ครอสส์ 4 ทิศทางสำหรับระบบสุญญากาศ: การบูรณาการหลายพอร์ตด้วยความสมบูรณ์เต็มรูปแบบ

รายละเอียดสินค้า

กากบาท 4 ทิศทางสำหรับระบบสุญญากาศเป็นข้อต่อหลายพอร์ตที่มีความแม่นยำ ซึ่งออกแบบมาเพื่อเชื่อมต่อส่วนประกอบสุญญากาศได้ถึงสี่ชิ้นในทิศทางตั้งฉาก ในขณะที่ยังคงรักษาความสมบูรณ์ของสุญญากาศอย่างดีเยี่ยม ตั้งแต่ระดับสุญญากาศหยาบจนถึงระดับสุญญากาศสูงพิเศษ (UHV) ส่วนประกอบที่ได้รับการจัดอันดับสุญญากาศเหล่านี้แตกต่างจากท่อประปามาตรฐาน โดยมีรูปทรงภายในที่ราบรื่น ปริมาตรที่ติดอยู่น้อยที่สุด และการตกแต่งพื้นผิวระดับสุญญากาศเพื่อกำจัดการรั่วไหลเสมือนและลดการปล่อยก๊าซ

ผลิตจากสแตนเลสคาร์บอนต่ำ (304L หรือ 316L) กากบาทเหล่านี้จำเป็นสำหรับท่อร่วมสุญญากาศที่ซับซ้อน ห้องที่มีเครื่องมือหลายเครื่องมือ ฮับจ่ายก๊าซ และการกำหนดค่าการสูบน้ำแบบไหลข้าม กากบาท 4 ทิศทางแต่ละอันถูกสร้างขึ้นด้วยความใส่ใจอย่างเข้มงวดต่อคุณภาพการเชื่อม สภาพพื้นผิวภายใน และการจัดตำแหน่งหน้าแปลนทั่วทั้งสี่พอร์ต ไม่ว่าคุณกำลังสร้างสถานีตรวจวินิจฉัยแบบหลายเซ็นเซอร์ ท่อร่วมผสมก๊าซ หรือศูนย์กลางสุญญากาศแบบเข้าถึงได้ 360 องศา ไม้กางเขนเหล่านี้มอบความนำไฟฟ้า ความยืดหยุ่น และความน่าเชื่อถือตามที่ต้องการในการใช้งานที่มีสุญญากาศสูงและ UHV

คุณสมบัติและลักษณะสำคัญ

• การกำหนดค่า:พอร์ตตั้งฉากสี่พอร์ต (แนวนอนผ่านแนวตรง + แนวตั้งตั้งฉาก)

• ปฐมนิเทศสาขา:90° ระหว่างพอร์ตที่อยู่ติดกันทั้งหมด (มีมุมที่กำหนดเอง)

• ช่วงสุญญากาศ:บรรยากาศถึง 1×10⁻⁹ Torr (รองรับ UHV)

• มาตรฐานหน้าแปลน:ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat) หรือการกำหนดค่าแบบกำหนดเอง

• วัสดุ:สแตนเลส 304L / 316L (การซึมผ่านของแม่เหล็กต่ำ)

• พื้นผิวภายในเสร็จสิ้น:Ra ≤ 0.8 µm (ขัดด้วยไฟฟ้าหรือขัดเงาด้วยเครื่องจักร)

• อัตราการปล่อยก๊าซออก:< 2×10⁻⁸ Torr·L/s·cm² (หลังทำความสะอาดด้วยเครื่องดูดฝุ่น)

• ความสมบูรณ์ของการรั่วไหล:การทดสอบการรั่วของฮีเลียมที่ < 1×10⁻⁹ mbar·L/s

• ความสามารถในการอบขนม:สูงถึง 400°C (หน้าแปลน CF พร้อมซีลโลหะ)

• ตัวเลือกพอร์ต:พอร์ตทั้งหมดมีขนาดเท่ากันหรือลดขนาดไม้กางเขนที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางผสม

• สมมาตร:เรขาคณิตมุมฉากที่แท้จริงสำหรับลักษณะการไหลที่สม่ำเสมอ

การใช้งาน

• ดุมสุญญากาศแบบหลายเครื่องดนตรี:การเชื่อมต่อเกจ RGA และวิวพอร์ตพร้อมกัน

• ท่อผสมแก๊ส:การนำก๊าซในกระบวนการหลายชนิดมาสู่ห้องสะสม

• การสะสมของฟิล์มบาง:การสปัตเตอร์ การระเหย และระบบประปา ALD

• รูปแบบการสูบน้ำแบบไหลข้าม:การสูบน้ำแบบสมมาตรเพื่อการกระจายแรงดันสม่ำเสมอ

• เครื่องมือวิเคราะห์:แมสสเปกโตรมิเตอร์ กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน เครื่องมือวิเคราะห์พื้นผิว

• อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์:ตัวล็อคโหลด ห้องถ่ายโอน และโมดูลกระบวนการ

• ระบบสูญญากาศ R&D:การตั้งค่าการทดลองที่ยืดหยุ่นซึ่งต้องใช้จุดเข้าใช้งานหลายจุด

• การจำลองอวกาศ:พอร์ตเครื่องมือวัดห้องสุญญากาศความร้อน

เหตุใดจึงเลือกกากบาท 4 ทิศทางสำหรับระบบสุญญากาศ

เราผสมผสานการตีขึ้นรูปที่มีความแม่นยำ การใช้เครื่องจักร CNC และการเชื่อมแบบวงโคจรเพื่อส่งมอบกากบาทสุญญากาศที่ตรงหรือเกินกว่ามาตรฐานสุญญากาศสะอาดระดับสากล ไม้กางเขน 4 ทิศทางทุกอันได้รับการทดสอบการรั่วของฮีเลียม ทำความสะอาดอัลตราโซนิกด้วยผงซักฟอกเกรดเซมิคอนดักเตอร์ และบรรจุถุงสองชั้นในสภาพแวดล้อมห้องสะอาด การลดขนาดขวาง (เส้นผ่านศูนย์กลางพอร์ตที่แตกต่างกัน) การวางแนวพอร์ตแบบกำหนดเอง และขนาดพิเศษจากกึ่งกลางถึงหน้าแปลนพร้อมการสนับสนุนด้านวิศวกรรม