ISO Tees für Vakuumsysteme: Vielseitiges Verzweigen für mittlere bis große Vakuumleitungen

Beschreibung des Produkts

ISO-Tests für Vakuumsystemesind Dreiport-Genauigkeitsfittings, die zum Spalten, Kombinieren oder Umleiten des Gasstroms und gleichzeitig zur Aufrechterhaltung der hohen Vakuumintegrität bei Luftdruck bis 10-9 Torr bestimmt sind.Auch bekannt als ISO-Vakuum-Zweig-Tie oder gleicher TieDiese Komponenten verfügen über eine gerade Hauptleitung mit einem senkrechten Zweiganschluss, glatten inneren Geometrien und ISO-K- oder ISO-F-Flanzen an allen drei Anschlüssen.

ISO-Tie aus hochwertigem 304L- oder 316L-Edelstahl sind für Vakuum-Kollektoren, Instrumentenanschlüsse, Gasverteilstellen,und Pumpnetze in mittleren bis großen VakuumsystemenSie entsprechen den international anerkannten Normen ISO 1609, ISO 2861 und Pneurop 6606.ISO-Tests sind für Nenndurchmesser von DN63 bis DN630 erhältlich, so dass sie die Standardwahl für industrielle und Forschungsanwendungen sind. Ob Sie ein Druckmessgerät hinzufügen, einen Restgasanalysator (RGA) anschließen, einen Gasmischkollektor konstruieren,oder Verzweigung einer Pumpleitung, bieten diese Tees die Leitfähigkeit, Flexibilität und Zuverlässigkeit, die anspruchsvolle Hochvakuum- und UHV-Anwendungen erfordern.

Hauptmerkmale und Merkmale

• Ausstattung:Wahre Dreihäfen-Tie (gerichtete Hauptlinie mit senkrechtem Zweig)

• Flanschtypen:ISO-K (Klammer mit Zentrierungsring) oder ISO-F (verschraubt)

• Portgrößen:Alle drei Schleusen gleich groß (gleiche Schleuse) oder Schleuse mit gemischten Durchmessern

• Vakuumbereich:Atmosphärisch bis 1×10−9 Torr (UHV-kompatibel mit Metalldichtungen)

• Nenndurchmesser (DN):Die in Anhang I der Verordnung (EU) Nr. 1303/2013 aufgeführten Daten sind für die Zwecke der Erfassung der in Anhang I der Verordnung (EU) Nr. 1303/2013 aufgeführten Daten zu verwenden.

• Material:304L- oder 316L-Edelstahl (kohlenstoffarm, UHV-kompatibel)

• Innenoberflächenveredelung:Ra ≤ 0,8 μm (elektropoleriert oder mechanisch poliert)

• Abgasquote:< 2×10−8 Torr·L/s·cm2 (nach Vakuumreinigung)

• Leckintegrität:Heliumleckage mit einer Geschwindigkeit von < 1×10−9 mbar·L/s

• Bakeout-Fähigkeit:Bis zu 400°C (ISO-F mit Metalldichtungen)

• Zu den Zweigstellen:90° senkrecht zur Hauptachse (Standard)

Anwendungen

• mit einer Breite von mehr als 50 mmMehrportverteilnetze für Pumpen und Entlüftungen

• Geräteanschlüsse:Verbindung von Druckmessgeräten, RGA, Ionenmessgeräten und Quadrupolen

• Gaseinführungen:Einführung von Prozessgasen in Ablagerungskammern

• Großflächige Beschichtungssysteme:Halbleiter, optische und dekorative PVD

• Feinschichtdeposition:Sputtering, Verdampfung und Anlagen für ALD-Systeme

• Heliumleckage nachweis:Erstellung von T-Zweigen für Testportverbindungen

• Analyseinstrumente:Massenspektrometer, Werkzeuge zur Oberflächenanalyse

• Halbleitergeräte:Schleusen, Übertragungskammern und Prozessmodule

• FuE-Vakuumsysteme:Flexible Versuchsanlagen, die mehrere Zugangspunkte erfordern

• Raum-Simulationskammern:Geräte für die thermische Vakuumsysteme

• Forschungsstrahllinien:Synchrotron- und Teilchenbeschleunigervakuumsysteme

• Vorläufige Systeme:Verzweigung zwischen Stützpumpen und Hochvakuumpumpen

Warum wählen Sie unsere ISO-Tie für Vakuumsysteme?

Wir kombinieren Präzisionsschmieden, CNC-Bearbeitung und Orbitalschweißen, um ISO-Tie zu liefern, die die internationalen Vakuumstandards erfüllen oder übertreffen.mit einer Breite von mehr als 20 mm,, und in einer Reinraumumgebung in doppelten Beuteln verpackt.und UHV-Abschichtung (Metalldichtung bereit), Ra ≤ 0,4 μm) sind mit technischer Unterstützung verfügbar.