سه راهی ISO برای سیستم خلاء: انشعاب همه کاره برای خطوط خلاء متوسط ​​تا بزرگ

توضیحات محصول

سه راهی ISO برای سیستم خلاءاتصالات دقیق سه پورت هستند که برای تقسیم، ترکیب یا تغییر جهت جریان گاز طراحی شده اند و در عین حال یکپارچگی خلاء بالا را از فشار اتمسفر تا 10-4 Torr حفظ می کنند. این قطعات همچنین به عنوان سه راهی انشعاب خلاء ISO یا سه راهی مساوی شناخته می شوند، دارای یک خط اصلی مستقیم با یک پورت شاخه عمود بر هم هستند، هندسه های داخلی صاف و فلنج های ISO-K یا ISO-F در هر سه پورت.

سه راهی های ISO که از فولاد ضد زنگ 304 یا 316 لیتری با کیفیت بالا ساخته شده اند برای منیفولدهای خلاء، پورت های ابزار دقیق، هاب های توزیع گاز و شبکه های پمپاژ در سیستم های خلاء متوسط ​​تا بزرگ ضروری هستند. آنها مطابق با استانداردهای بین المللی ISO 1609، ISO 2861 و Pneurop 6606 هستند. بر خلاف اتصالات KF که به قطرهای کوچکتر (تا DN50) محدود می شوند، سه راهی های ISO برای قطرهای اسمی از DN63 تا DN630 در دسترس هستند، که آنها را به انتخاب استاندارد برای کاربردهای صنعتی و تحقیقاتی تبدیل می کند. چه در حال اضافه کردن یک گیج فشار، اتصال یک آنالایزر گاز باقیمانده (RGA)، ساخت منیفولد اختلاط گاز یا انشعاب یک خط پمپاژ باشید، این سه راهی ها رسانایی، انعطاف پذیری و قابلیت اطمینان مورد نیاز برای کاربردهای با خلاء بالا و UHV را ارائه می دهند.

ویژگی ها و ویژگی های کلیدی

• پیکربندی:سه درگاهی واقعی (خط اصلی مستقیم با انشعاب عمود بر هم)

• انواع فلنج:ISO-K (گیره با حلقه مرکزی) یا ISO-F (پیچ و مهره)

• اندازه پورت:هر سه پورت یک اندازه (سه راهی برابر) یا سه راهی کاهش دهنده با قطرهای مخلوط شده اند

• محدوده خلاء:اتمسفر تا 1×10-4 Torr (سازگار UHV با مهر و موم فلزی)

• قطر اسمی (DN):DN63، DN80، DN100، DN160، DN200، DN250، DN320، DN400، DN500، DN630

• مواد:فولاد ضد زنگ 304 لیتر یا 316 لیتر (کربن کم، سازگار با UHV)

• فینیش سطح داخلی:Ra ≤ 0.8 میکرومتر (الکتروپلی شده یا پرداخت مکانیکی)

• نرخ خروج گاز:<2×10-8 Torr·L/s·cm² (پس از تمیز کردن با جاروبرقی)

• یکپارچگی نشت:نشت هلیوم کمتر از 1×10-4 mbar·L/s آزمایش شد

• قابلیت Bakeout:تا 400 درجه سانتی گراد (ISO-F با مهر و موم فلزی)

• جهت گیری شاخه:90 درجه عمود بر محور اصلی (استاندارد)

برنامه های کاربردی

• منیفولدهای خلاء:شبکه های توزیع چند پورت برای پمپاژ و هواگیری

• پورت های ابزار دقیق:اتصال گیج های فشار، RGA، یون سنج ها و چهار قطبی

• خطوط معرفی گاز:ورود گازهای فرآیند به محفظه های رسوب

• سیستم های پوشش در مقیاس بزرگ:PVD نیمه هادی، نوری و تزئینی

• رسوب لایه نازک:کندوپاش، تبخیر و لوله کشی سیستم ALD

• تشخیص نشت هلیوم:ایجاد شاخه های T برای اتصالات پورت آزمایشی

• ابزارهای تحلیلی:طیف سنج جرمی، ابزارهای تجزیه و تحلیل سطح

• تجهیزات نیمه هادی:قفل ها، محفظه های انتقال و ماژول های فرآیند را بارگیری کنید

• سیستم های خلاء تحقیق و توسعه:تنظیمات آزمایشی انعطاف پذیر که به چندین نقطه دسترسی نیاز دارند

• اتاق های شبیه سازی فضا:شاخه های ابزار دقیق سیستم خلاء حرارتی

• خطوط پرتو تحقیق:سیستم های خلاء سنکروترون و شتاب دهنده ذرات

• سیستم های خط مقدم:انشعاب بین پمپ های پشتیبان و پمپ های خلاء بالا

چرا سه راهی ISO ما را برای سیستم های خلاء انتخاب می کنیم؟

ما آهنگری دقیق، ماشینکاری CNC و جوش مداری را برای ارائه سه راهی ISO که مطابق با استانداردهای بین المللی خلاء هستند یا فراتر می روند، ترکیب می کنیم. هر سه راهی تست نشت هلیوم است، با مواد شوینده نیمه هادی به صورت اولتراسونیک تمیز می شود و در محیط تمیز اتاق دو کیسه ای قرار می گیرد. سه راهی های کاهش دهنده (قطر شاخه های مختلف)، انواع فلنج های مخلوط (ISO-K و ISO-F در سه راهی یکسان)، جهت گیری شاخه های سفارشی، و روکش های درجه UHV (آب بندی فلزی آماده، Ra ≤ 0.4 میکرومتر) با پشتیبانی مهندسی در دسترس هستند.