Vakuumowa komora ze stali nierdzewnej UHV elektropolerowana 304 316L o niskim odgazowaniu do zastosowań badawczych w półprzewodnikach

Ta komora próżniowa ze stali nierdzewnej elektropolitykowana jest specjalnie zaprojektowana do zastosowań w ultra wysokiej próżni w przetwarzaniu półprzewodników, badaniach powierzchniowych,i zaawansowanej charakterystyki materiału.Budowana z stali nierdzewnej 304L lub 316L o niskiej zawartości węgla, komora posiada w pełni elektropolitykowaną powierzchnię wewnętrzną o średniej grubości (Ra) równej lub większej niż 0,4 μm,drastyczne zmniejszenie powierzchni powierzchni i zminimalizowanie wydzielania gazu molekularnegoWszystkie kołnierze są zgodne ze standardem CF (ConFlat) z beztlenkowym uszczelnieniem gęstości miedzi o wysokiej przewodności (OFHC), umożliwiającym niezawodną pracę przy ciśnieniach do 1x10^-8Każda komora jest starannie testowana przed wysyłką.zapewnienie gotowości UHV w najbardziej wrażliwych na zanieczyszczenia środowiskach eksperymentalnych i produkcyjnych.

• Elektrolizowana powierzchnia wewnętrzna:Cała powierzchnia wewnętrzna jest poddawana kontrolowanemu procesowi elektropolizingu osiągającemu Ra ≤ 0,4 μm, co zmniejsza adsorpcję pary wodnej, przyspiesza pompowanie do ciśnienia UHV,i obniża osiągalne ciśnienie bazowe w porównaniu z alternatywami polerowanymi mechanicznie.
• Wykonanie węglowe 304L/316L:Wybór stali nierdzewnej o niskiej zawartości węgla zapobiega opadowi węglanu chromu w strefach dotkniętych ciepłem spawania,zachowanie odporności na korozję i wyeliminowanie wspólnego źródła wirtualnych wycieków w systemach UHV.
• System uszczelniający flensy CF:Wszystkie porty wykorzystują standardowy kołnierz CF z miedzianymi uszczelnieniami OFHC, zapewniając niezawodne uszczelnienia metalowo-metalowe zdolne do wytrzymania wielokrotnych cykli pieczenia do 250 °C bez degradacji.
• Konstrukcja gotowa do pieczenia:Geometria komory, wybór materiału i sprzęt brzytów są zaprojektowane tak, aby tolerować jednolite ogrzewanie do 250 °C w celu termicznej desorpcji adsorbowanych gazów,umożliwiające szybkie przejście od narażenia na działanie atmosfery do warunków pracy UHV.
• Kompleksowa weryfikacja przecieków:Każda komora jest poddawana wielopunktowemu badaniu wycieków spektrometrem masy helu z limitami wykrywania 1x10^-11Pa·m³/s, a przed ostateczną akceptacją całkowitego upiekania pod próżnią, z udostępnieniem indywidualnych certyfikatów badań.
• Wybór materiału o niskiej emisji gazu:Komponenty wewnętrzne i spawania wykonane są wyłącznie z materiałów kompatybilnych z próżnią, przy zminimalizowanym wykorzystaniu objętości uwięzionych i wirtualnych szlaków przecieków, które plagiują konwencjonalne konstrukcje komór próżniowych.
• Modułowa architektura portu:Standardowe rozmiary brzytów CF od DN16CF do DN250CF mogą być umieszczone na wielu powierzchniach komory, umożliwiając połączenia z pompami turbomolekularnymi, mierniki jonów, analizatory gazu pozostałowego, przewodniki elektryczne,i widoków do dostępu diagnostycznego.

Ta UHV elektrolizowana komora próżniowa tworzy kluczowe rdzeń półprzewodnikowego sprzętu przetwarzania płytek, w tym systemy epitaxy wiązki molekularnej (MBE), stacje implantacji jonów,i reaktory osadzania plazmowego, w których nawet śladowe zanieczyszczenie może zagrozić wydajności i wydajności urządzeniaW laboratoriach naukowych powierzchniowych komora umożliwia spektroskopię fotoelektroniczną rentgenowską (XPS), spektroskopię elektroniczną Augera (AES),i eksperymenty mikroskopii tunelowej skanującej (STM), które wymagają czystej powierzchni atomowej utrzymywanej w warunkach UHVKomora jest odpowiednia również dla elementów linii wiązki akceleratora cząstek, stacji końcowych promieniowania synchrotronowego,i obiektów badawczych kwalifikacji kosmicznych, w których analiza pozostałości gazu i kontrola zanieczyszczeń mają kluczowe znaczenie dla misjiDodatkowe zastosowania obejmują piece odgrzewające UHV do rozwoju zaawansowanych materiałów i komory rozwoju cienkiej folii do wytwarzania urządzeń kwantowych.

Po ostatecznej certyfikacji wycieku helu i podciśnięciu próżniowym każda komora UHV jest wypełniana suchym azotem, zamknięta ochronną płaszczyzną CF i miedzianymi uszczelnieniami,i podwójnie opakowane w antystatyczne opakowania klasy cleanroom przed umieszczeniem w drewnianej skrzynce transportowej oczyszczonej azotemPakiety dokumentacyjne obejmują indywidualne sprawozdania z badań wycieku helu, certyfikaty materiału z numerami cieplnymi, pomiary chropowitości powierzchni elektropolitykowania, zapisy zgodności wymiarowej,i dziennik pieczenia przed wysyłkąSYNVAC zapewnia kompleksową ochronę gwarancyjną i specjalne wsparcie inżynieryjne aplikacji w zakresie integracji systemu, procedur operacyjnych UHV i długoterminowego utrzymania wydajności.