Vakum Sistemi için KF Tees: Hızlı Flanşlı Konforlu Çok yönlü Dallama

Ürün Tanımı

Vakum sistemi için KF teesÜç portlu hızlı flens takıntıları, atmosfer basıncından 10-8 Torr'a kadar yüksek vakum bütünlüğünü korurken gaz akışını bölmek, birleştirmek veya yönlendirmek için tasarlanmıştır. NW te olarak da bilinir,Bu bileşenler dikey bir dal portuna sahip düz bir ana hattı içerir., pürüzsüz iç geometri ve KF (Klein Flansch / Quick Flange) bağlantıları üç limanda.

Yüksek kaliteli 304 veya 316L paslanmaz çelikten üretilen KF tees, vakum manifoldları, enstrümanlama portları, gaz giriş hatları ve pompalama ağları için gereklidir.Her tee uluslararası standartlaştırılmış KF bağlantı sistemini içerir, hızlı, aletsiz montaj için bir merkezleme halkası, elastomer O-halkası ve kanat fındığı klemesi kullanır.Ya da bir gaz dağıtım merkezi inşa etmek, bu teçler yüksek vakumlu uygulamaların gerektirdiği iletkenliği, esnekliği ve güvenilirliği sağlar.

Ana Özellikler ve Özellikler

• Yapılandırma:Gerçek üç portlu tee (düzden dikey dallarla)

• Bağlantı Tipi:Üç limanda da KF (NW) flensleri

• Port Boyutları:Tüm portlar aynı büyüklükte veya karışık çaplı azaltma tees

• Vakum aralığı:Atmosferik 1×10−8 Torr

• Malzeme:304 veya 316L paslanmaz çelik

• İç yüzey finişi:Ra ≤ 0,8 μm (elektropoliz veya mekanik olarak cilalanmış)

• Çıkış oranı:< 2×10−8 Torr·L/s·cm2 (vakum temizlemeden sonra)

• Sızıntı bütünlüğü:Helium sızıntısı < 1×10−9 mbar·L/s olarak test edildi

• Yemek yapma kapasitesi:150°C'ye kadar (Viton® O halkaları ile)

• Montaj:Aletsiz sıkıştırma, KF sıkıştırıcıları ve merkezleme halkalarıyla

• Temsil Departmanı:Ana eksene 90° dik (standart)

Başvurular

• Vakum koleksiyonları:Pompalama ve havalandırma için çoklu limanlı dağıtım ağları

• Araçlama portları:Basınç ölçerlerini, RGA'ları ve iyon ölçerlerini bağlama

• Gaz giriş hatları:Süreç gazlarının depolama odalarına alınması

• İnce film atıklığı:Sputtering, buharlaşma ve ALD sistemi tesisatı

• Helium sızıntısı tespiti:Test liman bağlantıları için T dalları oluşturmak

• Analiz aletleri:Kütle spektrometre, elektron mikroskopları, yüzey analizi aletleri

• Yarım iletken ekipmanları:Yük kilitleri, transfer odaları ve işlem modülleri

• Ar-Ge vakum sistemleri:Çoklu erişim noktaları gerektiren esnek deneysel kurulumlar

• Ön hat sistemleri:Destek pompaları ve yüksek vakum pompaları arasında dallaşma

Neden vakum sistemleri için bizim KF Ti'lerimizi seçtiniz?

Kesinlik biçimlendirme, CNC işleme ve yörüngel kaynakları birleştirerek uluslararası yüksek vakum standartlarını karşılayan veya aşan KF teçhizatları üretiriz.ultrasonik olarak yarı iletken sınıfı deterjanlarla temizlenmişRedüksiyon tees (farklı dal çapları), özel port yönelimleri ve özel merkezden flange boyutları mühendislik desteği ile mevcuttur.