4-Way Crosses للنظام الفراغ: تكامل متعدد الموانئ مع النزاهة الكاملة

وصف المنتج

4-الطرق المتقاطعة لنظام الفراغare precision multi-port fittings designed to connect up to four vacuum components in orthogonal directions while maintaining uncompromised vacuum integrity from rough vacuum to ultra-high vacuum (UHV) levelsعلى عكس الصلبات السباكة القياسية، هذه المكونات المعدلة بالفراغ تمتلك هندسة داخلية سلسة، الحجم الحد الأدنى المحاصرة،والصفات السطحية للفراغ للقضاء على التسريبات الافتراضية والحد من الغازات.

المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ منخفض الكربون (304L أو 316L) ، هذه الصلبات ضرورية لمجموعات الفراغ المعقدة، وغرف متعددة الأدوات، محاور توزيع الغاز،وتكوينات ضخ التدفق المتقاطعيتم تصنيع كل صليب أربعة طرق مع الاهتمام الصارم لجودة اللحام، حالة السطح الداخلي، ومواءمة اللحاء عبر جميع الموانئ الأربعة.سواء كنت تبني محطة تشخيص متعددة المستشعرات، مجموعة خلط الغازات، أو محور فراغ الوصول 360 درجة، هذه الصلبة توفر الموصلية والمرونة والموثوقية التي تتطلبها تطبيقات الفراغ العالي و UHV.

السمات الرئيسية والخصائص

• التكوين:أربعة منافذ متعامدة (أفقية مباشرة + عمودية عمودية)

• التوجيهات:90 درجة بين جميع الموانئ المجاورة (زوايا مخصصة متاحة)

• نطاق الفراغ:الغلاف الجوي إلى 1 × 10-9 تور (متوافق مع UHV)

• معايير الشبكة:ISO-KF، ISO-K، CF (ConFlat) ، أو تكوينات مخصصة

• المواد:304L / 316L الفولاذ المقاوم للصدأ (التنفس المغناطيسي المنخفض)

• التشطيب السطحي الداخلي:Ra ≤ 0.8 μm (المصقولة بالكهرباء أو المصقولة ميكانيكياً)

• معدل إفراز الغازات:< 2×10−8 Torr·L/s·cm2 (بعد تنظيف الفراغ)

• سلامة التسرب:اختبار تسرب الهيليوم إلى < 1 × 10−9 mbar·L/s

• القدرة على الخبز:ما يصل إلى 400 درجة مئوية (شرائح CF مع أغطية معدنية)

• خيارات الميناء:جميع المنافذ نفس الحجم، أو الحد من الصلبة مع قطرات مختلطة

• التماثل:الهندسة المنعطفة الحقيقية لخصائص التدفق الموحدة

التطبيقات

• محاور فراغ متعددة الأدوات:ربط المقاييس، RGA، ومنافذ الرؤية في وقت واحد

• منجم خلط الغازات:إدخال غازات عملية متعددة إلى غرف الترسب

• ترسبات فيلم رقيق:التبخير، والتبخر، والأنابيب النظام ALD

• تكوينات ضخ التدفق المتقاطع:ضخ متماثل لتوزيع ضغط موحد

• أدوات التحليل:طيفات الكتلة، المجهر الإلكتروني، أدوات تحليل السطح

• معدات أشباه الموصلات:أقفال الحمولة وغرف النقل ووحدات العملية

• أنظمة الفراغ للبحث والتطوير:إعدادات تجريبية مرنة تتطلب نقاط وصول متعددة

• محاكاة الفضاء:منافذ أجهزة غرف الفراغ الحراري

لماذا تختار صلباتنا ذات الأربعة طرق لأنظمة الفراغ؟

نحن نجمع بين التصنيع الدقيق، والمعالجة الحاسوبية، واللحام المداري لتقديم الصلبات الفراغية التي تلبي أو تتجاوز معايير الفراغ النظيفة الدولية.تم تنظيفها بالموجات فوق الصوتية بمطهرات من نوع أشباه الموصلات، ويتم وضعها في حقيبة مزدوجة في بيئة غرفة نظيفة. تتوفر مع الدعم الهندسي صلبات الحد (قطر منفذ مختلف) وتوجهات منفذ مخصصة وأبعاد خاصة من المركز إلى الشبكة.