4-Wege-Kreuze für Vakuumsystem: Multi-Port-Integration mit voller Integrität

Produktbeschreibung

4-Wege-Kreuze für Vakuumsystemsind Präzisionsanschlüsse mit mehreren Anschlüssen, die dazu konzipiert sind, bis zu vier Vakuumkomponenten in orthogonalen Richtungen zu verbinden und gleichzeitig die Vakuumintegrität vom Grobvakuum bis zum Ultrahochvakuum (UHV) aufrechtzuerhalten. Im Gegensatz zu Standard-Rohrkreuzen verfügen diese vakuumtauglichen Komponenten über glatte Innengeometrien, minimale eingeschlossene Volumina und vakuumtaugliche Oberflächenveredelungen, um virtuelle Lecks zu beseitigen und Ausgasungen zu reduzieren.

Diese aus kohlenstoffarmem Edelstahl (304L oder 316L) gefertigten Kreuze sind für komplexe Vakuumverteiler, Kammern mit mehreren Instrumenten, Gasverteilungsknoten und Querstrompumpenkonfigurationen unverzichtbar. Jedes 4-Wege-Kreuz wird unter strenger Beachtung der Schweißqualität, der inneren Oberflächenbeschaffenheit und der Flanschausrichtung an allen vier Anschlüssen hergestellt. Ganz gleich, ob Sie eine Multisensor-Diagnosestation, einen Gasmischverteiler oder einen Vakuumknoten mit 360-Grad-Zugang bauen, diese Kreuze bieten die Leitfähigkeit, Flexibilität und Zuverlässigkeit, die anspruchsvolle Hochvakuum- und UHV-Anwendungen erfordern.

Hauptmerkmale und Eigenschaften

• Konfiguration:Vier orthogonale Ports (gerade horizontal + senkrecht vertikal)

• Branchenorientierung:90° zwischen allen benachbarten Anschlüssen (kundenspezifische Winkel verfügbar)

• Vakuumbereich:Atmosphärisch bis 1×10⁻⁹ Torr (UHV-kompatibel)

• Flanschstandards:ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat) oder benutzerdefinierte Konfigurationen

• Material:Edelstahl 304L / 316L (geringe magnetische Permeabilität)

• Interne Oberflächenbeschaffenheit:Ra ≤ 0,8 µm (elektropoliert oder mechanisch poliert)

• Ausgasungsrate:< 2×10⁻⁸ Torr·L/s·cm² (nach Staubsaugen)

• Leckintegrität:Heliumleck getestet auf < 1×10⁻⁹ mbar·L/s

• Ausheizfähigkeit:Bis 400°C (CF-Flansche mit Metalldichtungen)

• Portoptionen:Alle Anschlüsse gleich groß oder Reduzierkreuze mit unterschiedlichen Durchmessern

• Symmetrie:Echte orthogonale Geometrie für gleichmäßige Strömungseigenschaften

Anwendungen

• Vakuum-Hubs für mehrere Instrumente:Gleichzeitige Verbindung von Messgeräten, RGAs und Ansichtsfenstern

• Gasmischverteiler:Einleiten mehrerer Prozessgase in Abscheidungskammern

• Dünnschichtabscheidung:Sputtern, Verdampfen und ALD-Systeminstallation

• Konfigurationen für Querstrompumpen:Symmetrisches Pumpen für gleichmäßige Druckverteilung

• Analysegeräte:Massenspektrometer, Elektronenmikroskope, Oberflächenanalysegeräte

• Halbleiterausrüstung:Ladeschleusen, Transferkammern und Prozessmodule

• F&E-Vakuumsysteme:Flexible Versuchsaufbauten, die mehrere Zugangspunkte erfordern

• Weltraumsimulation:Instrumentierungsanschlüsse für thermische Vakuumkammern

Warum sollten Sie sich für unsere 4-Wege-Kreuze für Vakuumsysteme entscheiden?

Wir kombinieren Präzisionsschmieden, CNC-Bearbeitung und Orbitalschweißen, um Vakuumkreuze zu liefern, die die internationalen Standards für sauberes Vakuum erfüllen oder übertreffen. Jedes 4-Wege-Kreuz wird auf Heliumlecks getestet, mit Ultraschallreinigungsmitteln in Halbleiterqualität gereinigt und in einer Reinraumumgebung doppelt verpackt. Mit technischer Unterstützung sind Reduzierkreuze (verschiedene Anschlussdurchmesser), kundenspezifische Anschlussausrichtungen und spezielle Mitte-Flansch-Abmessungen erhältlich.