真空システム用 ISO 90° エルボ: 大規模真空ライン用の高コンダクタンス直角ターン

製品説明

真空システム用 ISO 90° エルボは、大気圧から 10⁻⁹ Torr までの高真空の完全性を維持しながら、ガスの流れを 90 度方向転換するように設計された、精密に設計された曲げ管状継手です。 ISO 直角ベンドまたは 4 分の 1 回転継手とも呼ばれるこれらのコンポーネントは、両端に ISO-K または ISO-F フランジを備え、最適な流れ特性を実現する滑らかで連続した内部半径を備えています。

高品質の 304L または 316L ステンレス鋼で製造された ISO 90° エルボは、スペースの制約やシステム レイアウトにより垂直方向の変更が必要な真空チャンバー、ポンプ システム、トランスファー ライン、産業プロセス機器に不可欠です。これらは、国際的に認められた ISO 1609、ISO 2861、および Pneurop 6606 規格に準拠しています。より小さい直径 (最大 DN50) に限定される KF 継手とは異なり、ISO 90° エルボは DN63 から DN630 までの呼び径に対応しており、中規模および大規模の高真空および超高真空 (UHV) システムの標準的な選択肢となっています。ポンプラインを構造上の障害物の周囲に配線する必要がある場合、オフセットコンポーネントを接続する必要がある場合、またはコンパクトなマニホールドを設計する必要がある場合でも、これらのエルボは、要求の厳しいアプリケーションが必要とするコンダクタンス、信頼性、および柔軟性を提供します。

主な機能と特徴

• 曲げ角度:90度（標準）

• 曲げ半径:長半径 (1.5× DN) – 最大コンダクタンスの標準

• フランジの種類:ISO-K (センタリングリング付きクランプ) または ISO-F (ボルト締め)

• 真空範囲:大気圧～1×10⁻⁹ Torr (メタルシールと互換性のある UHV)

• 呼び径 (DN):DN63、DN80、DN100、DN160、DN200、DN250、DN320、DN400、DN500、DN630

• 材料：304L または 316L ステンレス鋼 (低炭素、UHV 互換)

• 内部表面仕上げ:Ra ≤ 0.8 μm (電解研磨または機械研磨)

• ガス放出率:< 2×10⁻⁸ Torr・L/s・cm² (真空洗浄後)

• リークの完全性:ヘリウムリークテスト: < 1×10⁻⁹ mbar・L/s

• 焼き出し機能:400℃まで（ISO-F、メタルシール付き）

アプリケーション

• 真空排気ライン：障害物の周囲の荒加工ラインと高真空ラインの方向を変更する

• 大規模塗装システム:半導体、光学、装飾用 PVD

• 薄膜堆積:スパッタリング、蒸着、ALD システムの配管

• 宇宙シミュレーションチャンバー:熱真空システムの相互接続

• 研究ビームライン:シンクロトロンおよび粒子加速器真空システム

• 工業用真空処理:メタライズ、熱処理、乾燥システム

• ISO-K から ISO-F への移行:クランプ規格とボルト締め規格の間の変換

• コンパクトなマニホールド設計:スペース効率の高い真空アセンブリの作成

• ロードロックシステム:異なる高さにあるチャンバー間の配線の配線

• 極低温システム:液体窒素および液体ヘリウムの移送ライン

真空システムに当社の ISO 90° エルボを選ぶ理由

当社は、精密 CNC チューブ曲げ、オービタル溶接、電解研磨を組み合わせて、国際真空規格を満たす、またはそれを超える ISO 90° エルボを提供します。すべてのエルボはヘリウムリークテストが行​​われ、半導体グレードの洗剤で超音波洗浄され、クリーンルーム環境で二重袋に入れられます。短半径構成、混合フランジ タイプ、減速オプション、および UHV グレード仕上げ (メタル シール対応、Ra ≤ 0.4 µm) は、エンジニアリング サポートで利用できます。