Σταυροί 4 κατευθύνσεων για σύστημα κενού: Ενσωμάτωση πολλαπλών θυρών με πλήρη ακεραιότητα

Περιγραφή προϊόντος

Σταυροί 4 κατευθύνσεων για σύστημα κενούείναι εξαρτήματα πολλαπλών θυρών ακριβείας που έχουν σχεδιαστεί για τη σύνδεση έως και τεσσάρων εξαρτημάτων κενού σε ορθογώνιες κατευθύνσεις, διατηρώντας παράλληλα την αδιαμφισβήτητη ακεραιότητα του κενού από το τραχύ κενό έως τα εξαιρετικά υψηλά επίπεδα κενού (UHV). Σε αντίθεση με τους τυπικούς σταυρούς υδραυλικών εγκαταστάσεων, αυτά τα εξαρτήματα με βαθμολογία κενού διαθέτουν ομαλές εσωτερικές γεωμετρίες, ελάχιστους εγκλωβισμένους όγκους και φινιρίσματα επιφανειών ποιότητας κενού για την εξάλειψη των εικονικών διαρροών και τη μείωση της εκροής αερίων.

Κατασκευασμένοι από ανοξείδωτο χάλυβα χαμηλής περιεκτικότητας σε άνθρακα (304L ή 316L), αυτοί οι σταυροί είναι απαραίτητοι για σύνθετους πολλαπλούς κενού, θαλάμους πολλαπλών οργάνων, κόμβους διανομής αερίου και διαμορφώσεις άντλησης εγκάρσιας ροής. Κάθε σταυρός 4 κατευθύνσεων κατασκευάζεται με αυστηρή προσοχή στην ποιότητα συγκόλλησης, την κατάσταση της εσωτερικής επιφάνειας και την ευθυγράμμιση της φλάντζας και στις τέσσερις θύρες. Είτε κατασκευάζετε έναν διαγνωστικό σταθμό πολλαπλών αισθητήρων, μια πολλαπλή ανάμειξης αερίων ή έναν κόμβο κενού πρόσβασης 360 μοιρών, αυτοί οι σταυροί προσφέρουν την αγωγιμότητα, την ευελιξία και την αξιοπιστία που απαιτούν οι απαιτητικές εφαρμογές υψηλού κενού και UHV.

Βασικά Χαρακτηριστικά & Χαρακτηριστικά

• Διαμόρφωση:Τέσσερις ορθογώνιες θύρες (ευθεία οριζόντια + κάθετη κάθετη)

• Προσανατολισμός κλάδου:90° μεταξύ όλων των παρακείμενων θυρών (διαθέσιμες προσαρμοσμένες γωνίες)

• Εύρος κενού:Ατμοσφαιρικό έως 1×10-4 Torr (συμβατό με UHV)

• Πρότυπα φλάντζας:ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat) ή προσαρμοσμένες διαμορφώσεις

• Υλικό:304L / 316L από ανοξείδωτο χάλυβα (χαμηλή μαγνητική διαπερατότητα)

• Φινίρισμα εσωτερικής επιφάνειας:Ra ≤ 0,8 µm (ηλεκτρογυαλισµένο ή µηχανικά γυαλισµένο)

• Ποσοστό εξαγωγής αερίων:< 2×10⁻8 Torr·L/s·cm² (μετά τον καθαρισμό με ηλεκτρική σκούπα)

• Ακεραιότητα διαρροής:Η διαρροή ηλίου δοκιμάστηκε σε < 1×10-4 mbar·L/s

• Δυνατότητα Bakeout:Έως 400°C (φλάντζες CF με μεταλλικές σφραγίδες)

• Επιλογές λιμένα:Όλες οι θύρες ίδιου μεγέθους ή μειωτικοί σταυροί με μικτές διαμέτρους

• Συμμετρία:Πραγματική ορθογώνια γεωμετρία για ομοιόμορφα χαρακτηριστικά ροής

Εφαρμογές

• Διανομείς κενού πολλαπλών οργάνων:Ταυτόχρονη σύνδεση μετρητών, RGA και θυρών προβολής

• Πολλαπλοί ανάμειξης αερίου:Εισαγωγή αερίων πολλαπλών διεργασιών στους θαλάμους εναπόθεσης

• Εναπόθεση λεπτής μεμβράνης:Υδραυλικά συστήματα διασκορπισμού, εξάτμισης και ALD

• Διαμορφώσεις άντλησης διασταυρούμενης ροής:Συμμετρική άντληση για ομοιόμορφη κατανομή πίεσης

• Αναλυτικά όργανα:Φασματόμετρα μάζας, ηλεκτρονικά μικροσκόπια, εργαλεία ανάλυσης επιφανειών

• Εξοπλισμός ημιαγωγών:Φορτώστε κλειδαριές, θαλάμους μεταφοράς και μονάδες διεργασίας

• Συστήματα κενού Ε&Α:Ευέλικτες πειραματικές ρυθμίσεις που απαιτούν πολλαπλά σημεία πρόσβασης

• Προσομοίωση χώρου:Θύρες οργάνων θερμικού θαλάμου κενού

Γιατί να επιλέξετε τους σταυρούς 4 κατευθύνσεων για συστήματα κενού;

Συνδυάζουμε σφυρηλάτηση ακριβείας, κατεργασία CNC και τροχιακή συγκόλληση για να παραδώσουμε σταυρούς κενού που πληρούν ή υπερβαίνουν τα διεθνή πρότυπα καθαρού κενού. Κάθε διασταύρωση 4 κατευθύνσεων ελέγχεται για διαρροή ηλίου, καθαρίζεται με υπερήχους με απορρυπαντικά ποιότητας ημιαγωγών και τοποθετείται σε διπλή σακούλα σε περιβάλλον καθαρού δωματίου. Σταυροί μείωσης (διαφορετικές διαμέτρους θυρών), προσαρμοσμένοι προσανατολισμοί θυρών και ειδικές διαστάσεις από κέντρο σε φλάντζα είναι διαθέσιμα με τεχνική υποστήριξη.