4-сторонние крестовины для вакуумной системы: многопортовая интеграция с полной целостностью

Описание продукта

4-ходовые крестовины для вакуумной системыпредставляют собой прецизионные многопортовые фитинги, предназначенные для соединения до четырех вакуумных компонентов в ортогональных направлениях, сохраняя при этом бескомпромиссную целостность вакуума от уровня грубого вакуума до сверхвысокого вакуума (СВВ). В отличие от стандартных сантехнических крестовин, эти компоненты, рассчитанные на вакуум, имеют гладкую внутреннюю геометрию, минимальные захваченные объемы и обработку поверхности, соответствующую требованиям вакуума, для устранения виртуальных утечек и уменьшения газовыделения.

Эти крестовины, изготовленные из низкоуглеродистой нержавеющей стали (304L или 316L), незаменимы для сложных вакуумных манифольдов, многоприборных камер, газораспределительных узлов и конфигураций насосов с перекрестным потоком. Каждая четырехходовая крестовина изготавливается с особым вниманием к качеству сварки, состоянию внутренней поверхности и выравниванию фланцев по всем четырем портам. Независимо от того, строите ли вы мультисенсорную диагностическую станцию, коллектор для смешивания газов или вакуумный узел с доступом на 360 градусов, эти кресты обеспечивают проводимость, гибкость и надежность, необходимые для требовательных приложений с высоким вакуумом и сверхвысоким напряжением.

Ключевые особенности и характеристики

• Конфигурация:Четыре ортогональных порта (прямой горизонтальный + перпендикулярный вертикальный)

• Ориентация филиала:90° между всеми соседними портами (доступны нестандартные углы)

• Диапазон вакуума:Атмосферное до 1×10⁻⁹ Торр (совместимо со сверхвысоким напряжением)

• Стандарты фланцев:ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat) или пользовательские конфигурации

• Материал:Нержавеющая сталь 304L/316L (низкая магнитная проницаемость)

• Отделка внутренней поверхности:Ra ≤ 0,8 мкм (электрополировка или механическая полировка)

• Скорость дегазации:< 2×10⁻⁸ Торр·л/с·см² (после очистки пылесосом)

• Целостность утечки:Утечка гелия проверена на давление < 1×10⁻⁹ мбар·л/с.

• Возможность запекания:До 400°C (фланцы CF с металлическими уплотнениями)

• Параметры порта:Все порты одинакового размера или крестовины разного диаметра.

• Симметрия:Настоящая ортогональная геометрия для равномерных характеристик потока

Приложения

• Многоинструментальные вакуумные концентраторы:Одновременное подключение датчиков, RGA и видовых экранов

• Газосмесительные коллекторы:Подача нескольких технологических газов в камеры осаждения

• Тонкопленочное осаждение:Напыление, испарение и сантехника системы ALD

• Конфигурации перекрестного перекачивания:Симметричная перекачка для равномерного распределения давления

• Аналитические инструменты:Масс-спектрометры, электронные микроскопы, инструменты анализа поверхности

• Полупроводниковое оборудование:Загрузочные шлюзы, передаточные камеры и технологические модули

• НИОКР вакуумных систем:Гибкие экспериментальные установки, требующие нескольких точек доступа

• Космическое моделирование:Порты для приборов термовакуумной камеры

Почему стоит выбрать наши четырехходовые крестовины для вакуумных систем?

Мы сочетаем прецизионную ковку, обработку на станках с ЧПУ и орбитальную сварку для производства вакуумных крестовин, которые соответствуют международным стандартам чистого вакуума или превосходят их. Каждое четырехстороннее перекрестие проверяется на герметичность гелием, очищается ультразвуком с использованием моющих средств полупроводникового класса и упаковывается в двойной мешок в условиях чистой комнаты. Редукционные крестовины (различные диаметры портов), пользовательская ориентация портов и специальные размеры расстояния от центра до фланца доступны при технической поддержке.