クイックフレンジの便利さで多用な支線

製品説明

真空システム用KFテイル3ポートの高速フレンズフィッティングで,大気圧から10−8Torrまで高真空の整合性を維持しながら,ガス流を分割,結合,または再導するように設計されています.NW teとしても知られています.これらのコンポーネントは,垂直な支部ポートを持つ直径のメインラインを備えています3つのポートすべてにKF (Klein Flansch/Quick Flange) の接続がある.

高品質の304または316Lステンレス鋼から製造されたKFティーは,真空マニホールド,計器ポート,ガス導入ライン,ポンプネットワークに不可欠です.各ティーは,国際的に標準化されたKF接続システムを組み込みます圧力計を追加するかどうか,残留ガス分析器 (RGA) を接続する,ガス配送ハブを建設する要求の高い高真空アプリケーションに必要な伝導性,柔軟性,信頼性を提供します.

主要 な 特徴 と 特徴

• 構成:真の3ポートティ (垂直な枝で直線)

• 接続タイプ:KF (NW) フレンズ

• ポートサイズ:すべてのポート同じサイズ,または混合直径の縮小ティ

• バキューム範囲:1×10−8 トール

• 材料:304または316Lステンレス鋼

• 内部表面の仕上げ:Ra ≤ 0.8 μm (電気磨きまたは機械磨き)

• 排気量:< 2×10−8 Torr·L/s·cm2 (真空掃除後)

• 漏洩の完全性< 1×10−9 mbar·L/s で試験されたヘリウム漏れ

• 焼却能力:150°Cまで (Viton® Oリング)

• 組み立て:道具なしのクランプ,KFクランプ,センターリング

• 支部 の 案内:主軸に垂直90° (標準)

申請

• バキューム マニホールド:ポンプと換気のための多ポート配送ネットワーク

• 計測器のポート:圧力計,RGA,イオン計の接続

• ガス導入ライン:堆積室へのプロセスガスの放出

• 薄膜堆積物:スプッター,蒸発,ALDシステム管道

• ヘリウム漏れ検出テストポート接続のためのTブランチを作成する

• 分析装置:質量スペクトロメーター,電子顕微鏡,表面分析ツール

• 半導体機器:負荷ロック,転送室,およびプロセスモジュール

• R&D真空システム:複数のアクセスポイントを必要とする柔軟な実験設定

• 前線システム:バックポンプと高真空ポンプ間の分岐

なぜ私たちのKFティーを真空システムに 選ぶのか?

精密型造り,CNC加工,軌道溶接を組み合わせて 国際高真空基準を 満たすか超えたKFティーを 提供しています半導体級洗剤で超音波で清掃されたクリーンルーム環境ではダブルバッグで使用できます. 縮小ティ (異なる枝直径),カスタムポートの方向化,および特殊なセンターからフレンジの寸法がエンジニアリングサポートで利用できます.