KF 4道交差点:クイックフレンズ効率の4ポート統合

製品説明

KF 4方向交差点 真空システム4ポートの高速フレンズフィッティングで,最大4つの真空コンポーネントを直角方向で接続し,大気圧から10−8トールまで高真空整合性を維持する.NWクロスとも呼ばれますこのコンポーネントは,両側に垂直の垂直のポートを持つ直径横切口で,真のクロス配置に配置された4つのKF (Klein Flansch / Quick Flange) 接続を備えています.

高品質の304または316Lステンレス鋼で製造されたKF 4方向のクロスは,複雑な真空マニホールド,マルチインスタントハブ,ガス配送センター,横流ポンプの配置各クロスには,国際標準化されたKF接続システムがあり,中心リング,エラストーマーOリング,翼ナッツクリップを使用して,ツールなしで迅速に組み立てられます.マルチセンサ診断ステーションを 構築しているかどうかこのクロスには高真空アプリケーションに必要な導電性,柔軟性,そして便利性があります

主要 な 特徴 と 特徴

• 構成:4つの直角端口 (横直線+両側垂直)

• 接続タイプ:KF (NW) フレンズ

• ポートサイズ:すべての4つのポート同じサイズ (同じクロス) または混合直径の縮小クロス

• バキューム範囲:1×10−8 トール

• 材料:304または316Lステンレス鋼

• 内部表面の仕上げ:Ra ≤ 0.8 μm (電気磨きまたは機械磨き)

• 排気量:< 2×10−8 Torr·L/s·cm2 (真空掃除後)

• 漏洩の完全性< 1×10−9 mbar·L/s で試験されたヘリウム漏れ

• 焼却能力:150°Cまで (Viton® Oリング)

• 組み立て:道具なしのクランプ,KFクランプ,センターリング

• シンメトリー均質な流量特性のための真の直角幾何学

申請

• 複数の器具用真空ハブ:計測器,RGA,ビューポート,フィードスルーを同時に接続する

• ガスを混ぜるマニホット:堆積室に複数のプロセスガスを導入する

• 薄膜堆積物:スプッター,蒸発,ALDシステム管道

• 横流ポンプ配置:均質な圧力分布のための対称ポンプ

• 分析装置:質量スペクトロメーター,電子顕微鏡,表面分析ツール

• 半導体機器:負荷ロック,転送室,およびプロセスモジュール

• R&D真空システム:複数のアクセスポイントを必要とする柔軟な実験設定

• 宇宙シミュレーション熱真空室の計測装置のポート

• バキュームコーティングシステム:複数のプロセス地点にガスや信号を配送する

なぜ私たちのKF4Wayクロスを 掃除システムに選ぶのか?

精密鍛造,CNC加工,軌道溶接を組み合わせて 国際高真空基準を満たすか超えた KFクロスを作ります半導体級洗剤で超音波で清掃されたクリーンルーム環境でダブルバッグ化されている.縮小クロス (異なるポート直径),カスタムポート方向化,および特殊なセンターからフレンジ寸法がエンジニアリングサポートで利用可能である.