KF Tees cho hệ thống chân không: Phân nhánh linh hoạt với tiện lợi nhanh chóng

Mô tả sản phẩm

KF cho hệ thống chân khônglà các phụ kiện sườn nhanh ba cổng được thiết kế để tách, kết hợp hoặc chuyển hướng dòng khí trong khi duy trì tính toàn vẹn chân không cao từ áp suất khí quyển xuống đến 10-8 Torr.các thành phần này có đường chính thẳng ngang với cổng nhánh thẳng đứng, hình học bên trong trơn tru và kết nối KF (Klein Flansch / Quick Flange) trên cả ba cổng.

Được sản xuất từ thép không gỉ chất lượng cao 304 hoặc 316L, các ống kính KF rất cần thiết cho các bộ thu hút chân không, cổng thiết bị, đường dẫn nhập khí và mạng bơm.Mỗi tee kết hợp hệ thống kết nối KF tiêu chuẩn quốc tế, sử dụng một vòng trung tâm, elastomer O-ring, và cánh nốt kẹp cho nhanh chóng, lắp ráp không có công cụ.hoặc xây dựng một trung tâm phân phối khí, những tơ này cung cấp độ dẫn điện, linh hoạt và độ tin cậy mà các ứng dụng chân không cao đòi hỏi.

Các đặc điểm chính và đặc điểm

• Cấu hình:Trò chơi ba cổng thực sự (thông thẳng với nhánh thẳng đứng)

• Loại kết nối:KF (NW) flanges ở cả ba cảng

• Kích thước cổng:Tất cả các cổng cùng kích thước, hoặc cắt giảm tees với đường kính hỗn hợp

• Phạm vi chân không:khí quyển đến 1×10−8 Torr

• Vật liệu:Thép không gỉ 304 hoặc 316L

• Xét bề mặt bên trong:Ra ≤ 0,8 μm (được đánh bóng điện hoặc đánh bóng cơ khí)

• Tỷ lệ thải khí:< 2×10−8 Torr·L/s·cm2 (sau khi làm sạch bằng chân không)

• Sự toàn vẹn rò rỉ:Sự rò rỉ heli được thử nghiệm với < 1 × 10−9 mbar·L/s

• Khả năng nướng:Đến 150°C (với Viton® O-ring)

• Bộ sưu tập:Kẹp không có công cụ bằng kẹp KF và vòng trục

• Định hướng chi nhánh:90° thẳng đứng với trục chính (tiêu chuẩn)

Ứng dụng

• Bộ thu hút chân không:Mạng lưới phân phối nhiều cảng cho bơm và thông gió

• Cổng thiết bị:Kết nối máy đo áp suất, RGA và máy đo ion

• Các đường dẫn nhập khí:Nhập khí quá trình vào các buồng lắng đọng

• Chất lắng đọng màng mỏng:Sputtering, bốc hơi và hệ thống ống nước ALD

• Khám phá rò rỉ helium:Tạo các nhánh T cho các kết nối cổng thử nghiệm

• Các dụng cụ phân tích:Máy quang phổ khối lượng, kính hiển vi điện tử, dụng cụ phân tích bề mặt

• Thiết bị bán dẫn:Khóa tải, buồng chuyển và mô-đun quy trình

• R&D hệ thống chân không:Thiết lập thử nghiệm linh hoạt đòi hỏi nhiều điểm truy cập

• Các hệ thống tuyến trước:Phân nhánh giữa máy bơm hỗ trợ và máy bơm chân không cao

Tại sao chọn KF Tees của chúng tôi cho hệ thống chân không?

Chúng tôi kết hợp hình thành chính xác, CNC gia công, và hàn quỹ đạo để cung cấp KF tee đáp ứng hoặc vượt quá các tiêu chuẩn chân không cao quốc tế.làm sạch siêu âm bằng chất tẩy rửa chất bán dẫn, và túi đôi trong môi trường phòng sạch. giảm tees (chân đường kính nhánh khác nhau), định hướng cổng tùy chỉnh, và kích thước đặc biệt từ trung tâm đến sườn có sẵn với hỗ trợ kỹ thuật.