KF Tees για σύστημα κενού: Ευέλικτη διακλάδωση με άνεση Quick-Flange

Περιγραφή προϊόντος

KF μπλουζάκια για σύστημα κενούείναι εξαρτήματα γρήγορης φλάντζας τριών θυρών που έχουν σχεδιαστεί για να διασπούν, να συνδυάζουν ή να ανακατευθύνουν τη ροή αερίου διατηρώντας παράλληλα την ακεραιότητα υψηλού κενού από την ατμοσφαιρική πίεση έως το 10-8 Torr. Γνωστά και ως BW tees, αυτά τα εξαρτήματα διαθέτουν μια ευθεία γραμμή με μια κάθετη θύρα διακλάδωσης, ομαλές εσωτερικές γεωμετρίες και συνδέσεις KF (Klein Flansch / Quick Flange) και στις τρεις θύρες.

Κατασκευασμένα από υψηλής ποιότητας ανοξείδωτο χάλυβα 304 ή 316L, τα tees KF είναι απαραίτητα για πολλαπλούς κενού, θύρες οργάνων, γραμμές εισαγωγής αερίου και δίκτυα άντλησης. Κάθε μπλουζάκι ενσωματώνει το διεθνώς τυποποιημένο σύστημα σύνδεσης KF, το οποίο χρησιμοποιεί δακτύλιο κεντραρίσματος, δακτύλιο Ο ελαστομερούς και σφιγκτήρα παξιμαδιού φτερού για γρήγορη συναρμολόγηση χωρίς εργαλεία. Είτε προσθέτετε μανόμετρο είτε συνδέετε έναν αναλυτή υπολειπόμενων αερίων (RGA) είτε κατασκευάζετε έναν κόμβο διανομής αερίου, αυτά τα tee παρέχουν την αγωγιμότητα, την ευελιξία και την αξιοπιστία που απαιτούν οι απαιτητικές εφαρμογές υψηλού κενού.

Βασικά Χαρακτηριστικά & Χαρακτηριστικά

• Διαμόρφωση:Πραγματικό μπλουζάκι τριών θυρών (ευθεία με κάθετο κλάδο)

• Τύπος σύνδεσης:Φλάντζες KF (NW) και στις τρεις θύρες

• Μεγέθη λιμένων:Όλες οι θύρες ίδιου μεγέθους ή μειωτικά μπλουζάκια με μικτές διαμέτρους

• Εύρος κενού:Ατμοσφαιρική έως 1×10-8 Torr

• Υλικό:Ανοξείδωτο ατσάλι 304 ή 316L

• Φινίρισμα εσωτερικής επιφάνειας:Ra ≤ 0,8 µm (ηλεκτρογυαλισµένο ή µηχανικά γυαλισµένο)

• Ποσοστό εξαγωγής αερίων:< 2×10⁻8 Torr·L/s·cm² (μετά τον καθαρισμό με ηλεκτρική σκούπα)

• Ακεραιότητα διαρροής:Η διαρροή ηλίου δοκιμάστηκε σε < 1×10-4 mbar·L/s

• Δυνατότητα Bakeout:Έως 150°C (με Viton® O-rings)

• Συνέλευση:Σύσφιξη χωρίς εργαλεία με σφιγκτήρες KF και δακτυλίους κεντραρίσματος

• Προσανατολισμός κλάδου:90° κάθετα στον κύριο άξονα (στάνταρ)

Εφαρμογές

• Πολλαπλές κενού:Δίκτυα διανομής πολλαπλών λιμένων για άντληση και εξαερισμό

• Θύρες οργάνων:Σύνδεση μετρητών πίεσης, RGA και ιόντων

• Γραμμές εισαγωγής φυσικού αερίου:Εισαγωγή αερίων διεργασίας στους θαλάμους εναπόθεσης

• Εναπόθεση λεπτής μεμβράνης:Υδραυλικά συστήματα διασκορπισμού, εξάτμισης και ALD

• Ανίχνευση διαρροής ηλίου:Δημιουργία διακλαδώσεων T για συνδέσεις δοκιμαστικής θύρας

• Αναλυτικά όργανα:Φασματόμετρα μάζας, ηλεκτρονικά μικροσκόπια, εργαλεία ανάλυσης επιφανειών

• Εξοπλισμός ημιαγωγών:Φορτώστε κλειδαριές, θαλάμους μεταφοράς και μονάδες διεργασίας

• Συστήματα κενού Ε&Α:Ευέλικτες πειραματικές ρυθμίσεις που απαιτούν πολλαπλά σημεία πρόσβασης

• Συστήματα πρώτης γραμμής:Διακλάδωση μεταξύ αντλιών υποστήριξης και αντλιών υψηλού κενού

Γιατί να επιλέξετε τα μπλουζάκια KF μας για συστήματα κενού;

Συνδυάζουμε τη διαμόρφωση ακριβείας, την κατεργασία CNC και την τροχιακή συγκόλληση για να παραδίδουμε tees KF που πληρούν ή υπερβαίνουν τα διεθνή πρότυπα υψηλού κενού. Κάθε μπλουζάκι έχει ελεγχθεί για διαρροή ηλίου, καθαρίζεται με υπερήχους με απορρυπαντικά ποιότητας ημιαγωγών και τοποθετείται σε διπλή σακούλα σε περιβάλλον καθαρού δωματίου. Μειωτικά μπλουζάκια (διαφορετικές διαμέτρους διακλάδωσης), προσαρμοσμένοι προσανατολισμοί θυρών και ειδικές διαστάσεις από κέντρο σε φλάντζα είναι διαθέσιμα με τεχνική υποστήριξη.