진공 시스템용 ISO 티: 중대형 진공 라인을 위한 다양한 분기

제품 설명

진공 시스템용 ISO 티대기압에서 10⁻⁹ Torr까지 고진공 무결성을 유지하면서 가스 흐름을 분할, 결합 또는 방향 전환하도록 설계된 3포트 정밀 피팅입니다. ISO 진공 브랜치 티 또는 동등 티라고도 알려진 이 구성 요소는 수직 브랜치 포트가 있는 직선형 메인 라인, 부드러운 내부 기하학적 구조 및 세 포트 모두에 ISO-K 또는 ISO-F 플랜지가 특징입니다.

고품질 304L 또는 316L 스테인리스 스틸로 제조된 ISO 티는 중대형 진공 시스템의 진공 매니폴드, 계측 포트, 가스 분배 허브 및 펌핑 네트워크에 필수적입니다. 이 제품은 국제적으로 인정받는 ISO 1609, ISO 2861 및 Pneurop 6606 표준을 준수합니다. 더 작은 직경(최대 DN50)으로 제한되는 KF 피팅과 달리 ISO 티는 DN63에서 DN630까지의 공칭 직경에 사용할 수 있으므로 산업 및 연구 응용 분야의 표준 선택입니다. 압력 게이지를 추가하든, 잔류 가스 분석기(RGA)를 연결하든, 가스 혼합 매니폴드를 구성하든, 펌핑 라인을 분기하든 이 티는 까다로운 고진공 및 UHV 응용 분야에 필요한 전도도, 유연성 및 신뢰성을 제공합니다.

주요 특징 및 특징

• 구성:진정한 3포트 티(수직 분기가 있는 직선형 메인 라인)

• 플랜지 유형:ISO-K(센터링 링이 있는 클램프) 또는 ISO-F(볼트 체결식)

• 포트 크기:3개 포트 모두 동일한 크기(동일 티) 또는 직경이 혼합된 축소 티

• 진공 범위:대기 ~ 1×10⁻⁹ Torr(금속 씰과 호환되는 UHV)

• 공칭 직경(DN):DN63, DN80, DN100, DN160, DN200, DN250, DN320, DN400, DN500, DN630

• 재료:304L 또는 316L 스테인레스 스틸(저탄소, UHV 호환)

• 내부 표면 마감:Ra ≤ 0.8 µm (전해연마 또는 기계연마)

• 가스 방출 속도:< 2×10⁻⁸ Torr·L/s·cm² (진공 청소 후)

• 누출 무결성:헬륨 누출 테스트를 < 1×10⁻⁹ mbar·L/s로 테스트함

• 베이크아웃 기능:최대 400°C(금속 씰 포함 ISO-F)

• 지점 오리엔테이션:주축에 수직인 90°(표준)

응용

• 진공 매니폴드:펌핑 및 환기를 위한 다중 포트 분배 네트워크

• 계측 포트:압력 게이지, RGA, 이온 게이지 및 사중극자 연결

• 가스 도입 라인:증착 챔버에 공정 가스 유입

• 대규모 코팅 시스템:반도체, 광학, 장식용 PVD

• 박막 증착:스퍼터링, 증발 및 ALD 시스템 배관

• 헬륨 누출 감지:테스트 포트 연결을 위한 T-브랜치 생성

• 분석 장비:질량 분석기, 표면 분석 도구

• 반도체 장비:로드락, 이송 챔버 및 프로세스 모듈

• R&D 진공 시스템:여러 액세스 포인트가 필요한 유연한 실험 설정

• 우주 시뮬레이션 챔버:열 진공 시스템 계측 분야

• 연구 빔라인:싱크로트론 및 입자 가속기 진공 시스템

• 포어라인 시스템:배압 펌프와 고진공 펌프 사이의 분기

진공 시스템용 ISO 티를 선택하는 이유는 무엇입니까?

우리는 정밀 단조, CNC 가공 및 궤도 용접을 결합하여 국제 진공 표준을 충족하거나 초과하는 ISO 티를 제공합니다. 모든 티는 헬륨 누출 테스트를 거쳐 반도체 등급 세제로 초음파 세척되고 클린룸 환경에서 이중 포장됩니다. 축소 티(다른 브랜치 직경), 혼합 플랜지 유형(동일한 티의 ISO-K 및 ISO-F), 맞춤형 브랜치 방향 및 UHV 등급 마감(금속 씰 지원, Ra ≤ 0.4 µm)을 엔지니어링 지원을 통해 사용할 수 있습니다.