Ruang Vakum Baja Tahan Karat yang Dipoles Elektro UHV 304 316L Rendah Outgassing untuk Aplikasi Penelitian Semikonduktor

Kamar vakum baja tahan karat yang dielektrolisasi UHV ini dibangun khusus untuk aplikasi vakum ultra tinggi dalam pengolahan semikonduktor, penelitian ilmu permukaan,dan karakteristik bahan canggihDibangun dari baja tahan karat rendah karbon 304L atau 316L, ruang ini memiliki permukaan interior yang sepenuhnya dielektrolisasi dengan rata-rata kasar (Ra) 0,4μm atau lebih baik,secara dramatis mengurangi luas permukaan yang efektif dan meminimalkan gas keluar molekulSemua flanges sesuai dengan standar CF (ConFlat) dengan sealing gasket tembaga konduktivitas tinggi bebas oksigen (OFHC), memungkinkan operasi yang dapat diandalkan pada tekanan hingga 1x10^-8Setiap ruang telah diuji kebocoran helium dan dikukus sebelum pengiriman.memastikan kesiapan UHV yang sudah siap pakai untuk lingkungan eksperimen dan produksi yang paling sensitif terhadap kontaminasi.

• Permukaan interior yang dipoles listrik:Seluruh permukaan internal mengalami proses pengelasan listrik terkontrol yang mencapai Ra ≤ 0,4 μm, yang mengurangi adsorpsi uap air, mempercepat pompa ke tekanan UHV,dan menurunkan tekanan dasar yang dapat dicapai dibandingkan dengan alternatif yang dipoles secara mekanis.
• Low-Carbon 304L/316L Konstruksi:Pemilihan kelas baja tahan karat karbon rendah mencegah presipitasi kromium karbida di zona yang terkena panas las,menjaga ketahanan korosi dan menghilangkan sumber umum kebocoran virtual dalam sistem UHV.
• Sistem penyegelan flange CF:Semua pelabuhan menggunakan standar flange ujung pisau CF dengan gasket tembaga OFHC, menyediakan segel logam-ke-logam yang dapat diandalkan yang mampu menahan siklus panggang berulang hingga 250 ° C tanpa degradasi.
• Bakeout-Siap Desain:Geometri ruangan, pemilihan bahan, dan hardware flange dirancang untuk mentolerir pemanasan seragam hingga 250 °C untuk desorpsi termal gas yang diserap,memungkinkan transisi cepat dari paparan atmosfer ke kondisi operasi UHV.
• Verifikasi kebocoran yang komprehensif:Setiap ruang menjalani uji kebocoran spektrometer massa helium multi-titik dengan batas deteksi 1x10^{- 11}Pa·m³/s, dan baking vakum penuh sebelum penerimaan akhir, dengan sertifikat uji individu disediakan.
• Pemilihan bahan low Outgassing:Komponen dan las internal diproduksi secara eksklusif dari bahan yang kompatibel dengan vakum, dengan penggunaan volume yang terperangkap dan jalur kebocoran virtual yang memengaruhi desain ruang vakum konvensional.
• Arsitektur Pelabuhan Modular:Ukuran flange CF standar dari DN16CF ke DN250CF dapat diposisikan pada beberapa permukaan ruang, menampung koneksi pompa turbomolekuler, pengukur ion, analis gas residu, feedthrough listrik,dan viewport untuk akses diagnostik optik.

Ini UHV elektrolitik ruang vakum membentuk inti penting dari peralatan pengolahan wafer semikonduktor, termasuk sistem epitaxy sinar molekuler (MBE), stasiun implan ion,dan reaktor deposisi plasma yang ditingkatkan di mana bahkan jejak kontaminasi dapat membahayakan hasil dan kinerja perangkatDi laboratorium ilmu permukaan, ruang ini memungkinkan spektroskopi fotoelektron sinar-X (XPS), spektroskopi elektron Auger (AES),dan eksperimen mikroskop scanning tunneling (STM) yang membutuhkan permukaan yang bersih secara atomik yang dipertahankan dalam kondisi UHVRuang ini sama cocok untuk komponen garis sinar akselerator partikel, stasiun akhir sinkrotron radiasi,dan fasilitas pengujian kualifikasi ruang angkasa di mana analisis gas residu dan kontrol kontaminasi sangat penting untuk misiPenyebaran tambahan termasuk tungku penggilingan UHV untuk pengembangan bahan canggih dan ruang pertumbuhan film tipis untuk pembuatan perangkat kuantum.

Setelah sertifikasi kebocoran helium akhir dan baking vakum, setiap ruang UHV diisi ulang dengan nitrogen kering, disegel dengan pelindung CF blank flanges dan gasket tembaga,dan dibungkus dua kali dalam kemasan anti-statis kelas cleanroom sebelum dimasukkan ke dalam peti pengiriman kayu yang dibersihkan nitrogenPaket dokumentasi termasuk laporan uji kebocoran helium individu, sertifikat bahan dengan nomor panas, pengukuran kasar permukaan electropolishing, catatan kesesuaian dimensi,dan log baking sebelum pengiriman. SYNVAC menyediakan cakupan garansi yang komprehensif dan dukungan teknik aplikasi khusus untuk integrasi sistem, prosedur operasi UHV, dan pemeliharaan kinerja jangka panjang.