KF Tees สําหรับระบบ Vakuum: สาขาหลากหลายที่มีความสะดวกสบายของแหลมเร็ว

คําอธิบายสินค้า

KF tees สําหรับระบบระบายความว่างเป็นเครื่องปรับระบายไวสามประตูที่ออกแบบมาเพื่อแยก, รวม, หรือนําการไหลของก๊าซไปทางอื่นโดยยังคงความสมบูรณ์แบบระดับระดับระดับระยะว่างสูงจากความดันชั้นบรรยากาศต่ําถึง 10-8 Torrองค์ประกอบเหล่านี้มีเส้นหลักตรงผ่านด้วยประตูสาขาตั้งค่า, กณิตศาสตร์ภายในเรียบ และการเชื่อมต่อ KF (Klein Flansch / Quick Flange) ในทุก 3 ท่า

ผลิตจากสแตนเลสคุณภาพสูง 304 หรือ 316L, KF tees เป็นสิ่งจําเป็นสําหรับ manifolds วากูม, ท่าทางเครื่องมือ, เส้นทางการนําเข้าก๊าซ, และเครือข่ายการสูบ.แต่ละ tee รวมระบบเชื่อมต่อ KF มาตรฐานระดับนานาชาติ, ซึ่งใช้วงแหวนกลาง, elastomer O-วงแหวน, และปัดปีกลูกหมึกสําหรับการประกอบอย่างรวดเร็ว, เครื่องมือไร้.หรือการก่อสร้างเนื้อหานาน้ํามัน, เครื่องยนต์เหล่านี้ให้การนํา, ความยืดหยุ่น, และความน่าเชื่อถือที่ต้องการการใช้งานระดับความว่างสูง.

ลักษณะและลักษณะสําคัญ

• การตั้งค่า:true three-port tee (ตรงข้ามกับสาขาตั้ง)

• ประเภทการเชื่อมต่อ:Flanges KF (NW) ในทุก 3 ท่า

• ขนาดท่าเรือ:ท่าทางทั้งหมดขนาดเดียวกัน, หรือการลด Tees กับเส้นผสม

• ระยะระยะว่าง:ระดับชั้นบรรยากาศ 1×10−8 Torr

• วัสดุสแตนเลส 304 หรือ 316L

• ปลายพื้นผิวภายใน:Ra ≤ 0.8 μm (เคลือบไฟฟ้าหรือเคลือบกล)

• อัตราการออกก๊าซ< 2×10−8 Torr·L/s·cm2 (หลังจากทําความสะอาดด้วยสูบ)

• ความสมบูรณ์แบบของการรั่วไหลการรั่วไหลของฮีเลียมที่ทดสอบถึง < 1 × 10−9 mbar·L/s

• ความสามารถในการเผา:สูงสุด 150 °C (มี Viton® O-ring)

• การประกอบ:เครื่องกั้นโดยไม่มีเครื่องมือด้วยเครื่องกั้น KF และวงแหวนกลาง

• สาขา:90° ตรงกับแกนหลัก (มาตรฐาน)

การใช้งาน

• เครื่องระบายอากาศ:เครือข่ายกระจายหลายท่าเรือสําหรับการสูบและระบายอากาศ

• ส่งเครื่องมือ:การเชื่อมเครื่องวัดแรงดัน RGA และเครื่องวัดไอออน

• เส้นทางการนําก๊าซเข้า:การนําก๊าซกระบวนการเข้าไปในห้องฝัง

• การฝากผนังบาง:การพ่น, การระเหย, และระบบ ALD

• การตรวจพบการรั่วไหลของฮีเลียมสร้างสาขา T สําหรับการเชื่อมต่อท่าทดสอบ

• เครื่องมือวิเคราะห์:เครื่องวัดสเปคตรเมตรมวล เครื่องกล้องจุลินทรีย์อิเล็กตรอน เครื่องมือวิเคราะห์ผิว

• อุปกรณ์ครึ่งตัวนํา:โหลดภาระ, ห้องโอนและโมดูลกระบวนการ

• R&D ระบบสูบ:การจัดตั้งการทดลองแบบยืดหยุ่นที่ต้องการจุดเข้าหลายจุด

• ระบบแนวหน้า:การแยกสายระหว่างปั๊มรองรับและปั๊มระยะว่างสูง

ทําไมต้องเลือก KF Tees ของเราสําหรับระบบระบายความร้อน?

เรารวมการออกแบบแม่นยํา การแปรรูป CNC และการปั่นวงโคจร เพื่อส่งผลิต KF tee ที่ตอบสนอง หรือเกินมาตรฐานระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับระดับทําความสะอาด ultrasonic ด้วยยาซักผ้าประเภท semiconductor, และกระเป๋าคู่ในสภาพแวดล้อมห้องสะอาด. การลดที (กว้างสาขาที่แตกต่างกัน), การตั้งทิศทางท่าเรือตามสั่ง, และขนาดกลาง-ถึง flange พิเศษมีให้พร้อมด้วยการสนับสนุนด้านวิศวกรรม.