ISO Tees для вакуумной системы: универсальное разветвление для средних и больших вакуумных линий

Описание продукта

ISO для вакуумных системпредставляют собой трехпортовые прецизионные фитинги, предназначенные для расщепления, объединения или перенаправления потока газа при сохранении высокой вакуумной целостности от атмосферного давления до 10−9 Торр.Также известные как ISO вакуумные ветви или равные, эти компоненты имеют прямую главную линию с перпендикулярным разветвлением, гладкую внутреннюю геометрию и ISO-K или ISO-F фланцы на всех трех портах.

Изготовленные из высококачественной нержавеющей стали 304L или 316L, ISO-типы необходимы для вакуумных коллекторов, приборов, газораспределительных узлов,и насосные сети в средних и крупных вакуумных системахОни соответствуют международно признанным стандартам ISO 1609, ISO 2861 и Pneurop 6606.ISO-типы доступны для номинальных диаметров от DN63 до DN630, что делает их стандартным выбором для промышленных и исследовательских применений.или разветвление насосной линии, они обеспечивают проводимость, гибкость и надежность, необходимые для высоковакуумных и UHV-приложений.

Ключевые особенности и характеристики

• Конфигурация:Истинный трехпортовый tee (прямая через главную линию с перпендикулярной ветвью)

• Типы фланцев:ISO-K (зажим с центральным кольцом) или ISO-F (с болтами)

• Размеры портов:Все три порта одинакового размера (равное шино), или уменьшающие шино с смешанными диаметрами

• Диапазон вакуума:Атмосферный до 1×10−9 Torr (совместимый с UHV металлическими уплотнениями)

• Номинальные диаметры (DN):DN63, DN80, DN100, DN160, DN200, DN250, DN320, DN400, DN500, DN630

• Материал:304L или 316L нержавеющая сталь (низкоуглеродный, совместим с UHV)

• Окончание внутренней поверхности:Ra ≤ 0,8 μm (электрополированный или механически полированный)

• Уровень выброса газов:< 2×10−8 Torr·L/s·cm2 (после вакуумной очистки)

• Целостность утечки:Утечка гелия, испытанная до < 1×10−9 mbar·L/s

• Способность выпечки:До 400°C (ISO-F с металлическими уплотнениями)

• Ориентация филиала:90° перпендикулярно главной оси (стандарт)

Заявления

• Вакуумные коллекторы:Многопортовые распределительные сети для перекачки и вентиляции

• Порты приборов:Подключение датчиков давления, RGA, ионных датчиков и четырехпольных

• Линии ввода газа:Впуск процессуальных газов в камеры отложения

• Крупномасштабные системы покрытия:Полупроводниковые, оптические и декоративные ПВД

• Осаждение тонкой пленки:Пропыливание, испарение и водопроводная система ALD

• Выявление утечки гелия:Создание T-разветвлений для соединений с испытательным портом

• Аналитические приборы:Масс-спектрометры, инструменты для анализа поверхности

• Полупроводниковое оборудование:Загрузочные замки, камеры передачи и процессовые модули

• НИОКР вакуумные системы:Гибкие экспериментальные настройки, требующие нескольких точек доступа

• Камеры космической моделирования:Включающие в себя оборудование для тепловой вакуумной системы

• Исследовательские линии луча:Вакуумные системы синхротрона и ускорителя частиц

• Системные линии:Разделение между вспомогательными насосами и высоковакуумными насосами

Почему выбирать наши ISO-обои для вакуумных систем?

Мы объединяем точную ковку, станковую обработку и орбитальную сварку, чтобы обеспечить ISO-тесты, которые соответствуют или превышают международные вакуумные стандарты.Ультразвуково очищенные детергентами полупроводниковой маркиУменьшающие шины (разные диаметры ветвей), смешанные типы фланцев (ISO-K и ISO-F на одном и том же шине), индивидуальные ориентации ветвей,и UHV-класса отделки (металл уплотнения готовый, Ra ≤ 0,4 мкм) доступны с технической поддержкой.