Ηλεκτροβελτιωμένος θάλαμος κενού από ανοξείδωτο χάλυβα UHV 304 316L χαμηλή εκπομπή αερίων για ερευνητικές εφαρμογές ημιαγωγών

Αυτός ο θάλαμος κενού από ανοξείδωτο χάλυβα βαθμού UHV με ηλεκτρογυάλισμα είναι ειδικά κατασκευασμένος για εφαρμογές εξαιρετικά υψηλού κενού στην επεξεργασία ημιαγωγών, την έρευνα επιστήμης επιφανειών και τον προηγμένο χαρακτηρισμό υλικών. Κατασκευασμένος από ανοξείδωτο χάλυβα χαμηλής περιεκτικότητας σε άνθρακα 304L ή 316L, ο θάλαμος διαθέτει πλήρως ηλεκτρογυαλισμένη εσωτερική επιφάνεια με μέση τραχύτητα (Ra) 0,4 μm ή καλύτερη, μειώνοντας δραματικά την ενεργή επιφάνεια και ελαχιστοποιώντας την μοριακή εκροή αερίων. Όλες οι φλάντζες συμμορφώνονται με το πρότυπο CF (ConFlat) με στεγανοποίηση με φλάντζα χαλκού υψηλής αγωγιμότητας χωρίς οξυγόνο (OFHC), επιτρέποντας αξιόπιστη λειτουργία σε πιέσεις έως 1x10^-8 Pa και κάτω. Κάθε θάλαμος ελέγχεται σχολαστικά για διαρροή ηλίου και ψήνεται σε κενό πριν από την αποστολή, διασφαλίζοντας ετοιμότητα UHV εκτός συσκευασίας για τα πιο ευαίσθητα σε μόλυνση πειραματικά και παραγωγικά περιβάλλοντα.^{Τύπος Παραγωγής}Ηλεκτρογυαλισμένη Εσωτερική Επιφάνεια:

• Κατασκευή από Ανοξείδωτο Χάλυβα Χαμηλής Περιεκτικότητας σε Άνθρακα 304L/316L: Η επιλογή ποικιλιών ανοξείδωτου χάλυβα χαμηλής περιεκτικότητας σε άνθρακα αποτρέπει την καθίζηση καρβιδίου του χρωμίου στις ζώνες που επηρεάζονται από τη θερμότητα των συγκολλήσεων, διατηρώντας την αντοχή στη διάβρωση και εξαλείφοντας μια κοινή πηγή εικονικών διαρροών σε συστήματα UHV.
• Σύστημα Στεγανοποίησης Φλάντζας CF: Όλες οι θύρες χρησιμοποιούν το πρότυπο φλάντζας CF με αιχμηρή ακμή και φλάντζες χαλκού OFHC, παρέχοντας αξιόπιστες μεταλλικές σφραγίσεις ικανές να αντέχουν επαναλαμβανόμενους κύκλους ψησίματος έως 250°C χωρίς υποβάθμιση.
• Σχεδιασμός Έτοιμος για Ψήσιμο: Η γεωμετρία του θαλάμου, η επιλογή υλικών και το υλικό των φλαντζών έχουν σχεδιαστεί για να αντέχουν ομοιόμορφη θέρμανση στους 250°C για θερμική εκρόφηση προσροφημένων αερίων, επιτρέποντας ταχεία μετάβαση από την ατμοσφαιρική έκθεση σε συνθήκες λειτουργίας UHV.
• Ολοκληρωμένη Επαλήθευση Διαρροής: Κάθε θάλαμος υποβάλλεται σε έλεγχο διαρροής φασματογράφου μάζας ηλίου πολλαπλών σημείων με όρια ανίχνευσης 1x10^-11 Pa·m^3/s, και πλήρες ψήσιμο σε κενό πριν από την τελική αποδοχή, με παροχή ατομικών πιστοποιητικών δοκιμών.
• Επιλογή Υλικών Χαμηλής Εκρόφησης Αερίων: Τα εσωτερικά εξαρτήματα και οι συγκολλήσεις κατασκευάζονται αποκλειστικά από υλικά συμβατά με κενό, με ελαχιστοποιημένη χρήση παγιδευμένων όγκων και εικονικών διαδρομών διαρροής που μαστίζουν τα συμβατικά σχέδια θαλάμων κενού.^{Συσκευασία & Διασφάλιση Ποιότητας}Μετά την τελική πιστοποίηση διαρροής ηλίου και το ψήσιμο σε κενό, κάθε θάλαμος UHV γεμίζεται εκ νέου με ξηρό άζωτο, σφραγίζεται με προστατευτικές φλάντζες κενού CF και φλάντζες χαλκού και συσκευάζεται διπλά σε αντιστατική συσκευασία ποιότητας καθαρού δωματίου πριν τοποθετηθεί σε ξύλινο κιβώτιο αποστολής με εκκαθάριση αζώτου. Τα πακέτα τεκμηρίωσης περιλαμβάνουν ατομικές αναφορές δοκιμών διαρροής ηλίου, πιστοποιητικά υλικών με αριθμούς παρτίδας, μετρήσεις τραχύτητας επιφάνειας ηλεκτρογυαλίσματος, αρχεία συμμόρφωσης διαστάσεων και αρχείο ψησίματος πριν από την αποστολή. Η SYNVAC παρέχει ολοκληρωμένη κάλυψη εγγύησης και αποκλειστική υποστήριξη μηχανικής εφαρμογών για την ενσωμάτωση συστημάτων, τις διαδικασίες λειτουργίας UHV και τη μακροπρόθεσμη συντήρηση απόδοσης.Παράμετρος
• ΠροδιαγραφήΥλικό Σώματος
• Ανοξείδωτος Χάλυβας 304L ή 316LΦινίρισμα Εσωτερικής Επιφάνειας