كيه إف تيس لنظام الفراغ: التفرع متعددة الاستخدامات مع سهولة اللحاء السريع

وصف المنتج

أجهزة KF لنظام الفراغهي عبارة عن عوارض سريعة ذات ثلاثة منافذ مصممة للفصل أو الجمع أو إعادة توجيه تدفق الغاز مع الحفاظ على سلامة الفراغ العالي من الضغط الجوي إلى 10-8 تور. المعروف أيضًا باسم NW te ،هذه المكونات تتميز بخط رئيسي مستقيم مع منفذ فرع عمودي، الهندسة الداخلية السلسة، والاتصالات KF (Klein Flansch / Quick Flange) على جميع الموانئ الثلاثة.

المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ عالي الجودة 304 أو 316L ، تعتبر أدوات KF ضرورية لمجموعات الفراغ ، ومنافذ الأجهزة ، وخطوط إدخال الغاز ، وشبكات الضخ.يحتوي كل قميص على نظام اتصال KF الموحد دوليا، والذي يستخدم حلقة مركزية، حلقة O-الستومر، ومشبك الجناح المكسر للجميع السريع، خالية من الأدوات. سواء كنت إضافة مقياس الضغط، توصيل محلل غازات متبقية (RGA) ،أو بناء مركز لتوزيع الغاز، توفر هذه الأجهزة التوصيل والمرونة والموثوقية التي تتطلبها تطبيقات الفراغ العالي.

السمات الرئيسية والخصائص

• التكوين:الشريط الحقيقي ذو الثلاثة منافذ (مباشرة مع فرع عمودي)

• نوع الاتصال:شظايا KF (NW) في جميع الموانئ الثلاثة

• أحجام المنفذ:جميع المنافذ نفس الحجم، أو تخفيض الشرائح مع قطرات مختلطة

• نطاق الفراغ:الغلاف الجوي إلى 1 × 10-8 تور

• المواد:304 أو 316L الفولاذ المقاوم للصدأ

• التشطيب السطحي الداخلي:Ra ≤ 0.8 μm (المصقولة بالكهرباء أو المصقولة ميكانيكياً)

• معدل إفراز الغازات:< 2×10−8 Torr·L/s·cm2 (بعد تنظيف الفراغ)

• سلامة التسرب:اختبار تسرب الهيليوم إلى < 1 × 10−9 mbar·L/s

• القدرة على الخبز:حتى 150 درجة مئوية (مع حلقات Viton® O)

• التجميع:مشبك بدون أدوات مع مشابك KF وحلقات الوسط

• التوجيهات:90 درجة عمودية على المحور الرئيسي (المعيار)

التطبيقات

• علب الفراغ:شبكات توزيع متعددة الموانئ للضخ والتهوية

• منافذ الأجهزة:ربط مقاييس الضغط و RGA و مقاييس الأيونات

• خطوط إدخال الغاز:إدخال غازات العملية إلى غرف الترسب

• ترسبات فيلم رقيق:التبخير، والتبخر، والأنابيب النظام ALD

• الكشف عن تسرب الهيليوم:إنشاء فروع T للاتصالات بمنفذ الاختبار

• أدوات التحليل:طيفات الكتلة، المجهر الإلكتروني، أدوات تحليل السطح

• معدات أشباه الموصلات:أقفال الحمولة وغرف النقل ووحدات العملية

• أنظمة الفراغ للبحث والتطوير:إعدادات تجريبية مرنة تتطلب نقاط وصول متعددة

• أنظمة الخط الأمامي:التفرع بين مضخات الدعم ومضخات الفراغ العالي

لماذا تختار كيه إف تيس لدينا لأنظمة الفراغ؟

نحن نجمع بين التشكيل الدقيق، والمعالجة الحاسوبية، واللحام المداري لتقديم كيه إف تيس التي تلبي أو تتجاوز المعايير الدولية عالية الفراغ.تم تنظيفها بالموجات فوق الصوتية بمطهرات من نوع أشباه الموصلات، ويتم وضعها في حقيبة مزدوجة في بيئة غرفة نظيفة. تتوفر مع الدعم الهندسي تقليص الشرائط (قطر فروع مختلف) ، وتوجيهات منفذ مخصصة ، وأبعاد خاصة من الوسط إلى الشريط.