진공 시스템에 대한 4 차원 교차: 완전한 무결성을 가진 멀티 포트 통합

제품 설명

진공 시스템용 4차선 교차are precision multi-port fittings designed to connect up to four vacuum components in orthogonal directions while maintaining uncompromised vacuum integrity from rough vacuum to ultra-high vacuum (UHV) levels표준 배관 구조와 달리, 이러한 진공 등급 구성 요소는 부드러운 내부 기하학, 최소한의 갇힌 부피,그리고 진공 고도의 표면 완공으로 가상의 누출을 제거하고 방출을 줄입니다..

저탄소 스테인레스 스틸 (304L 또는 316L) 에서 제조 된 이러한 십자가는 복잡한 진공 분포장, 멀티 도구 챔버, 가스 유통 허브,그리고 가로 흐름 펌프 구성각 4면 크로스는 용접 품질, 내부 표면 상태, 그리고 모든 4개의 포트에 걸쳐 플랜지 정렬에 엄격한 주의를 기울여 제조됩니다.멀티 센서 진단 스테이션을 만들고 있는지 여부, 가스 혼합 매니폴드, 또는 360도 액세스 진공 허브, 이러한 십자가는 요구 높은 진공 및 UHV 응용 프로그램에서 요구하는 전도성, 유연성 및 신뢰성을 제공합니다.

주요 특징 및 특징

• 구성:4개의 정사각형 포트 (평면 직선 + 수직 수직)

• 지부 안내:모든 인접 항구 사이의 90° (자격 각도 사용 가능)

• 진공 범위:1×10−9 Torr (UHV 호환) 에 대기로

• 플랜지 표준:ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat) 또는 사용자 지정 구성

• 소재:304L / 316L 스테인리스 스틸 (저자극성)

• 내부 표면 완화:Ra ≤ 0.8μm (전자 닦거나 기계적으로 닦은)

• 배출가스 비율:< 2×10−8 Torr·L/s·cm2 (청소식 후)

• 누출 무결성< 1×10−9 mbar·L/s로 테스트된 헬륨 누출

• 굽기 용량:400°C까지 (금속 밀폐가 있는 CF 플랜지)

• 포트 옵션:모든 포트 같은 크기, 또는 혼합 직경의 크기를 줄이는 십자

• 대칭성:균일 흐름 특성을 위한 진정한 직각 기하학

신청서

• 소재가 아닌 소재가 아닌 소재가이즈, RGA 및 뷰포트를 동시에 연결

• 가스 혼합 조리장:여러 가지 공정 가스를 퇴적 방으로 도입하는 것

• 얇은 필름 퇴적:스프터링, 증발 및 ALD 시스템 배관

• 크로스 플로우 펌프 구성:균일 압력 분포를 위한 대칭 펌핑

• 분석 기구:질량 분광기, 전자 현미경, 표면 분석 도구

• 반도체 장비:부하 잠금장, 전송실 및 공정 모듈

• 연구개발 진공 시스템:여러 액세스 포인트를 필요로 하는 유연한 실험 설정

• 우주 시뮬레이션:열 진공 챔버 기기 포트

왜 진공 시스템에서 우리의 4차선 교차를 선택합니까?

우리는 정밀 절제, CNC 가공, 그리고 궤도 용접을 결합하여 국제적인 깨끗한 진공 기준을 충족하거나 초과하는 진공 횡단을 제공합니다.반도체 수준의 세척제로 초음파로 청소한, 그리고 청정실 환경에서 이중 가방. 감소 십자 (다양한 포트 지름), 사용자 정의 포트 방향, 및 특수 센터에서 플랜지 차원은 엔지니어링 지원으로 제공됩니다.