यूएचवी इलेक्ट्रोपोलिश्ड स्टेनलेस स्टील वैक्यूम कक्ष 304 316L अर्धचालक अनुसंधान अनुप्रयोगों के लिए कम आउटगैसिंग

यह यूएचवी ग्रेड इलेक्ट्रोपोलिश्ड स्टेनलेस स्टील वैक्यूम कक्ष विशेष रूप से अर्धचालक प्रसंस्करण, सतह विज्ञान अनुसंधान,और उन्नत सामग्री विशेषताकम कार्बन 304L या 316L स्टेनलेस स्टील से निर्मित, कक्ष में एक पूरी तरह से इलेक्ट्रोपोलिश्ड आंतरिक सतह है जिसमें औसत असमानता (Ra) 0.4μm या बेहतर है,नाटकीय रूप से प्रभावी सतह क्षेत्र को कम करने और आणविक आउटगैसिंग को कम करने के लिएसभी फ्लैंग्स CF (ConFlat) मानक के अनुरूप ऑक्सीजन मुक्त उच्च चालकता (OFHC) तांबे की गास्केट सील के साथ, 1x10 तक के दबावों पर विश्वसनीय संचालन को सक्षम करते हैं^-8प्रत्येक कक्ष को शिपमेंट से पहले हीलियम रिसाव परीक्षण और वैक्यूम बेक्ड किया जाता है,सबसे अधिक संदूषण-संवेदनशील प्रयोगात्मक और उत्पादन वातावरणों के लिए आउट-ऑफ-द-बॉक्स यूएचवी तत्परता सुनिश्चित करना.

• इलेक्ट्रोपॉलिश्ड आंतरिक सतहःपूरी आंतरिक सतह एक नियंत्रित इलेक्ट्रोपॉलिशिंग प्रक्रिया से गुजरती है जो Ra ≤0.4μm प्राप्त करती है, जो जल वाष्प की अवशोषण को कम करती है, UHV दबावों तक पंप-डाउन को तेज करती है,और यांत्रिक रूप से पॉलिश विकल्पों की तुलना में प्राप्त करने योग्य आधार दबाव को कम करता है.
• कम कार्बन 304L/316L निर्माणःकम कार्बन वाले स्टेनलेस स्टील ग्रेड का चयन वेल्ड हीट प्रभावित क्षेत्रों में क्रोमियम कार्बाइड की वर्षा को रोकता है,यूएचवी प्रणालियों में संक्षारण प्रतिरोध को संरक्षित करना और आभासी रिसाव के एक सामान्य स्रोत को समाप्त करना.
• सीएफ फ्लैंज सीलिंग सिस्टमःसभी बंदरगाहों में OFHC तांबे की गास्केट के साथ सीएफ चाकू के किनारे के फ्लैंज मानक का उपयोग किया जाता है, जो कि 250 डिग्री सेल्सियस तक के दोहराए गए बेकआउट चक्रों को बिना गिरावट के सहन करने में सक्षम विश्वसनीय धातु-से-धातु सील प्रदान करता है।
• बेकआउट-रेडी डिज़ाइनःकक्ष ज्यामिति, सामग्री चयन, और फ्लैंज हार्डवेयर को 250 डिग्री सेल्सियस तक समान हीटिंग को सहन करने के लिए इंजीनियर किया गया हैवायुमंडलीय जोखिम से यूएचवी परिचालन स्थितियों में तेजी से संक्रमण करने में सक्षम.
• व्यापक लीक सत्यापन:प्रत्येक कक्ष में 1x10 की पहचान सीमाओं के साथ बहु-बिंदु हीलियम द्रव्यमान स्पेक्ट्रोमीटर लीक परीक्षण से गुजरता है^-11पाम³अंतिम स्वीकृति से पहले, व्यक्तिगत परीक्षण प्रमाणपत्रों के साथ, पूर्ण वैक्यूम बेकआउट।
• कम आउटगैसिंग सामग्री का चयनःआंतरिक घटकों और वेल्ड को केवल वैक्यूम-संगत सामग्रियों से निर्मित किया जाता है, जिसमें फंसे हुए मात्राओं और आभासी रिसाव पथों का न्यूनतम उपयोग किया जाता है जो पारंपरिक वैक्यूम कक्ष डिजाइनों को पीड़ित करते हैं.
• मॉड्यूलर पोर्ट आर्किटेक्चरःमानक सीएफ फ्लैंज आकारों से DN16CF करने के लिए DN250CF कई कक्ष चेहरे पर तैनात किया जा सकता है, टर्बोमोलेक्यूलर पंप कनेक्शन, आयन गेज, अवशिष्ट गैस विश्लेषकों, विद्युत फीडथ्रू समायोजित,और ऑप्टिकल डायग्नोस्टिक एक्सेस के लिए व्यूपोर्ट।

