Cruces de 4 vías para sistema de vacío: integración multipuerto con total integridad

Descripción del Producto

Cruces de 4 vías para sistema de vacío.son accesorios multipuerto de precisión diseñados para conectar hasta cuatro componentes de vacío en direcciones ortogonales manteniendo al mismo tiempo la integridad del vacío sin comprometer, desde niveles de vacío aproximado hasta niveles de vacío ultraalto (UHV). A diferencia de las cruces de plomería estándar, estos componentes aptos para vacío presentan geometrías internas suaves, volúmenes atrapados mínimos y acabados superficiales aptos para vacío para eliminar fugas virtuales y reducir la desgasificación.

Fabricadas con acero inoxidable con bajo contenido de carbono (304L o 316L), estas cruces son esenciales para colectores de vacío complejos, cámaras de múltiples instrumentos, centros de distribución de gas y configuraciones de bombeo de flujo cruzado. Cada cruce de 4 vías se fabrica prestando estricta atención a la calidad de la soldadura, la condición de la superficie interna y la alineación de las bridas en los cuatro puertos. Ya sea que esté construyendo una estación de diagnóstico multisensor, un colector de mezcla de gases o un centro de vacío con acceso de 360 ​​grados, estas cruces brindan la conductancia, flexibilidad y confiabilidad que requieren las exigentes aplicaciones de alto vacío y UHV.

Características y características clave

• Configuración:Cuatro puertos ortogonales (horizontal directo + vertical perpendicular)

• Orientación de sucursales:90° entre todos los puertos adyacentes (ángulos personalizados disponibles)

• Rango de vacío:Atmosférico a 1×10⁻⁹ Torr (compatible con UHV)

• Estándares de bridas:ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat) o configuraciones personalizadas

• Material:Acero inoxidable 304L / 316L (baja permeabilidad magnética)

• Acabado de la superficie interna:Ra ≤ 0,8 µm (electropulido o pulido mecánico)

• Tasa de desgasificación:< 2×10⁻⁸ Torr·L/s·cm² (después de aspirar)

• Integridad de la fuga:Fuga de helio probada a < 1×10⁻⁹ mbar·L/s

• Capacidad de horneado:Hasta 400°C (bridas CF con juntas metálicas)

• Opciones de puerto:Todos los puertos del mismo tamaño, o cruces reductoras con diámetros mixtos

• Simetría:Verdadera geometría ortogonal para características de flujo uniformes

Aplicaciones

• Centros de vacío para múltiples instrumentos:Conexión de medidores, RGA y ventanas gráficas simultáneamente

• Colectores de mezcla de gases:Introducción de múltiples gases de proceso a las cámaras de deposición

• Deposición de película delgada:Sputtering, evaporación y plomería del sistema ALD

• Configuraciones de bombeo de flujo cruzado:Bombeo simétrico para una distribución uniforme de la presión

• Instrumentos analíticos:Espectrómetros de masas, microscopios electrónicos, herramientas de análisis de superficies.

• Equipos semiconductores:Cerraduras de carga, cámaras de transferencia y módulos de proceso

• Sistemas de vacío de I+D:Configuraciones experimentales flexibles que requieren múltiples puntos de acceso

• Simulación espacial:Puertos de instrumentación de la cámara de vacío térmico

¿Por qué elegir nuestras cruces de 4 vías para sistemas de vacío?

Combinamos forjado de precisión, mecanizado CNC y soldadura orbital para ofrecer cruces de vacío que cumplen o superan los estándares internacionales de vacío limpio. Cada cruce de 4 vías se prueba contra fugas de helio, se limpia ultrasónicamente con detergentes de grado semiconductor y se empaqueta en doble bolsa en un entorno de sala limpia. Cruces reductoras (diferentes diámetros de puerto), orientaciones de puerto personalizadas y dimensiones especiales del centro a la brida están disponibles con soporte de ingeniería.