4-wegkruisen voor vacuümsysteem: integratie met meerdere poorten met volledige integriteit

Productbeschrijving

4-wegkruisen voor vacuümsysteemzijn precisie-fittingen met meerdere poorten, ontworpen om maximaal vier vacuümcomponenten in orthogonale richtingen aan te sluiten, terwijl de vacuümintegriteit zonder compromissen behouden blijft, van ruw vacuüm tot ultrahoog vacuüm (UHV). In tegenstelling tot standaard loodgieterskruisen hebben deze vacuümcomponenten een gladde interne geometrie, minimale ingesloten volumes en een oppervlakteafwerking van vacuümkwaliteit om virtuele lekken te elimineren en de ontgassing te verminderen.

Deze kruisen zijn vervaardigd uit koolstofarm roestvrij staal (304L of 316L) en zijn essentieel voor complexe vacuümspruitstukken, kamers voor meerdere instrumenten, gasdistributiehubs en cross-flow pompconfiguraties. Elk 4-voudig kruis wordt vervaardigd met strikte aandacht voor de laskwaliteit, de toestand van het interne oppervlak en de uitlijning van de flens over alle vier de poorten. Of u nu een diagnosestation met meerdere sensoren, een gasmengspruitstuk of een vacuümhub met 360 graden toegang bouwt, deze kruisen bieden de geleiding, flexibiliteit en betrouwbaarheid die veeleisende hoogvacuüm- en UHV-toepassingen vereisen.

Belangrijkste kenmerken en kenmerken

• Configuratie:Vier orthogonale poorten (rechtdoor horizontaal + loodrecht verticaal)

• Filiaaloriëntatie:90° tussen alle aangrenzende poorten (aangepaste hoeken beschikbaar)

• Vacuümbereik:Atmosferisch tot 1×10⁻⁹ Torr (UHV-compatibel)

• Flensnormen:ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat) of aangepaste configuraties

• Materiaal:304L / 316L roestvrij staal (lage magnetische permeabiliteit)

• Interne oppervlakteafwerking:Ra ≤ 0,8 µm (elektrolytisch gepolijst of mechanisch gepolijst)

• Uitgassingstarief:< 2×10⁻⁸ Torr·L/s·cm² (na stofzuigen)

• Lekkage-integriteit:Heliumlek getest tot < 1×10⁻⁹ mbar·L/s

• Bakeout-mogelijkheid:Tot 400°C (CF-flenzen met metalen afdichtingen)

• Poortopties:Alle poorten even groot, of kleinere kruisjes met gemengde diameters

• Symmetrie:Echte orthogonale geometrie voor uniforme stromingseigenschappen

Toepassingen

• Vacuümhubs voor meerdere instrumenten:Tegelijkertijd meters, RGA's en viewports verbinden

• Gasmengspruitstukken:Het introduceren van meerdere procesgassen in depositiekamers

• Dunnefilmafzetting:Sputteren, verdampen en ALD-systeemleidingen

• Configuraties voor kruisstroompompen:Symmetrisch pompen voor uniforme drukverdeling

• Analytische instrumenten:Massaspectrometers, elektronenmicroscopen, hulpmiddelen voor oppervlakteanalyse

• Halfgeleiderapparatuur:Laadsluizen, overdrachtskamers en procesmodules

• R&D vacuümsystemen:Flexibele experimentele opstellingen waarvoor meerdere toegangspunten nodig zijn

• Ruimtesimulatie:Instrumentatiepoorten voor thermische vacuümkamers

Waarom kiezen voor onze 4-wegkruisen voor vacuümsystemen?

We combineren precisiesmeedwerk, CNC-bewerking en orbitaal lassen om vacuümkruisen te leveren die voldoen aan de internationale normen voor schoon vacuüm of deze zelfs overtreffen. Elk 4-voudig kruis wordt op heliumlekken getest, ultrasoon gereinigd met halfgeleiderreinigingsmiddelen en in een dubbele zak verpakt in een cleanroomomgeving. Het verkleinen van kruisen (verschillende poortdiameters), aangepaste poortoriëntaties en speciale hart-tot-flensafmetingen zijn beschikbaar met technische ondersteuning.