سه راهی KF برای سیستم خلاء: انشعاب همه کاره با راحتی فلنج سریع

توضیحات محصول

سه راهی KF برای سیستم خلاءاتصالات فلنج سریع سه درگاهی هستند که برای تقسیم، ترکیب یا تغییر جهت جریان گاز طراحی شده اند و در عین حال یکپارچگی خلاء بالا را از فشار اتمسفر تا 10-8 Torr حفظ می کنند. این قطعات همچنین به عنوان سه راهی NW شناخته می شوند، این قطعات دارای یک خط اصلی مستقیم با یک پورت شاخه عمود بر هم، هندسه های داخلی صاف، و اتصالات KF (Klein Flansch / Quick Flange) در هر سه پورت هستند.

سه راهی های KF که از فولاد ضد زنگ 304 یا 316L با کیفیت بالا ساخته شده اند برای منیفولدهای خلاء، پورت های ابزار دقیق، خطوط ورود گاز و شبکه های پمپاژ ضروری هستند. هر سه راهی دارای سیستم اتصال بین المللی استاندارد شده KF است که از یک حلقه مرکزی، حلقه O-الاستومری و گیره مهره بال برای مونتاژ سریع و بدون ابزار استفاده می کند. چه در حال اضافه کردن یک گیج فشار، وصل کردن یک آنالایزر گاز باقیمانده (RGA) و یا ساختن هاب توزیع گاز باشید، این سه راهی ها رسانایی، انعطاف پذیری و قابلیت اطمینان مورد نیاز برای کاربردهای با خلاء بالا را ارائه می دهند.

ویژگی ها و ویژگی های کلیدی

• پیکربندی:سه درگاه واقعی (مستقیم با انشعاب عمود بر هم)

• نوع اتصال:فلنج KF (NW) در هر سه پورت

• اندازه پورت:اندازه همه پورت ها یا سه راهی های کاهش دهنده با قطرهای مخلوط است

• محدوده خلاء:اتمسفر تا 1×10-8 Torr

• مواد:فولاد ضد زنگ 304 یا 316L

• فینیش سطح داخلی:Ra ≤ 0.8 میکرومتر (الکتروپلی شده یا پرداخت مکانیکی)

• نرخ خروج گاز:<2×10-8 Torr·L/s·cm² (پس از تمیز کردن با جاروبرقی)

• یکپارچگی نشت:نشت هلیوم کمتر از 1×10-4 mbar·L/s آزمایش شد

• قابلیت Bakeout:تا 150 درجه سانتیگراد (با حلقه های اورینگ Viton®)

• مونتاژ:بستن بدون ابزار با گیره های KF و حلقه های مرکزی

• جهت گیری شاخه:90 درجه عمود بر محور اصلی (استاندارد)

برنامه های کاربردی

• منیفولدهای خلاء:شبکه های توزیع چند پورت برای پمپاژ و هواگیری

• پورت های ابزار دقیق:اتصال گیج های فشار، RGA و یون سنج ها

• خطوط معرفی گاز:ورود گازهای فرآیند به محفظه های رسوب

• رسوب لایه نازک:کندوپاش، تبخیر و لوله کشی سیستم ALD

• تشخیص نشت هلیوم:ایجاد شاخه های T برای اتصالات پورت آزمایشی

• ابزارهای تحلیلی:طیف سنج جرمی، میکروسکوپ الکترونی، ابزار تجزیه و تحلیل سطح

• تجهیزات نیمه هادی:قفل ها، محفظه های انتقال و ماژول های فرآیند را بارگیری کنید

• سیستم های خلاء تحقیق و توسعه:تنظیمات آزمایشی انعطاف پذیر که به چندین نقطه دسترسی نیاز دارند

• سیستم های خط مقدم:انشعاب بین پمپ های پشتیبان و پمپ های خلاء بالا

چرا سه راهی KF ما را برای سیستم های خلاء انتخاب کنید؟

ما فرم‌دهی دقیق، ماشین‌کاری CNC و جوشکاری مداری را برای ارائه سه راهی KF که مطابق با استانداردهای بین‌المللی خلاء بالا هستند، ترکیب می‌کنیم. هر سه راهی تست نشت هلیوم است، با مواد شوینده نیمه هادی به صورت اولتراسونیک تمیز می شود و در محیط تمیز اتاق دو کیسه ای قرار می گیرد. سه راهی های کاهش دهنده (قطر شاخه های مختلف)، جهت های پورت سفارشی، و ابعاد ویژه مرکز به فلنج با پشتیبانی مهندسی در دسترس هستند.