KF 4-Way Crosses برای سیستم خلاء: ادغام چهار پورت با کارایی سریع فلنج

توضیحات محصول

KF چهار طرفه برای سیستم خلاءفیتینگ های چهار پورت سریع هستند که برای اتصال تا چهار جزء خلاء در جهت های ارتگونال طراحی شده اند در حالی که یکپارچگی خلاء بالا از فشار جو تا 10-8 تور را حفظ می کنند.همچنین به عنوان صلیب NW شناخته می شود، این اجزای دارای چهار اتصال KF (Klein Flansch / Quick Flange) هستند که در یک پیکربندی صحیح صلیبی تنظیم شده اند

از فولاد ضد زنگ 304 یا 316L با کیفیت بالا ساخته شده است، KF چهار طرفه برای انبوه کننده های خلاء پیچیده، محورهای چند ابزار، مراکز توزیع گاز،و پیکربندی های پمپاژ جریان متقابلهر صلیب شامل سیستم اتصال KF استاندارد بین المللی است، که از یک حلقه مرکز، حلقه O-ring استلاستومر و کلیمپ بادمجان بال برای مونتاژ سریع و بدون ابزار استفاده می کند.آیا شما در حال ساخت یک ایستگاه تشخیصی چند سنسور هستید، یک انبوه مخلوط کننده گاز، یا یک محور خلاء دسترسی 360 درجه، این صلیب ها رسانایی، انعطاف پذیری و راحتی را ارائه می دهند که برنامه های مورد نیاز با خلاء بالا نیاز دارند.

ویژگی های اصلی و ویژگی های

• پیکربندی:چهار پورت ارتگونال (در افقی مستقیم + عمودی عمودی در هر دو طرف)

• نوع اتصال:فلنج های KF (NW) در هر چهار بندر

• اندازه پورت:تمام چهار پورت اندازه یکسان (مثل صلیب) ، یا کاهش صلیب با قطر مخلوط

• محدوده خلاء:اتمسفر تا 1×10−8 تور

• ماده:فولاد ضد زنگ 304 یا 316L

• پوشش سطح داخلی:Ra ≤ 0.8 μm (برقی یا مکانیکی)

• میزان گازهای خارج شده:< 2×10−8 Torr·L/s·cm2 (پس از تمیز کردن خلاء)

• صداقت نشت:نشت هلیوم با اندازه < 1 × 10−9 mbar·L/s

• ظرفیت پخت:تا 150°C (با حلقه های Viton® O)

• مجموعه:قفل کردن بدون ابزار با قفل های KF و حلقه های مرکز

• تقارن:هندسه ی ارتگونال واقعی برای ویژگی های جریان یکنواخت

درخواست ها

• محورهای خلاء چند ابزار:اتصال گج، RGA، viewports، و feedthroughs به طور همزمان

• دسته بندی های مخلوط کننده گاز:وارد کردن گازهای فرعی متعدد به اتاق های رسوب

• رسوب فیلم نازک:اسپتر کردن، تبخیر و لوله کشی سیستم ALD

• پیکربندی پمپاژ جریان متقابل:پمپاژ همبستگی برای توزیع فشار یکسان

• ابزار تحلیلی:طیف سنج های توده ای، میکروسکوپ های الکترونی، ابزار تجزیه و تحلیل سطح

• تجهیزات نیمه هادی:قفل های بارگیری، اتاق های انتقال و ماژول های فرآیند

• سیستم های خلاء تحقیق و توسعه:تنظیمات تجربی انعطاف پذیر که نیاز به چندین نقطه دسترسی دارند

• شبیه سازی فضایی:پورت های ابزار اتاق خلاء حرارتی

• سیستم های پوشش خلاء:توزیع گازهای یا سیگنال ها به مکان های متعدد فرآیند

چرا کراس های 4 راه KF ما را برای سیستم های خلاء انتخاب می کنیم؟

ما با ترکیب جعل دقیق، ماشینکاری CNC، و جوش مداری برای ارائه صلیب های KF که با استاندارد های بین المللی و یا فراتر از خلاء بالا مطابقت دارند، کار می کنیم.پاکسازی فوق صوتی با مواد شوینده نیمه هادی، و در محیط اتاق تمیز دو کیسه شده است. کاهش صلیب ها (قطر های مختلف پورت) ، جهت گیری های سفارشی پورت و ابعاد ویژه از مرکز به فلنج با پشتیبانی مهندسی در دسترس است.