Cruzamentos de 4 vias para sistema de vácuo: integração multiportas com integridade total

Descrição do produto

Cruzes de 4 vias para sistema de vácuosão conexões multiportas de precisão projetadas para conectar até quatro componentes de vácuo em direções ortogonais, mantendo a integridade do vácuo descomprometida, desde níveis de vácuo bruto até níveis de vácuo ultra-alto (UHV). Ao contrário das cruzetas de encanamento padrão, esses componentes classificados para vácuo apresentam geometrias internas suaves, volumes presos mínimos e acabamentos de superfície adequados para vácuo para eliminar vazamentos virtuais e reduzir a liberação de gases.

Fabricadas em aço inoxidável de baixo carbono (304L ou 316L), essas cruzetas são essenciais para coletores de vácuo complexos, câmaras de múltiplos instrumentos, centros de distribuição de gás e configurações de bombeamento de fluxo cruzado. Cada cruzeta de 4 vias é fabricada com estrita atenção à qualidade da solda, condição da superfície interna e alinhamento do flange em todas as quatro portas. Esteja você construindo uma estação de diagnóstico multissensor, um coletor de mistura de gás ou um hub de vácuo com acesso de 360 ​​graus, esses cruzamentos oferecem a condutância, a flexibilidade e a confiabilidade que as aplicações exigentes de alto vácuo e UHV exigem.

Principais recursos e características

• Configuração:Quatro portas ortogonais (horizontal direta + vertical perpendicular)

• Orientação da Filial:90° entre todas as portas adjacentes (ângulos personalizados disponíveis)

• Faixa de vácuo:Atmosférico até 1×10⁻⁹ Torr (compatível com UHV)

• Padrões de flange:ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat) ou configurações personalizadas

• Material:Aço inoxidável 304L / 316L (baixa permeabilidade magnética)

• Acabamento de superfície interna:Ra ≤ 0,8 µm (eletropolido ou polido mecanicamente)

• Taxa de desgaseificação:< 2×10⁻⁸ Torr·L/s·cm² (após aspiração)

• Integridade de vazamento:Vazamento de hélio testado para < 1×10⁻⁹ mbar·L/s

• Capacidade de cozimento:Até 400°C (flanges CF com vedações metálicas)

• Opções de porta:Todas as portas do mesmo tamanho ou cruzes reduzidas com diâmetros mistos

• Simetria:Geometria ortogonal verdadeira para características de fluxo uniformes

Aplicativos

• Hubs de vácuo multi-instrumentos:Conectando medidores, RGAs e viewports simultaneamente

• Coletores de mistura de gás:Introdução de vários gases de processo em câmaras de deposição

• Deposição de filme fino:Sputtering, evaporação e encanamento do sistema ALD

• Configurações de bombeamento de fluxo cruzado:Bombeamento simétrico para distribuição uniforme de pressão

• Instrumentos analíticos:Espectrômetros de massa, microscópios eletrônicos, ferramentas de análise de superfície

• Equipamento semicondutor:Bloqueios de carga, câmaras de transferência e módulos de processo

• Sistemas de vácuo de pesquisa e desenvolvimento:Configurações experimentais flexíveis que exigem vários pontos de acesso

• Simulação espacial:Portas de instrumentação de câmara de vácuo térmico

Por que escolher nossas cruzetas de 4 vias para sistemas de vácuo?

Combinamos forjamento de precisão, usinagem CNC e soldagem orbital para fornecer cruzamentos de vácuo que atendem ou excedem os padrões internacionais de vácuo limpo. Cada cruzeta de 4 vias é testada contra vazamento de hélio, limpa ultrassonicamente com detergentes de grau semicondutor e ensacada duas vezes em um ambiente de sala limpa. Redução de cruzamentos (diferentes diâmetros de porta), orientações de porta personalizadas e dimensões especiais do centro ao flange estão disponíveis com suporte de engenharia.