Четырехсторонние перекрестки для вакуумной системы: многопортовая интеграция с полной целостностью

Описание продукта

4-сторонние перекрестки для вакуумной системыare precision multi-port fittings designed to connect up to four vacuum components in orthogonal directions while maintaining uncompromised vacuum integrity from rough vacuum to ultra-high vacuum (UHV) levelsВ отличие от стандартных водопроводных крестов, эти вакуумные компоненты имеют гладкую внутреннюю геометрию, минимальные объемы,и вакуумные поверхностные отделки для устранения виртуальных утечек и уменьшения выбросов газов.

Изготовленные из низкоуглеродистой нержавеющей стали (304L или 316L), эти кресты необходимы для сложных вакуумных коллекторов, многоинструментальных камер, газораспределительных узлов,и конфигурации насосов с перекрестным потокомКаждый четырехсторонний перекресток изготавливается с строгим вниманием к качеству сварки, состоянию внутренней поверхности и выравниванию фланца по всем четырем портам.Сооружаете ли вы многосенсорную диагностическую станцию, газовый смеситель или вакуумный узел доступа на 360 градусов, эти перекрестки обеспечивают проводимость, гибкость и надежность, которые требуют высоковакуумные и UHV-приложения.

Ключевые особенности и характеристики

• Конфигурация:Четыре ортогональных порта (прямой горизонтальный + перпендикулярный вертикальный)

• Ориентация филиала:90° между всеми прилегающими портами (доступны индивидуальные углы)

• Диапазон вакуума:Атмосферный до 1×10−9 Torr (совместим с UHV)

• Стандарты фланца:ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat) или индивидуальные конфигурации

• Материал:304L / 316L нержавеющая сталь (низкая магнитная проницаемость)

• Окончание внутренней поверхности:Ra ≤ 0,8 μm (электрополированный или механически полированный)

• Уровень выброса газов:< 2×10−8 Torr·L/s·cm2 (после вакуумной очистки)

• Целостность утечки:Утечка гелия, испытанная до < 1×10−9 mbar·L/s

• Способность выпечки:до 400°C (фланцы CF с металлическими уплотнениями)

• Портовые опции:Все порты одинакового размера или уменьшающие перекрестки с смешанными диаметрами

• Симетрия:Истинная ортогональная геометрия для однородных характеристик потока

Заявления

• Сплошные вакуумные узлы:Соединение приборов измерения, RGA и видовых узлов одновременно

• Манифторы смешивания газов:Ввод нескольких процессуальных газов в камеры отложения

• Осаждение тонкой пленки:Пропыливание, испарение и водопроводная система ALD

• Конфигурации перекачки:Симетрическое перекачивание для равномерного распределения давления

• Аналитические приборы:Масс-спектрометры, электронные микроскопы, инструменты для анализа поверхности

• Полупроводниковое оборудование:Загрузочные замки, камеры передачи и процессовые модули

• НИОКР вакуумные системы:Гибкие экспериментальные настройки, требующие нескольких точек доступа

• Симуляция космоса:Порты приборов для тепловой вакуумной камеры

Почему вы выбрали наши четырехсторонние перекрестки для вакуумных систем?

Мы объединяем точную ковку, станковую обработку и орбитальную сварку, чтобы создать вакуумные перекрестки, которые соответствуют или превосходят международные стандарты чистого вакуума.Ультразвуково очищенные детергентами полупроводниковой маркиУменьшающие кресты (разные диаметры портов), индивидуальные ориентации портов и специальные размеры от центра до фланца доступны с поддержкой инженеров.