Crosses 4 chiều cho hệ thống chân không: Tích hợp nhiều cổng với tính toàn vẹn hoàn toàn

Mô tả sản phẩm

Cross 4 chiều cho hệ thống chân khônglà các phụ kiện nhiều cổng chính xác được thiết kế để kết nối tối đa bốn bộ phận chân không theo hướng trực giao trong khi vẫn duy trì tính toàn vẹn chân không vượt trội từ mức chân không thô đến mức chân không siêu cao (UHV). Không giống như các đường ống dẫn nước tiêu chuẩn, các bộ phận được đánh giá bằng chân không này có hình học bên trong mịn, thể tích bị kẹt tối thiểu và bề mặt được hoàn thiện ở cấp độ chân không để loại bỏ rò rỉ ảo và giảm lượng khí thoát ra ngoài.

Được sản xuất từ ​​​​thép không gỉ có hàm lượng carbon thấp (304L hoặc 316L), những đường chéo này rất cần thiết cho các ống góp chân không phức tạp, buồng chứa nhiều dụng cụ, trung tâm phân phối khí và cấu hình bơm dòng chảy chéo. Mỗi đường chéo 4 chiều được chế tạo với sự chú ý nghiêm ngặt đến chất lượng mối hàn, tình trạng bề mặt bên trong và sự căn chỉnh mặt bích trên tất cả bốn cổng. Cho dù bạn đang xây dựng một trạm chẩn đoán đa cảm biến, một ống góp trộn khí hay một trung tâm chân không truy cập 360 độ, những cây thánh giá này đều mang lại độ dẫn điện, tính linh hoạt và độ tin cậy mà các ứng dụng UHV và chân không cao yêu cầu.

Các tính năng và đặc điểm chính

• Cấu hình:Bốn cổng trực giao (thẳng ngang + vuông góc dọc)

• Định hướng chi nhánh:90° giữa tất cả các cổng liền kề (có sẵn các góc tùy chỉnh)

• Phạm vi chân không:Khí quyển tới 1×10⁻⁹ Torr (tương thích với UHV)

• Tiêu chuẩn mặt bích:Cấu hình ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat) hoặc tùy chỉnh

• Vật liệu:Thép không gỉ 304L/316L (độ thấm từ thấp)

• Hoàn thiện bề mặt bên trong:Ra ≤ 0,8 µm (đánh bóng bằng điện hoặc đánh bóng cơ học)

• Tỷ lệ thoát khí:< 2×10⁻⁸ Torr·L/s·cm² (sau khi hút bụi)

• Tính toàn vẹn của rò rỉ:Đã kiểm tra rò rỉ khí heli ở mức < 1×10⁻⁹ mbar·L/s

• Khả năng nướng:Lên đến 400°C (mặt bích CF có vòng đệm kim loại)

• Tùy chọn cổng:Tất cả các cổng có cùng kích thước hoặc giảm đường chéo với đường kính hỗn hợp

• tính đối xứng:Hình học trực giao thực sự cho đặc tính dòng chảy đồng đều

Ứng dụng

• Trung tâm chân không đa dụng cụ:Kết nối đồng thời các đồng hồ đo, RGA và khung nhìn

• Bộ trộn khí:Đưa nhiều loại khí xử lý vào buồng lắng đọng

• Lắng đọng màng mỏng:Hệ thống ống nước phún xạ, bay hơi và ALD

• Cấu hình bơm dòng chảy chéo:Bơm đối xứng để phân phối áp suất đồng đều

• Dụng cụ phân tích:Máy quang phổ khối, kính hiển vi điện tử, dụng cụ phân tích bề mặt

• Thiết bị bán dẫn:Khóa tải, buồng chuyển và mô-đun xử lý

• Hệ thống chân không R & D:Thiết lập thử nghiệm linh hoạt yêu cầu nhiều điểm truy cập

• Mô phỏng không gian:Cổng thiết bị buồng chân không nhiệt

Tại sao chọn Crosses 4 chiều của chúng tôi cho hệ thống chân không?

Chúng tôi kết hợp rèn chính xác, gia công CNC và hàn quỹ đạo để tạo ra các đường chéo chân không đáp ứng hoặc vượt tiêu chuẩn chân không sạch quốc tế. Mỗi đường chéo 4 chiều đều được kiểm tra rò rỉ khí heli, được làm sạch bằng siêu âm bằng chất tẩy rửa cấp bán dẫn và được đóng gói hai lần trong môi trường phòng sạch. Giảm các đường chéo (đường kính cổng khác nhau), hướng cổng tùy chỉnh và kích thước từ tâm đến mặt bích đặc biệt có sẵn với sự hỗ trợ kỹ thuật.