Σταυροί 4 κατευθύνσεων KF για σύστημα κενού: Ενσωμάτωση τεσσάρων θυρών με αποδοτικότητα Quick-Flange

Περιγραφή προϊόντος

Σταυροί 4 κατευθύνσεων KF για σύστημα κενούείναι εξαρτήματα γρήγορης φλάντζας τεσσάρων θυρών που έχουν σχεδιαστεί για να συνδέουν έως και τέσσερα εξαρτήματα κενού σε ορθογώνιες κατευθύνσεις διατηρώντας παράλληλα την ακεραιότητα υψηλού κενού από την ατμοσφαιρική πίεση έως το 10-8 Torr. Γνωστά και ως διασταυρώσεις NW, αυτά τα εξαρτήματα διαθέτουν τέσσερις συνδέσεις KF (Klein Flansch / Quick Flange) που είναι διατεταγμένες σε μια πραγματική διασταυρούμενη διαμόρφωση — οριζόντιες θύρες ευθείας με κάθετες κάθετες θύρες και στις δύο πλευρές.

Κατασκευασμένοι από υψηλής ποιότητας ανοξείδωτο ατσάλι 304 ή 316L, οι σταυροί 4 κατευθύνσεων KF είναι απαραίτητοι για πολύπλοκες πολλαπλές υποπίεσης, πλήμνες πολλαπλών οργάνων, κέντρα διανομής αερίου και διαμορφώσεις άντλησης εγκάρσιας ροής. Κάθε σταυρός ενσωματώνει το διεθνώς τυποποιημένο σύστημα σύνδεσης KF, το οποίο χρησιμοποιεί δακτύλιο κεντραρίσματος, δακτύλιο Ο από ελαστομερές και σφιγκτήρα παξιμαδιού φτερού για γρήγορη συναρμολόγηση χωρίς εργαλεία. Είτε κατασκευάζετε έναν διαγνωστικό σταθμό πολλαπλών αισθητήρων, μια πολλαπλή ανάμειξης αερίων ή έναν κόμβο κενού πρόσβασης 360 μοιρών, αυτοί οι σταυροί προσφέρουν την αγωγιμότητα, την ευελιξία και την ευκολία που απαιτούν οι απαιτητικές εφαρμογές υψηλού κενού.

Βασικά Χαρακτηριστικά & Χαρακτηριστικά

• Διαμόρφωση:Τέσσερις ορθογώνιες θύρες (ευθεία οριζόντια + κάθετη κάθετη και στις δύο πλευρές)

• Τύπος σύνδεσης:Φλάντζες KF (NW) και στις τέσσερις θύρες

• Μεγέθη λιμένων:Και οι τέσσερις θύρες ίδιου μεγέθους (ίσος σταυρός), ή μειωτικοί σταυροί με μικτές διαμέτρους

• Εύρος κενού:Ατμοσφαιρική έως 1×10-8 Torr

• Υλικό:Ανοξείδωτο ατσάλι 304 ή 316L

• Φινίρισμα εσωτερικής επιφάνειας:Ra ≤ 0,8 µm (ηλεκτρογυαλισµένο ή µηχανικά γυαλισµένο)

• Ποσοστό εξαγωγής αερίων:< 2×10⁻8 Torr·L/s·cm² (μετά τον καθαρισμό με ηλεκτρική σκούπα)

• Ακεραιότητα διαρροής:Η διαρροή ηλίου δοκιμάστηκε σε < 1×10-4 mbar·L/s

• Δυνατότητα Bakeout:Έως 150°C (με Viton® O-rings)

• Συνέλευση:Σύσφιξη χωρίς εργαλεία με σφιγκτήρες KF και δακτυλίους κεντραρίσματος

• Συμμετρία:Πραγματική ορθογώνια γεωμετρία για ομοιόμορφα χαρακτηριστικά ροής

Εφαρμογές

• Διανομείς κενού πολλαπλών οργάνων:Ταυτόχρονη σύνδεση μετρητών, RGA, θυρών προβολής και τροφοδοσίας

• Πολλαπλοί ανάμειξης αερίου:Εισαγωγή αερίων πολλαπλών διεργασιών στους θαλάμους εναπόθεσης

• Εναπόθεση λεπτής μεμβράνης:Υδραυλικά συστήματα διασκορπισμού, εξάτμισης και ALD

• Διαμορφώσεις άντλησης διασταυρούμενης ροής:Συμμετρική άντληση για ομοιόμορφη κατανομή πίεσης

• Αναλυτικά όργανα:Φασματόμετρα μάζας, ηλεκτρονικά μικροσκόπια, εργαλεία ανάλυσης επιφανειών

• Εξοπλισμός ημιαγωγών:Φορτώστε κλειδαριές, θαλάμους μεταφοράς και μονάδες διεργασίας

• Συστήματα κενού Ε&Α:Ευέλικτες πειραματικές ρυθμίσεις που απαιτούν πολλαπλά σημεία πρόσβασης

• Προσομοίωση χώρου:Θύρες οργάνων θερμικού θαλάμου κενού

• Συστήματα επίστρωσης κενού:Διανομή αερίων ή σημάτων σε πολλαπλές θέσεις διεργασίας

Γιατί να επιλέξετε τους σταυρούς 4 κατευθύνσεων KF για συστήματα κενού;

Συνδυάζουμε σφυρηλάτηση ακριβείας, κατεργασία CNC και τροχιακή συγκόλληση για να παραδώσουμε σταυρούς KF που πληρούν ή υπερβαίνουν τα διεθνή πρότυπα υψηλού κενού. Κάθε διασταύρωση 4 κατευθύνσεων ελέγχεται για διαρροή ηλίου, καθαρίζεται με υπερήχους με απορρυπαντικά ποιότητας ημιαγωγών και τοποθετείται σε διπλή σακούλα σε περιβάλλον καθαρού δωματίου. Σταυροί μείωσης (διαφορετικές διαμέτρους θυρών), προσαρμοσμένοι προσανατολισμοί θυρών και ειδικές διαστάσεις από κέντρο σε φλάντζα είναι διαθέσιμα με τεχνική υποστήριξη.