Interconnessioni a quattro vie per il sistema a vuoto: integrazione multi-porta con piena integrità

Descrizione del prodotto

incroci a 4 vie per il sistema a vuotoare precision multi-port fittings designed to connect up to four vacuum components in orthogonal directions while maintaining uncompromised vacuum integrity from rough vacuum to ultra-high vacuum (UHV) levelsA differenza delle croci di idraulica standard, questi componenti a vuoto presentano geometrie interne lisce, volumi contenuti minimi,e finiture superficiali a vuoto per eliminare perdite virtuali e ridurre le emissioni di gas.

Prodotte in acciaio inossidabile a basso tenore di carbonio (304L o 316L), queste croci sono essenziali per complessi collettori a vuoto, camere multi-strumento, nodi di distribuzione del gas,e configurazioni di pompaggio a flusso trasversaleOgni incrocio a quattro vie è fabbricato con una stretta attenzione alla qualità della saldatura, alle condizioni interne della superficie e all'allineamento della flange attraverso tutte e quattro le porte.Se si sta costruendo una stazione di diagnostica multi-sensore, un collettore di miscelazione dei gas o un nodo a vuoto ad accesso a 360 gradi, questi incroci offrono la conduttanza, la flessibilità e l'affidabilità richieste dalle applicazioni ad alto vuoto e UHV.

Caratteristiche principali

• Configurazione:Quattro porte ortogonali (orizzontale rettilineo + verticale perpendicolare)

• Indicazione della filiale:90° tra tutte le porte adiacenti (angolazioni personalizzate disponibili)

• Intervallo di vuoto:Atmosferica a 1×10−9 Torr (compatibile UHV)

• Flanche standard:ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat) o configurazioni personalizzate

• Materiale:Acciaio inossidabile 304L / 316L (bassa permeabilità magnetica)

• Rifinitura della superficie interna:Ra ≤ 0,8 μm (elettropolito o lucidato meccanicamente)

• Tasso di disgasamento:< 2×10−8 Torr·L/s·cm2 (dopo la pulizia sotto vuoto)

• Integrità delle perdite:Per le perdite di elio testate a < 1 × 10−9 mbar·L/s

• Capacità di cottura:Fino a 400 °C (flangelle CF con guarnizioni metalliche)

• Opzioni di porta:Tutti i porti della stessa dimensione, o croci riducenti con diametri misti

• Simmetria:Geometria ortogonale vera per caratteristiche di flusso uniformi

Applicazioni

• con una lunghezza massima di 20 mm o più, ma non superiore a:Collegamento contemporaneo di gauge, RGA e viewport

• Diametro di cilindrata superiore a 50 mmIntroduzione di gas di processo multipli nelle camere di deposizione

• Deposito a pellicola sottile:Sputtering, evaporazione e impianti idraulici del sistema ALD

• Configurazioni di pompaggio a flusso trasversale:Pompaggio simmetrico per una distribuzione uniforme della pressione

• Strumenti analitici:Spettometri di massa, microscopi elettronici, strumenti di analisi superficiale

• apparecchiature per semiconduttori:Scalature di carico, camere di trasferimento e moduli di processo

• Sistemi a vuoto di ricerca e sviluppo:Configurazioni sperimentali flessibili che richiedono punti di accesso multipli

• Simulazione spaziale:Porte di strumentazione per camere a vuoto termico

Perché scegliere le nostre croci a 4 vie per i sistemi a vuoto?

Combiniamo la forgiatura di precisione, la lavorazione CNC e la saldatura orbitale per fornire croci di vuoto che soddisfano o superano gli standard internazionali di vuoto pulito.con una lunghezza massima non superiore a 20 mm,Le croci riducenti (diametri diversi della porta), gli orientamenti personalizzati della porta e le dimensioni speciali da centro a fianco sono disponibili con supporto ingegneristico.