4-Way Crossings cho hệ thống chân không: tích hợp đa cổng với tính toàn vẹn đầy đủ

Mô tả sản phẩm

4 đường chéo cho hệ thống chân khôngare precision multi-port fittings designed to connect up to four vacuum components in orthogonal directions while maintaining uncompromised vacuum integrity from rough vacuum to ultra-high vacuum (UHV) levelsKhông giống như các cây thánh giá ống nước tiêu chuẩn, các thành phần đo chân không này có hình học bên trong mịn màng, khối lượng bị mắc kẹt tối thiểu,và kết thúc bề mặt bằng chân không để loại bỏ rò rỉ ảo và giảm khí thải.

Được sản xuất từ thép không gỉ carbon thấp (304L hoặc 316L), những cây chéo này rất cần thiết cho các bộ thu hút chân không phức tạp, các buồng đa dụng cụ, các trung tâm phân phối khí,và cấu hình bơm dòng chảy chéoMỗi đường chéo 4 chiều được chế tạo với sự chú ý nghiêm ngặt đến chất lượng hàn, tình trạng bề mặt bên trong và sự liên kết của sườn trên tất cả bốn cổng.Cho dù bạn đang xây dựng một trạm chẩn đoán đa cảm biến, một bộ sưu tập pha trộn khí, hoặc một trung tâm chân không truy cập 360 độ, các chéo này cung cấp độ dẫn điện, tính linh hoạt và độ tin cậy mà các ứng dụng chân không cao và UHV đòi hỏi.

Các đặc điểm chính và đặc điểm

• Cấu hình:Bốn cổng thẳng đứng (thông thẳng ngang + thẳng đứng dọc)

• Định hướng chi nhánh:90° giữa tất cả các cổng liền kề (các góc tùy chỉnh có sẵn)

• Phạm vi chân không:Không khí đến 1 × 10−9 Torr (hợp tác với UHV)

• Tiêu chuẩn phẳng:ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat), hoặc cấu hình tùy chỉnh

• Vật liệu:304L / 316L thép không gỉ (thấm từ thấp)

• Xét bề mặt bên trong:Ra ≤ 0,8 μm (được đánh bóng điện hoặc đánh bóng cơ khí)

• Tỷ lệ thải khí:< 2×10−8 Torr·L/s·cm2 (sau khi làm sạch bằng chân không)

• Sự toàn vẹn rò rỉ:Sự rò rỉ heli được thử nghiệm với < 1 × 10−9 mbar·L/s

• Khả năng nướng:Tối đa 400°C (băng CF với niêm phong kim loại)

• Tùy chọn cổng:Tất cả các cổng cùng kích thước, hoặc giảm chéo với đường kính hỗn hợp

• Đối xứng:Địa hình thẳng đứng thực sự cho các đặc điểm dòng chảy đồng nhất

Ứng dụng

• Các trục chân không đa dụng cụ:Kết nối đồng thời các gauges, RGA và viewport

• Các bộ sưu tập trộn khí:Tạo nhiều khí quá trình vào buồng lắng đọng

• Chất lắng đọng màng mỏng:Sputtering, bốc hơi và hệ thống ống nước ALD

• Cấu hình bơm dòng chảy chéo:Máy bơm đối xứng để phân phối áp suất đồng đều

• Các dụng cụ phân tích:Máy quang phổ khối lượng, kính hiển vi điện tử, dụng cụ phân tích bề mặt

• Thiết bị bán dẫn:Khóa tải, buồng chuyển và mô-đun quy trình

• R&D hệ thống chân không:Thiết lập thử nghiệm linh hoạt đòi hỏi nhiều điểm truy cập

• Mô phỏng không gian:Cổng thiết bị trong buồng chân không nhiệt

Tại sao chọn 4-Way Cross của chúng tôi cho hệ thống chân không?

Chúng tôi kết hợp rèn chính xác, CNC gia công, và hàn quỹ đạo để cung cấp các đường chân không đáp ứng hoặc vượt quá các tiêu chuẩn chân không sạch quốc tế.làm sạch siêu âm bằng chất tẩy rửa chất bán dẫn, và được đặt trong túi hai trong môi trường phòng sạch. Giảm chéo (chân kính cổng khác nhau), định hướng cổng tùy chỉnh và kích thước đặc biệt từ trung tâm đến vảy có sẵn với hỗ trợ kỹ thuật.