UHV Electropolished สแตนเลสสแตนเลสห้องว่าง 304 316L การออกก๊าซที่ต่ําสําหรับการนําร่อง

ห้องสุญญากาศสแตนเลสขัดเงาเกรด UHV นี้ถูกสร้างขึ้นมาโดยเฉพาะสำหรับการใช้งานสุญญากาศสูงพิเศษในการประมวลผลสารกึ่งตัวนำ การวิจัยวิทยาศาสตร์พื้นผิว และการวิเคราะห์คุณลักษณะวัสดุขั้นสูง ห้องสุญญากาศสร้างจากสแตนเลสคาร์บอนต่ำเกรด 304L หรือ 316L มีพื้นผิวด้านในขัดเงาเต็มรูปแบบด้วยค่าเฉลี่ยความหยาบ (Ra) ที่ 0.4 ไมโครเมตรหรือดีกว่า ซึ่งช่วยลดพื้นที่ผิวที่มีประสิทธิภาพและลดการคายแก๊สของโมเลกุลได้อย่างมาก หน้าแปลนทั้งหมดเป็นไปตามมาตรฐาน CF (ConFlat) พร้อมซีลปะเก็นทองแดง OFHC (Oxygen-Free High-Conductivity) ทำให้สามารถทำงานได้อย่างน่าเชื่อถือที่แรงดันต่ำถึง 1x10^-8 Pa และต่ำกว่านั้น ห้องสุญญากาศทุกห้องได้รับการทดสอบการรั่วไหลของฮีเลียมอย่างพิถีพิถันและอบสุญญากาศก่อนจัดส่ง เพื่อให้มั่นใจว่าพร้อมใช้งานสำหรับสภาพแวดล้อมการทดลองและการผลิตที่ไวต่อการปนเปื้อนมากที่สุด^{ประเภทการผลิต}พื้นผิวด้านในขัดเงา:

• โครงสร้างสแตนเลสคาร์บอนต่ำ 304L/316L: การเลือกใช้สแตนเลสคาร์บอนต่ำช่วยป้องกันการตกตะกอนของคาร์ไบด์โครเมียมในบริเวณที่ได้รับผลกระทบจากความร้อนจากการเชื่อม รักษาความต้านทานการกัดกร่อน และขจัดแหล่งที่มาของการรั่วไหลเสมือนทั่วไปในระบบ UHV
• ระบบซีลหน้าแปลน CF: พอร์ตทั้งหมดใช้มาตรฐานหน้าแปลนขอบคม CF พร้อมปะเก็นทองแดง OFHC ให้การซีลแบบโลหะต่อโลหะที่เชื่อถือได้ สามารถทนต่อรอบการอบซ้ำได้ถึง 250°C โดยไม่เสื่อมสภาพ
• การออกแบบพร้อมสำหรับการอบ: รูปทรงห้อง การเลือกวัสดุ และฮาร์ดแวร์หน้าแปลนได้รับการออกแบบมาเพื่อทนต่อการให้ความร้อนสม่ำเสมอที่ 250°C สำหรับการกำจัดก๊าซที่ดูดซับด้วยความร้อน ทำให้สามารถเปลี่ยนจากสภาวะบรรยากาศไปสู่สภาวะการทำงาน UHV ได้อย่างรวดเร็ว
• การตรวจสอบการรั่วไหลที่ครอบคลุม: ห้องสุญญากาศแต่ละห้องผ่านการทดสอบการรั่วไหลของเครื่องวัดมวลฮีเลียมแบบหลายจุด ด้วยขีดจำกัดการตรวจจับที่ 1x10^-11 Pa·m³/s และการอบสุญญากาศเต็มรูปแบบก่อนการยอมรับขั้นสุดท้าย พร้อมใบรับรองการทดสอบรายบุคคล
• การเลือกใช้วัสดุที่มีการคายแก๊สต่ำ: ส่วนประกอบภายในและการเชื่อมผลิตขึ้นจากวัสดุที่เข้ากันได้กับสุญญากาศเท่านั้น โดยมีการใช้ปริมาตรที่กักเก็บและเส้นทางการรั่วไหลเสมือนที่พบได้ทั่วไปในห้องสุญญากาศแบบดั้งเดิมให้น้อยที่สุด^{การบรรจุภัณฑ์และการประกันคุณภาพ}หลังจากการรับรองการรั่วไหลของฮีเลียมและการอบสุญญากาศขั้นสุดท้าย ห้องสุญญากาศ UHV แต่ละห้องจะถูกเติมด้วยไนโตรเจนแห้ง ปิดผนึกด้วยหน้าแปลนปิด CF และปะเก็นทองแดงป้องกัน และบรรจุในถุงสองชั้นในบรรจุภัณฑ์เกรดคลีนรูมป้องกันไฟฟ้าสถิต ก่อนที่จะวางในลังไม้ที่ไล่ก๊าซไนโตรเจน เอกสารประกอบจะรวมถึงรายงานการทดสอบการรั่วไหลของฮีเลียมรายบุคคล ใบรับรองวัสดุพร้อมหมายเลขความร้อน การวัดความหยาบของพื้นผิวขัดเงา บันทึกการปฏิบัติตามมิติ และบันทึกการอบก่อนจัดส่ง SYNVAC ให้การรับประกันที่ครอบคลุมและการสนับสนุนวิศวกรรมการใช้งานเฉพาะสำหรับการรวมระบบ ขั้นตอนการทำงาน UHV และการบำรุงรักษาประสิทธิภาพระยะยาวพารามิเตอร์
• ข้อมูลจำเพาะวัสดุตัวเครื่อง
• สแตนเลส 304L หรือ 316Lพื้นผิวด้านใน