UHV Elektropolizli Paslanmaz Çelik Vakum Odası 304 316L Yarım iletken araştırma uygulamaları için Düşük Çıkarma Gazı

Bu UHV sınıfı elektrikle cilalanmış paslanmaz çelik vakum odası, yarı iletken işleme, yüzey bilimi araştırmalarına,ve gelişmiş malzeme karakterizeDüşük karbonlu 304L veya 316L paslanmaz çelikten yapılmış olan oda, ortalama kabalığı (Ra) 0.4μm veya daha iyi olan tamamen elektropoliz edilmiş bir iç yüzeye sahiptir.Etkili yüzey alanını önemli ölçüde azaltmak ve moleküler gaz atışını en aza indirmek. Tüm flensler CF (ConFlat) standardına uygun, oksijensiz yüksek iletkenlik (OFHC) bakır contağı mühürlenmesi ile 1x10'a kadar basınçlarda güvenilir çalışmayı sağlar^-8Her oda, nakliye öncesi çok titiz bir şekilde helium sızıntısı testi yapılmış ve vakumla pişirilmiştir.En çok kirliliğe duyarlı deney ve üretim ortamları için kutu dışı UHV hazırlığını sağlamak.

• Elektropolit iç yüzey:Tüm iç yüzey, Ra ≤ 0.4μm'ye ulaşan kontrol edilen bir elektropolizleme işlemine maruz kalır, bu da su buharı emilimini azaltır, pompalamayı UHV basınçlarına hızlandırır,ve mekanik olarak cilalanmış alternatiflere kıyasla elde edilebilir baz basıncını düşürür.
• Düşük karbonlu 304L/316L Yapı:Düşük karbonlu paslanmaz çelik sınıflarının seçilmesi, kaynak ısından etkilenen bölgelerde krom karbidinin yağışlanmasını önler.korozyon direncini korumak ve UHV sistemlerinde sanal sızıntıların ortak bir kaynağını ortadan kaldırmak.
• CF Flanş Sıfırlama Sistemi:Tüm portlar, OFHC bakır dikişleri ile CF bıçak kenarı flens standardını kullanır ve 250 °C'ye kadar tekrarlanan pişirme döngülerine bozulmadan dayanabilen güvenilir metal-metal mühürlemeler sağlar.
• Bakeout Hazır Tasarımı:Oda geometri, malzeme seçimi ve flens donanımı, adsorbe edilmiş gazların termal desorpsiyonu için 250 °C'ye eşit ısıtmaya dayanacak şekilde tasarlanmıştır.atmosferik maruziyetten UHV çalışma koşullarına hızlı bir şekilde geçmeyi sağlayan.
• Kapsamlı sızıntı doğrulama:Her oda, 1x10'luk algılama sınırları ile çok noktalı helyum kütle spektrometre sızıntı testinden geçirilir.^{- 11}Pa·m³/s, ve son kabulden önce, bireysel test sertifikaları ile tam vakum pişirme.
• Düşük gaz çıkışı malzeme seçimi:İç bileşenler ve kaynaklar yalnızca vakum uyumlu malzemelerden üretilir ve geleneksel vakum odası tasarımlarını rahatsız eden sıkışık hacimlerin ve sanal sızıntı yollarının kullanımı en aza indirgenir.
• Modüler Liman Mimarlığı:Standart CF flange boyutları DN16CF'den DN250CF'ye kadar, turbomoleküler pompa bağlantılarına, iyon ölçerlerine, kalıntı gaz analizatörlerine, elektrikli besleme yollarına yerleştirilebilir.,ve optik teşhis erişimi için görüş noktaları.

Bu UHV elektropolit vakum odası, moleküler ışın epitaksi (MBE) sistemleri, iyon implantasyon istasyonları,ve plazma geliştirilmiş çökme reaktörleri bile iz kirliliği cihaz verimini ve performansını tehlikeye atabilirYüzey bilim laboratuvarlarında oda X-ışını fotoelektron spektroskopisi (XPS), Auger elektron spektroskopisi (AES),ve UHV koşullarında atomik olarak temiz yüzeyler gerektiren tarama tünelleme mikroskopu (STM) deneyleriOda, parçacık hızlandırıcısı ışın hattı bileşenleri, senkrotron radyasyon son istasyonları,Geri kalan gaz analizi ve kirliliğin kontrolü görevi kritik olan uzay yeterliliği test tesisleriEk dağıtımlar, gelişmiş malzeme geliştirme için UHV kızartma fırınlarını ve kuantum cihaz üretimi için ince film büyüme odalarını içerir.

Son helyum sızıntısı sertifikası ve vakum pişirme sonrası, her UHV odası kuru azotla geri doldurulur, koruyucu CF boş flensleri ve bakır dikişlerle mühürlenir.ve azotlu bir ahşap nakliye kutusuna yerleştirilmeden önce statik olmayan temiz oda kalitesi ambalajında çift çuvallanmıştırDokümanlama paketleri, bireysel helyum sızıntı testi raporları, ısı numaraları ile malzeme sertifikaları, elektropoliş yüzey kabalığı ölçümleri, boyut uyum kayıtları,ve nakliye öncesi pişirme günlükleri.SYNVAC, sistem entegrasyonu, UHV operasyonel prosedürleri ve uzun vadeli performans bakımı için kapsamlı garanti kapsamı ve özel uygulama mühendisliği desteği sağlar.