진공 시스템용 KF 4방향 크로스: 빠른 플랜지 효율성을 갖춘 4포트 통합

제품 설명

진공 시스템용 KF 4방향 크로스대기압부터 10⁻⁸ Torr까지 고진공 무결성을 유지하면서 직교 방향으로 최대 4개의 진공 부품을 연결하도록 설계된 4포트 퀵 플랜지 피팅입니다. NW 크로스라고도 알려진 이 구성 요소는 진정한 크로스 구성(양쪽에 수직 수직 포트가 있는 직선형 수평 포트)으로 배열된 4개의 KF(Klein Flansch/Quick Flange) 연결을 특징으로 합니다.

고품질 304 또는 316L 스테인리스 스틸로 제조된 KF 4방향 크로스는 복잡한 진공 매니폴드, 다중 장비 허브, 가스 분배 센터 및 직교류 펌핑 구성에 필수적입니다. 각 크로스에는 도구 없이 신속하게 조립할 수 있도록 센터링 링, 엘라스토머 O-링 및 윙 너트 클램프를 사용하는 국제적으로 표준화된 KF 연결 시스템이 통합되어 있습니다. 다중 센서 진단 스테이션, 가스 혼합 매니폴드 또는 360도 액세스 진공 허브를 구축하는 경우 이러한 크로스는 까다로운 고진공 응용 분야에 필요한 전도도, 유연성 및 편의성을 제공합니다.

주요 특징 및 특징

• 구성:4개의 직교 포트(양쪽에서 직선 수평 + 수직 수직)

• 연결 유형:4개 포트 모두에 KF(NW) 플랜지

• 포트 크기:4개 포트 모두 동일한 크기(동일 크로스) 또는 직경이 혼합된 축소 크로스

• 진공 범위:대기 ~ 1×10⁻⁸ Torr

• 재료:304 또는 316L 스테인레스 스틸

• 내부 표면 마감:Ra ≤ 0.8 µm (전해연마 또는 기계연마)

• 가스 방출 속도:< 2×10⁻⁸ Torr·L/s·cm² (진공 청소 후)

• 누출 무결성:헬륨 누출 테스트를 < 1×10⁻⁹ mbar·L/s로 테스트함

• 베이크아웃 기능:최대 150°C(Viton® O-링 사용)

• 집회:KF 클램프 및 센터링 링을 사용한 도구가 필요 없는 클램핑

• 대칭:균일한 흐름 특성을 위한 진정한 직교 기하학

응용

• 다중 장비 진공 허브:게이지, RGA, 뷰포트 및 피드스루를 동시에 연결

• 가스 혼합 매니폴드:증착 챔버에 다양한 공정 가스 도입

• 박막 증착:스퍼터링, 증발 및 ALD 시스템 배관

• 직교류 펌핑 구성:균일한 압력 분포를 위한 대칭 펌핑

• 분석 장비:질량 분석기, 전자 현미경, 표면 분석 도구

• 반도체 장비:로드락, 이송 챔버 및 프로세스 모듈

• R&D 진공 시스템:여러 액세스 포인트가 필요한 유연한 실험 설정

• 우주 시뮬레이션:열 진공 챔버 계측 포트

• 진공 코팅 시스템:여러 공정 위치에 가스 또는 신호 배포

진공 시스템용 KF 4방향 크로스를 선택하는 이유는 무엇입니까?

우리는 정밀 단조, CNC 가공 및 오비탈 용접을 결합하여 국제 고진공 표준을 충족하거나 초과하는 KF 크로스를 제공합니다. 모든 4방향 크로스는 헬륨 누출 테스트를 거쳤으며, 반도체 등급 세제로 초음파 세척되었으며, 클린룸 환경에서 이중 포장되었습니다. 엔지니어링 지원을 통해 크로스(다양한 포트 직경) 감소, 맞춤형 포트 방향 및 특수 중심-플랜지 치수를 사용할 수 있습니다.