Cruzamentos de 4 vias KF para sistema de vácuo: integração de quatro portas com eficiência de flange rápido

Descrição do produto

Cruzes de 4 vias KF para sistema de vácuosão conexões de flange rápida de quatro portas projetadas para conectar até quatro componentes de vácuo em direções ortogonais, mantendo a integridade de alto vácuo desde a pressão atmosférica até 10⁻⁸ Torr. Também conhecidos como cruzamentos NW, esses componentes apresentam quatro conexões KF (Klein Flansch/Quick Flange) dispostas em uma verdadeira configuração cruzada – portas horizontais diretas com portas verticais perpendiculares em ambos os lados.

Fabricadas em aço inoxidável 304 ou 316L de alta qualidade, as cruzetas de 4 vias KF são essenciais para coletores de vácuo complexos, hubs multi-instrumentos, centros de distribuição de gás e configurações de bombeamento de fluxo cruzado. Cada cruzeta incorpora o sistema de conexão KF padronizado internacionalmente, que utiliza um anel de centralização, anel de vedação de elastômero e braçadeira de porca borboleta para montagem rápida e sem ferramentas. Esteja você construindo uma estação de diagnóstico multissensor, um coletor de mistura de gás ou um hub de vácuo com acesso de 360 ​​graus, essas cruzes oferecem a condutância, a flexibilidade e a conveniência que as aplicações exigentes de alto vácuo exigem.

Principais recursos e características

• Configuração:Quatro portas ortogonais (horizontal direta + vertical perpendicular em ambos os lados)

• Tipo de conexão:Flanges KF (NW) em todas as quatro portas

• Tamanhos de porta:Todas as quatro portas do mesmo tamanho (cruzadas iguais) ou cruzes redutoras com diâmetros mistos

• Faixa de vácuo:Atmosférico para 1×10⁻⁸ Torr

• Material:Aço inoxidável 304 ou 316L

• Acabamento de superfície interna:Ra ≤ 0,8 µm (eletropolido ou polido mecanicamente)

• Taxa de desgaseificação:< 2×10⁻⁸ Torr·L/s·cm² (após aspiração)

• Integridade de vazamento:Vazamento de hélio testado para < 1×10⁻⁹ mbar·L/s

• Capacidade de cozimento:Até 150°C (com anéis de vedação Viton®)

• Conjunto:Fixação sem ferramentas com grampos KF e anéis de centragem

• Simetria:Geometria ortogonal verdadeira para características de fluxo uniformes

Aplicativos

• Hubs de vácuo multi-instrumentos:Conectando medidores, RGAs, viewports e feedthroughs simultaneamente

• Coletores de mistura de gás:Introdução de vários gases de processo em câmaras de deposição

• Deposição de filme fino:Sputtering, evaporação e encanamento do sistema ALD

• Configurações de bombeamento de fluxo cruzado:Bombeamento simétrico para distribuição uniforme de pressão

• Instrumentos analíticos:Espectrômetros de massa, microscópios eletrônicos, ferramentas de análise de superfície

• Equipamento semicondutor:Bloqueios de carga, câmaras de transferência e módulos de processo

• Sistemas de vácuo de pesquisa e desenvolvimento:Configurações experimentais flexíveis que exigem vários pontos de acesso

• Simulação espacial:Portas de instrumentação de câmara de vácuo térmico

• Sistemas de revestimento a vácuo:Distribuir gases ou sinais para vários locais de processo

Por que escolher nossas cruzetas de 4 vias KF para sistemas de vácuo?

Combinamos forjamento de precisão, usinagem CNC e soldagem orbital para fornecer cruzes KF que atendem ou excedem os padrões internacionais de alto vácuo. Cada cruzeta de 4 vias é testada contra vazamento de hélio, limpa ultrassonicamente com detergentes de grau semicondutor e ensacada duas vezes em um ambiente de sala limpa. Redução de cruzamentos (diferentes diâmetros de porta), orientações de porta personalizadas e dimensões especiais do centro ao flange estão disponíveis com suporte de engenharia.