KF 90° 엘보우: 안정적인 고진공 방향 변경

제품 설명

KF 90° 엘보대기압부터 10⁻⁸ Torr까지의 고진공 시스템에서 가스 흐름의 방향을 90도 바꾸도록 설계된 퀵 플랜지 진공 피팅입니다. NW 90° 엘보우라고도 알려진 이 구성 요소는 내부 반경이 부드러운 90도 굽힘, 양쪽 끝의 KF 플랜지 연결, 진공 등급 표면 마감으로 가스 방출을 최소화하고 가상 누출을 제거합니다.

고품질 304 또는 316L 스테인리스 스틸로 제작된 KF 90° 엘보우는 진공 챔버, 펌핑 라인, 포어라인 튜빙, 로드락 및 분석 장비에 필수적입니다. 각 엘보에는 국제적으로 표준화된 KF(Klein Flansch / Quick Flange) 연결 시스템이 통합되어 있으며, 센터링 링, 탄성중합체 O-링 및 윙 너트 클램프를 사용하여 도구 없이 신속하게 조립할 수 있습니다. 새로운 진공 매니폴드를 구축하든, 증착 시스템을 수정하든, 누출 감지 스테이션을 수리하든 이 엘보우는 까다로운 고진공 응용 분야에 필요한 전도도, 신뢰성 및 편의성을 제공합니다.

주요 특징 및 특징

• 굽힘 각도:90도(45° 및 사용자 정의 각도도 가능)

• 연결 유형:양단 KF(NW) 플랜지(동일 사이즈)

• 진공 범위:대기 ~ 1×10⁻⁸ Torr

• 굴곡 반경:긴 반경(1.5× DN) – 표준

• 재료:304 또는 316L 스테인레스 스틸

• 내부 표면 마감:Ra ≤ 0.8 µm (전해연마 또는 기계연마)

• 가스 방출 속도:< 2×10⁻⁸ Torr·L/s·cm² (진공 청소 후)

• 누출 무결성:헬륨 누출 테스트를 < 1×10⁻⁹ mbar·L/s로 테스트함

• 베이크아웃 기능:최대 150°C(Viton® O-링 사용)

• 집회:KF 클램프 및 센터링 링을 사용한 도구가 필요 없는 클램핑

• 재사용성:여러 설치에서 완전히 분리 가능하고 재사용 가능

응용

• 진공 펌핑 라인:러핑 펌프를 터보 펌프 또는 챔버에 연결

• 포어라인 시스템:배압 펌프와 고진공 펌프 사이의 90도 굴곡

• 수단:압력 게이지 및 RGA로 흐름 방향 전환

• 박막 증착:스퍼터링, 증발 및 ALD 시스템 배관

• 헬륨 누출 감지:테스트 포트와 감지기 사이의 어댑터 라인

• 분석 장비:질량 분석기, 전자 현미경, 표면 분석 도구

• R&D 진공 매니폴드:다중 포트 배열로 컴팩트한 90도 회전

• 로드 잠금 시스템:공간 효율적인 레이아웃으로 챔버를 상호 연결

KF 90° 엘보우를 선택하는 이유는 무엇입니까?

우리는 정밀 CNC 튜브 벤딩과 전해 연마 및 100% 헬륨 누출 테스트를 결합하여 국제 고진공 표준을 충족하거나 초과하는 KF 엘보를 제공합니다. 모든 팔꿈치는 반도체 등급 세제를 사용하여 초음파 세척되고, 진공 포장되며, 누출 테스트 보고서로 인증됩니다. 엔지니어링 지원을 통해 맞춤형 굽힘 반경, 축소 구성 및 특수 길이를 사용할 수 있습니다.