यह यूएचवी इलेक्ट्रोपोलिश्ड वैक्यूम कक्ष अर्धचालक वेफर प्रसंस्करण उपकरण का महत्वपूर्ण कोर बनाता है, जिसमें आणविक बीम एपिटेक्सी (एमबीई) सिस्टम, आयन प्रत्यारोपण स्टेशन,और प्लाज्मा-वर्धित जमाव रिएक्टर जहां यहां तक कि निशान संदूषण डिवाइस की उपज और प्रदर्शन को खतरे में डाल सकता हैसतह विज्ञान प्रयोगशालाओं में, कक्ष एक्स-रे फोटोइलेक्ट्रॉन स्पेक्ट्रोस्कोपी (एक्सपीएस), ऑगर इलेक्ट्रॉन स्पेक्ट्रोस्कोपी (एईएस),और स्कैनिंग टनलिंग माइक्रोस्कोपी (एसटीएम) प्रयोगों के लिए यूएचवी स्थितियों में बनाए रखी परमाणु स्वच्छ सतहों की आवश्यकता होती हैकक्ष कण त्वरक बीमलाइन घटकों, सिंक्रोट्रॉन विकिरण अंत स्टेशनों के लिए समान रूप से उपयुक्त है,और अंतरिक्ष योग्यता परीक्षण सुविधाएं जहां अवशिष्ट गैस विश्लेषण और प्रदूषण नियंत्रण मिशन-महत्वपूर्ण हैंअतिरिक्त तैनाती में उन्नत सामग्री विकास के लिए यूएचवी एनीलिंग फर्नेस और क्वांटम डिवाइस निर्माण के लिए पतली फिल्म विकास कक्ष शामिल हैं।

अंतिम हीलियम रिसाव प्रमाणन और वैक्यूम बेकआउट के बाद, प्रत्येक यूएचवी कक्ष को सूखे नाइट्रोजन के साथ वापस भरा जाता है, सुरक्षात्मक सीएफ रिक्त फ्लैंग्स और तांबे की गास्केट के साथ सील किया जाता है,और नाइट्रोजन-शुद्ध लकड़ी के शिपिंग बॉक्स में डालने से पहले एंटी-स्टेटिक क्लीनरूम ग्रेड पैकेजिंग में डबल बैग किया गयाप्रलेखन पैकेज में व्यक्तिगत हीलियम रिसाव परीक्षण रिपोर्ट, गर्मी संख्याओं के साथ सामग्री प्रमाण पत्र, इलेक्ट्रोपोलिशिंग सतह मोटापा माप, आयामी अनुरूपता रिकॉर्ड शामिल हैं।और शिपमेंट से पहले एक बेकआउट लॉग. SYNVAC प्रणाली एकीकरण, यूएचवी परिचालन प्रक्रियाओं और दीर्घकालिक प्रदर्शन रखरखाव के लिए व्यापक वारंटी कवरेज और समर्पित अनुप्रयोग इंजीनियरिंग समर्थन प्रदान करता है।