KF 4-Way Crosses لنظام الفراغ: تكامل أربعة موانئ مع كفاءة الفلينج السريع

وصف المنتج

التقاطعات KF ذات 4 طرق لنظام الفراغهي أربعة منافذ من الأجهزة السريعة المصممة لربط ما يصل إلى أربعة مكونات فراغ في اتجاهات متعامدة مع الحفاظ على سلامة فراغ عالية من الضغط الجوي حتى 10-8 تور.المعروف أيضا باسم الصلبان الشمالية، تتضمن هذه المكونات أربعة اتصالات KF (Klein Flansch / Quick Flange) مرتبة في تكوين متقاطع حقيقي مع منافذ أفقية مستقيمة مع منافذ عمودية عمودية على جانبي.

المصنوعة من الصلب المقاوم للصدأ من الجودة العالية 304 أو 316L، والصلب KF 4 طريق ضرورية لمجموعات فراغ معقدة، محاور متعددة الأدوات، مراكز توزيع الغاز،وتكوينات ضخ التدفق المتقاطعيحتوي كل صليب على نظام اتصال KF الموحد دولياً، والذي يستخدم حلقة مركزية، وحلقة O من الإلاستومر، ومشبك جوز الجناح لجمع سريع وبدون أدوات.سواء كنت تبني محطة تشخيص متعددة المستشعرات، مجموعة خليط الغاز، أو محور فراغ الوصول 360 درجة، هذه الصلبان توفر الموصلية والمرونة والراحة التي تتطلب تطبيقات الفراغ العالي.

السمات الرئيسية والخصائص

• التكوين:أربعة منافذ متعامدة (أفقية مباشرة + عمودية عمودية على جانبي)

• نوع الاتصال:شظايا KF (NW) في جميع الموانئ الأربعة

• أحجام المنفذ:جميع المنافذ الأربعة ذات الحجم نفسه (الصليب المتساوي) ، أو الحد من الصلبات مع قطرات مختلطة

• نطاق الفراغ:الغلاف الجوي إلى 1 × 10-8 تور

• المواد:304 أو 316L الفولاذ المقاوم للصدأ

• التشطيب السطحي الداخلي:Ra ≤ 0.8 μm (المصقولة بالكهرباء أو المصقولة ميكانيكياً)

• معدل إفراز الغازات:< 2×10−8 Torr·L/s·cm2 (بعد تنظيف الفراغ)

• سلامة التسرب:اختبار تسرب الهيليوم إلى < 1 × 10−9 mbar·L/s

• القدرة على الخبز:حتى 150 درجة مئوية (مع حلقات Viton® O)

• التجميع:مشبك بدون أدوات مع مشابك KF وحلقات الوسط

• التماثل:الهندسة المنعطفة الحقيقية لخصائص التدفق الموحدة

التطبيقات

• محاور فراغ متعددة الأدوات:ربط المقاييس ، RGA ، نوافذ المشاهدة ، والإرسال في وقت واحد

• منجم خلط الغازات:إدخال غازات عملية متعددة إلى غرف الترسب

• ترسبات فيلم رقيق:التبخير، والتبخر، والأنابيب النظام ALD

• تكوينات ضخ التدفق المتقاطع:ضخ متماثل لتوزيع ضغط موحد

• أدوات التحليل:طيفات الكتلة، المجهر الإلكتروني، أدوات تحليل السطح

• معدات أشباه الموصلات:أقفال الحمولة وغرف النقل ووحدات العملية

• أنظمة الفراغ للبحث والتطوير:إعدادات تجريبية مرنة تتطلب نقاط وصول متعددة

• محاكاة الفضاء:منافذ أجهزة غرف الفراغ الحراري

• أنظمة طلاء الفراغ:توزيع الغازات أو الإشارات إلى مواقع عملية متعددة

لماذا تختار نظامنا KF 4-Way Crosses للأنظمة الفراغية؟

نحن نجمع بين التصنيع الدقيق، والمعالجة الحاسوبية، واللحام المداري لتقديم الصلبة KF التي تلبي أو تتجاوز المعايير الدولية عالية الفراغ.تم تنظيفها بالموجات فوق الصوتية بمطهرات من نوع أشباه الموصلات، ويتم وضعها في حقيبة مزدوجة في بيئة غرفة نظيفة. تتوفر مع الدعم الهندسي صلبات الحد (قطر منفذ مختلف) وتوجهات منفذ مخصصة وأبعاد خاصة من المركز إلى الشبكة.