چهار مسیر برای سیستم خلاء: ادغام چند پورت با یکپارچگی کامل

توضیحات محصول

4-راه عبور برای سیستم خلاءare precision multi-port fittings designed to connect up to four vacuum components in orthogonal directions while maintaining uncompromised vacuum integrity from rough vacuum to ultra-high vacuum (UHV) levelsبرخلاف صلیب های استاندارد لوله کشی، این قطعات خلاء دارای هندسه های داخلی صاف، حجم کم گیر افتاده،و سطح سطح خلاء درجه برای از بین بردن نشت های مجازی و کاهش انتشار گاز.

از فولاد ضد زنگ با کربن پایین (304L یا 316L) ساخته شده است، این صلیب ها برای انبوه کننده های خلاء پیچیده، اتاق های چند ابزار، محورهای توزیع گاز،و پیکربندی های پمپاژ جریان متقابل. هر چهار راه صليب با توجه دقیق به کیفیت جوش ، وضعیت سطح داخلی و تراز فلنج در تمام چهار بندر ساخته شده است.آیا شما در حال ساخت یک ایستگاه تشخیصی چند سنسور هستید، یک انبوه مخلوط کننده گاز، یا یک محور خلاء دسترسی 360 درجه، این صلیب ها رسانایی، انعطاف پذیری و قابلیت اطمینان را ارائه می دهند که برنامه های مورد نیاز خلاء بالا و UHV نیاز دارند.

ویژگی های اصلی و ویژگی های

• پیکربندی:چهار پورت ارتگونال (در افقی مستقیم + عمودی عمودی)

• جهت گیری شعبه:90° بین تمام بندر های مجاور (زاویه های سفارشی در دسترس)

• محدوده خلاء:اتمسفر تا 1×10−9 تور (توافق UHV)

• استاندارد فلنج:تنظیمات ISO-KF، ISO-K، CF (ConFlat) یا سفارشی

• ماده:فولاد ضد زنگ 304L / 316L (پرویز پذیری مغناطیسی پایین)

• پوشش سطح داخلی:Ra ≤ 0.8 μm (برقی یا مکانیکی)

• میزان گازهای خارج شده:< 2×10−8 Torr·L/s·cm2 (پس از تمیز کردن خلاء)

• صداقت نشت:نشت هلیوم با اندازه < 1 × 10−9 mbar·L/s

• ظرفیت پخت:تا 400 درجه سانتیگراد (فلنج های CF با مهر و موم فلزی)

• گزینه های پورت:تمام پورت ها همان اندازه، یا کاهش صلیب با قطر مخلوط

• تقارن:هندسه ی ارتگونال واقعی برای ویژگی های جریان یکنواخت

درخواست ها

• محورهای خلاء چند ابزار:متصل کردن گج، RGA و viewports به طور همزمان

• دسته بندی های مخلوط کننده گاز:وارد کردن گازهای فرعی متعدد به اتاق های رسوب

• رسوب فیلم نازک:اسپتر کردن، تبخیر و لوله کشی سیستم ALD

• پیکربندی پمپاژ جریان متقابل:پمپاژ همبستگی برای توزیع فشار یکسان

• ابزار تحلیلی:طیف سنج های توده ای، میکروسکوپ های الکترونی، ابزار تجزیه و تحلیل سطح

• تجهیزات نیمه هادی:قفل های بارگیری، اتاق های انتقال و ماژول های فرآیند

• سیستم های خلاء تحقیق و توسعه:تنظیمات تجربی انعطاف پذیر که نیاز به چندین نقطه دسترسی دارند

• شبیه سازی فضایی:پورت های ابزار اتاق خلاء حرارتی

چرا چهار راه ما را برای سیستم های خلاء انتخاب می کنیم؟

ما با ترکیب جعل دقیق، ماشینکاری CNC، و جوش مداری برای ارائه صلیب های خلاء که مطابق یا فراتر از استانداردهای بین المللی خلاء پاک است.پاکسازی فوق صوتی با مواد شوینده نیمه هادی، و در محیط اتاق تمیز دو کیسه شده است. کاهش صلیب ها (قطر های مختلف پورت) ، جهت گیری های سفارشی پورت و ابعاد ویژه از مرکز به فلنج با پشتیبانی مهندسی در دسترس است.