء من الدرجة UHV تم بناؤها خصيصا لتطبيقات الفراغ فائقة في معالجة أشباه الموصلاتوتوصيف المواد المتقدمةالمصنوعة من الصلب المقاوم للصدأ 304L أو 316L منخفض الكربون ، تتميز الغرفة بسطح داخلي مكهرب بالكامل مع متوسط الخامة (Ra) من 0.4μm أو أفضل ،تقليل مساحة السطح الفعالة بشكل كبير وتقليل الغازات الجزيئية. جميع الاطراف تتوافق مع معيار CF (ConFlat) مع غطاء غطاء النحاس عالي التوصيل الخالي من الأكسجين (OFHC) ، مما يتيح التشغيل الموثوق به عند الضغوط تصل إلى 1 × 10^-8كل حجرة تم اختبارها بدقة من أجل تسرب الهيليوم وتخزينها تحت الفراغ قبل الشحنضمان استعداد UHV خارج الصندوق للبيئات التجريبية والإنتاجية الأكثر حساسية للتلوث.

• السطح الداخلي الملمع بالكهرباء:يتم تخضع السطح الداخلي بأكمله لعملية تحرير كهربائية خاضعة للرقابة لتحقيق Ra ≤0.4μm ، مما يقلل من امتصاص بخار الماء ، ويزيد من سرعة ضغط الضخ إلى ضغط UHV ،ويقلل من ضغط القاعدة المحقق مقارنة بالبدائل الملمعة ميكانيكياً.
• بناء 304L/316L منخفض الكربون:يمنع اختيار الصلب المقاوم للصدأ منخفض الكربون من هطول كربيد الكروم في المناطق المتأثرة بالحرارةالحفاظ على مقاومة التآكل والقضاء على مصدر مشترك للتسربات الافتراضية في أنظمة UHV.
• نظام إغلاق فلنج CF:تستخدم جميع المنافذ معيار شفرة CF الحادة مع غشاشات نحاسية OFHC ، مما يوفر أغطية موثوقة من المعدن إلى المعدن قادرة على تحمل دورات تبرئة متكررة تصل إلى 250 درجة مئوية دون تدهور.
• تصميم جاهز للخبز:هندسة الغرفة، واختيار المواد، والأجهزة الفلنجة مصممة للتحمل تسخين موحد إلى 250 درجة مئوية للزراعة الحرارية للغازات الممتصة،تمكين الانتقال السريع من التعرض للغلاف الجوي إلى ظروف تشغيل UHV.
• التحقق الشامل من التسرب:كل غرفة تخضع لاختبار تسرب عبر طيف هليوم كتلي متعدد النقاط مع حدود الكشف 1x10^-11ب.م³/s، وتخزين فراغ كامل قبل القبول النهائي، مع توفير شهادات اختبار فردية.
• اختيار المواد ذات انبعاثات غازية منخفضة:يتم تصنيع المكونات الداخلية واللحام حصراً من المواد المتوافقة مع الفراغ ، مع الحد الأدنى من استخدام الأحجام المحاصرة ومسارات التسرب الافتراضية التي تعاني من تصاميم غرف الفراغ التقليدية.
• هيكل الميناء النموذجي:يمكن وضع أحجام شفرة CF القياسية من DN16CF إلى DN250CF على العديد من وجوه الغرفة ، حيث يمكن استيعاب اتصالات مضخة توربوموليكول ، ومقاييس الأيونات ، ومحللات الغازات المتبقية ، والإمدادات الكهربائية,ومنافذ عرض للوصول إلى التشخيص البصري.

هذه الغرفة الفراغية المكشوفة بالكهرباء UHV تشكل النواة الحاسمة لمعدات معالجة رقائق أشباه الموصلات، بما في ذلك أنظمة التشريح بالشعاع الجزيئي (MBE) ، محطات زرع الأيون،ومفاعلات الترسب المعززة بالبلازما حيث يمكن أن يؤثر حتى آثار التلوث على عائد الجهاز وأدائهفي مختبرات العلوم السطحية، تسمح الغرفة بتصوير الأشعة السينية (XPS) ،وتجارب المجهر التنقيبية المسحية (STM) التي تتطلب أسطح نظيفة من الناحية الذرية تحت ظروف UHVهذه الغرفة مناسبة على حد سواء لمكونات خطوط أشعة مسرع الجسيمات، محطات الإشعاع المتزامن،ومرافق اختبار المؤهلات الفضائية حيث تحليل الغازات المتبقية ومكافحة التلوث أمر بالغ الأهميةوتشمل عمليات نشر إضافية أفران التسخين UHV لتطوير المواد المتقدمة وغرف نمو الأفلام الرقيقة لتصنيع الأجهزة الكمية.

بعد شهادة تسرب الهيليوم النهائية والفراغ من الفراغ ، يتم تعبئة كل غرفة UHV بالنيتروجين الجاف ، وتغليفها بشبكات CF الفارغة الواقية والغطاء النحاسي ،ويتم تجميعها في أكياس مزدوجة في عبوات مضادة للستاتيكية من نوع غرفة نظيفة قبل وضعها في صندوق خشبي للشحن مع الأنزيتروجينتتضمن حزمة الوثائق تقارير اختبار تسرب الهيليوم الفردية ، شهادات المواد مع أرقام الحرارة ، قياسات خشونة سطح الكهرباء ، سجلات الامتثال الأبعاد ،و سجل الخبز قبل الشحنتقدم SYNVAC تغطية ضمان شاملة ودعم هندسي تطبيقات مخصصة لتكامل النظام وإجراءات تشغيل UHV وصيانة الأداء على المدى الطويل.