تي شيرتات ISO لنظام التفريغ: تفرع متعدد الاستخدامات لخطوط التفريغ المتوسطة والكبيرة

وصف المنتج

المحملات ISO لنظام فراغعبارة عن تركيبات دقيقة بثلاثة منافذ مصممة لتقسيم تدفق الغاز أو دمجه أو إعادة توجيهه مع الحفاظ على سلامة الفراغ العالي من الضغط الجوي وصولاً إلى 10⁻⁹ تور. تُعرف هذه المكونات أيضًا باسم المحملات الفرعية المفرغة ISO أو المحملات المتساوية، وتتميز بخط رئيسي مستقيم مع منفذ فرعي عمودي، وأشكال هندسية داخلية ناعمة، وحواف ISO-K أو ISO-F على جميع المنافذ الثلاثة.

تُعتبر المحملات ISO، المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ 304L أو 316L عالي الجودة، ضرورية لمشعبات التفريغ، ومنافذ الأجهزة، ومحاور توزيع الغاز، وشبكات الضخ في أنظمة التفريغ المتوسطة إلى الكبيرة الحجم. إنها تتوافق مع معايير ISO 1609 وISO 2861 وPneurop 6606 المعترف بها دوليًا. على عكس تركيبات KF التي تقتصر على أقطار أصغر (حتى DN50)، تتوفر وصلات ISO للأقطار الاسمية من DN63 إلى DN630، مما يجعلها الاختيار القياسي للتطبيقات الصناعية والبحثية. سواء كنت تقوم بإضافة مقياس ضغط، أو توصيل محلل الغاز المتبقي (RGA)، أو بناء مجمع خلط الغاز، أو تفرع خط ضخ، فإن هذه المحملات توفر التوصيل والمرونة والموثوقية التي تتطلبها تطبيقات الفراغ العالي والتطبيقات ذات الجهد العالي العالي.

الميزات والخصائص الرئيسية

• إعدادات:نقطة الإنطلاق الحقيقية ثلاثية المنافذ (خط رئيسي مباشر مع فرع عمودي)

• أنواع شفة:ISO-K (مشبك بحلقة مركزية) أو ISO-F (مثبت بمسامير)

• أحجام المنافذ:جميع المنافذ الثلاثة بنفس الحجم (نقطة الإنطلاق متساوية)، أو نقطة الإنطلاق المخففة بأقطار مختلطة

• نطاق الفراغ:الغلاف الجوي إلى 1×10⁻⁹ Torr (UHV متوافق مع الأختام المعدنية)

• الأقطار الاسمية (DN):DN63، DN80، DN100، DN160، DN200، DN250، DN320، DN400، DN500، DN630

• مادة:الفولاذ المقاوم للصدأ 304L أو 316L (منخفض الكربون، متوافق مع UHV)

• الانتهاء من السطح الداخلي:Ra ≥ 0.8 ميكرومتر (مصقول كهربائيًا أو ميكانيكيًا)

• معدل إطلاق الغازات:< 2×10⁻⁸ Torr·L/s·cm² (بعد التنظيف بالمكنسة الكهربائية)

• تسرب النزاهة:تم اختبار تسرب الهيليوم إلى أقل من 1×10⁻⁹ ملي بار·لتر/ثانية

• القدرة على الخبز:حتى 400 درجة مئوية (ISO-F مع أختام معدنية)

• اتجاه الفرع:90 درجة عمودي على المحور الرئيسي (قياسي)

التطبيقات

• مشعبات الفراغ:شبكات توزيع متعددة المنافذ للضخ والتهوية

• منافذ الأجهزة:توصيل أجهزة قياس الضغط، وRGAs، وأجهزة قياس الأيونات، والأقطاب الرباعية

• خطوط إدخال الغاز:إدخال غازات العملية إلى غرف الترسيب

• أنظمة الطلاء واسعة النطاق:أشباه الموصلات والبصرية والزخرفية PVD

• ترسيب الأغشية الرقيقة:الاخرق والتبخر والسباكة نظام ALD

• كشف تسرب الهيليوم:إنشاء فروع T لاتصالات منفذ الاختبار

• الأدوات التحليلية:أجهزة قياس الطيف الكتلي وأدوات التحليل السطحي

• معدات أشباه الموصلات:أقفال التحميل، وغرف النقل، ووحدات المعالجة

• أنظمة فراغ البحث والتطوير:إعدادات تجريبية مرنة تتطلب نقاط وصول متعددة

• غرف محاكاة الفضاء:فروع أجهزة نظام الفراغ الحراري

• خطوط شعاع البحث:أنظمة فراغ السنكروترون ومسرع الجسيمات

• أنظمة الخطوط الأمامية:المتفرعة بين المضخات المساندة ومضخات الفراغ العالي

لماذا تختار محملات ISO الخاصة بنا لأنظمة التفريغ؟

نحن نجمع بين التطريق الدقيق، والتصنيع باستخدام الحاسب الآلي، واللحام المداري لتقديم تي شيرتات ISO تلبي معايير التفريغ الدولية أو تتجاوزها. يتم اختبار تسرب الهيليوم في كل تيشيرت، ويتم تنظيفها بالموجات فوق الصوتية باستخدام منظفات من فئة أشباه الموصلات، ويتم تعبئتها في كيس مزدوج في بيئة غرفة نظيفة. تتوفر المحملات المختزلة (أقطار فرعية مختلفة)، وأنواع الفلنجة المختلطة (ISO-K وISO-F على نفس المحملة)، واتجاهات الفروع المخصصة، والتشطيبات من فئة UHV (ختم معدني جاهز، Ra ≥ 0.4 ميكرومتر) مع دعم هندسي.