Vakum Sistemi için 4 Yollu Çaprazlar: Tam Bütünlükle Çok Bağlantı Noktalı Entegrasyon

Ürün Açıklaması

Vakum sistemi için 4 yollu çaprazlarkaba vakumdan ultra yüksek vakum (UHV) seviyelerine kadar tavizsiz vakum bütünlüğünü korurken dört adede kadar vakum bileşenini dik yönlerde bağlamak için tasarlanmış hassas çok portlu bağlantı parçalarıdır. Standart sıhhi tesisat çaprazlarının aksine, bu vakum dereceli bileşenler, sanal sızıntıları ortadan kaldırmak ve gaz çıkışını azaltmak için pürüzsüz iç geometrilere, minimum düzeyde sıkışan hacimlere ve vakum dereceli yüzey kaplamalarına sahiptir.

Düşük karbonlu paslanmaz çelikten (304L veya 316L) üretilen bu çaprazlar, karmaşık vakum manifoldları, çoklu alet odaları, gaz dağıtım göbekleri ve çapraz akışlı pompalama konfigürasyonları için gereklidir. Her 4 yollu çapraz, kaynak kalitesine, iç yüzey durumuna ve dört bağlantı noktasının tamamındaki flanş hizalamasına titizlikle dikkat edilerek üretilir. İster çok sensörlü bir teşhis istasyonu, ister bir gaz karıştırma manifoldu veya 360 derecelik erişimli bir vakum hub'ı inşa ediyor olun, bu çaprazlar zorlu yüksek vakum ve UHV uygulamalarının gerektirdiği iletkenliği, esnekliği ve güvenilirliği sağlar.

Temel Özellikler ve Özellikler

• Yapılandırma:Dört ortogonal bağlantı noktası (düz yatay + dikey dikey)

• Şube Yönelimi:Tüm bitişik bağlantı noktaları arasında 90° (özel açılar mevcuttur)

• Vakum Aralığı:Atmosferden 1×10⁻⁹ Torr'a (UHV uyumlu)

• Flanş Standartları:ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat) veya özel konfigürasyonlar

• Malzeme:304L / 316L paslanmaz çelik (düşük manyetik geçirgenlik)

• İç Yüzey Kaplaması:Ra ≤ 0,8 µm (elektro-parlatılmış veya mekanik olarak parlatılmış)

• Gaz Çıkış Oranı:< 2×10⁻⁸ Torr·L/s·cm² (elektrikli temizlemeden sonra)

• Sızıntı Bütünlüğü:Helyum sızıntısı < 1×10⁻⁹ mbar·L/s'ye kadar test edildi

• Pişirme Yeteneği:400°C'ye kadar (metal contalı CF flanşlar)

• Bağlantı Noktası Seçenekleri:Tüm bağlantı noktaları aynı boyutta veya karışık çaplarla azaltılmış çaprazlar

• Simetri:Düzgün akış özellikleri için gerçek ortogonal geometri

Uygulamalar

• Çok aletli vakum göbekleri:Göstergeleri, RGA'ları ve görünüm pencerelerini aynı anda bağlama

• Gaz karıştırma manifoldları:Biriktirme odalarına birden fazla proses gazının verilmesi

• İnce film biriktirme:Püskürtme, buharlaştırma ve ALD sistem tesisatı

• Çapraz akışlı pompalama konfigürasyonları:Eşit basınç dağılımı için simetrik pompalama

• Analitik araçlar:Kütle spektrometreleri, elektron mikroskopları, yüzey analiz araçları

• Yarı iletken ekipman:Yük kilitleri, transfer odaları ve proses modülleri

• Ar-Ge vakum sistemleri:Birden fazla erişim noktası gerektiren esnek deney kurulumları

• Uzay simülasyonu:Termal vakum odası enstrümantasyon portları

Neden Vakum Sistemleri için 4 Yollu Çaprazlarımızı Seçmelisiniz?

Uluslararası temiz vakum standartlarını karşılayan veya aşan vakum çaprazları sağlamak için hassas dövme, CNC işleme ve yörünge kaynağını birleştiriyoruz. Her 4 yollu çapraz helyum sızıntısı testine tabi tutulur, yarı iletken sınıfı deterjanlarla ultrasonik olarak temizlenir ve temiz oda ortamında çift torbalanır. Mühendislik desteğiyle azaltılmış çaprazlar (farklı bağlantı noktası çapları), özel bağlantı noktası yönelimleri ve özel merkezden flanşa boyutlar mevcuttur.