バキュームシステムのための4道交差点:完全な整合性のあるマルチポート統合

製品説明

真空システム用4方向交差are precision multi-port fittings designed to connect up to four vacuum components in orthogonal directions while maintaining uncompromised vacuum integrity from rough vacuum to ultra-high vacuum (UHV) levels標準的な水道管のクロスとは異なり,これらの真空評価された部品は,平らな内部幾何学,最小の閉じ込められた体積,仮想的な漏れをなくし,排出量を減らすため,真空級の表面仕上げ.

低炭素ステンレス鋼 (304Lまたは316L) から製造されたこれらのクロスは,複雑な真空マニホールド,マルチインストゥルメント室,ガス配送ハブ,横流ポンプの配置4 方向のクロスは,溶接品質,内部表面状態,および4 つのポートのフレンジの調整に厳格な注意を払って製造されています.マルチセンサ診断ステーションを 構築しているかどうかこのクロスは高真空およびUHVアプリケーションに必要な伝導性,柔軟性,信頼性を提供します 電気の供給は,高真空およびUHVアプリケーションで

主要 な 特徴 と 特徴

• 構成:4つの直角端口 (横直線+垂直線)

• 支部 の 案内:すべての隣接する港間の90° (カスタム角度が利用可能)

• バキューム範囲:1×10−9トール (UHV対応) に大気

• フレンズ規格:ISO-KF,ISO-K,CF (ConFlat) またはカスタム構成

• 材料:304L / 316L不?? 鋼 (低磁気浸透性)

• 内部表面の仕上げ:Ra ≤ 0.8 μm (電気磨きまたは機械磨き)

• 排気量:< 2×10−8 Torr·L/s·cm2 (真空掃除後)

• 漏洩の完全性< 1×10−9 mbar·L/s で試験されたヘリウム漏れ

• 焼却能力:400°Cまで (金属シール付きCFフレンズ)

• ポートオプション:すべてのポート同じサイズ,または混合直径の縮小クロス

• シンメトリー均質な流量特性のための真の直角幾何学

申請

• 複数の器具用真空ハブ:計測器,RGA,およびビューポートを同時に接続する

• ガスを混ぜるマニホット:堆積室に複数のプロセスガスを導入する

• 薄膜堆積物:スプッター,蒸発,ALDシステム管道

• 横流ポンプ配置:均質な圧力分布のための対称ポンプ

• 分析装置:質量スペクトロメーター,電子顕微鏡,表面分析ツール

• 半導体機器:負荷ロック,転送室,およびプロセスモジュール

• R&D真空システム:複数のアクセスポイントを必要とする柔軟な実験設定

• 宇宙シミュレーション熱真空室の計測装置のポート

なぜ真空システムに 4方向のクロスを 選ぶのか?

精密鍛造,CNC加工,軌道溶接を組み合わせて 国際的なクリーン真空基準を満たすか超えた 真空クロスを作ります半導体級洗剤で超音波で清掃されたクリーンルーム環境でダブルバッグ化されている.縮小クロス (異なるポート直径),カスタムポート方向化,および特殊なセンターからフレンジ寸法がエンジニアリングサポートで利用可能である.