Persilangan 4 Arah untuk Sistem Vakum: Integrasi Multi-Port dengan Integritas Penuh

Deskripsi Produk

Persilangan 4 arah untuk sistem vakumadalah alat kelengkapan multi-port presisi yang dirancang untuk menghubungkan hingga empat komponen vakum dalam arah ortogonal sambil menjaga integritas vakum tanpa kompromi dari tingkat vakum kasar hingga vakum ultra-tinggi (UHV). Tidak seperti persilangan pipa standar, komponen dengan peringkat vakum ini memiliki geometri internal yang halus, volume terperangkap yang minimal, dan penyelesaian permukaan tingkat vakum untuk menghilangkan kebocoran virtual dan mengurangi pelepasan gas.

Diproduksi dari baja tahan karat rendah karbon (304L atau 316L), persilangan ini penting untuk manifold vakum yang kompleks, ruang multi-instrumen, pusat distribusi gas, dan konfigurasi pemompaan aliran silang. Setiap salib 4 arah dibuat dengan perhatian ketat terhadap kualitas las, kondisi permukaan internal, dan penyelarasan flensa di keempat port. Baik Anda sedang membangun stasiun diagnostik multi-sensor, manifold pencampur gas, atau hub vakum akses 360 derajat, persilangan ini memberikan konduktansi, fleksibilitas, dan keandalan yang memerlukan aplikasi vakum tinggi dan UHV.

Fitur & Karakteristik Utama

• Konfigurasi:Empat port ortogonal (lurus horizontal + tegak lurus vertikal)

• Orientasi Cabang:90° antara semua port yang berdekatan (tersedia sudut khusus)

• Kisaran Vakum:Atmosfer hingga 1×10⁻⁹ Torr (kompatibel dengan UHV)

• Standar Flensa:ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat), atau konfigurasi khusus

• Bahan:Baja tahan karat 304L / 316L (permeabilitas magnetik rendah)

• Selesai Permukaan Dalam:Ra ≤ 0,8 µm (dipoles secara elektro atau dipoles secara mekanis)

• Tingkat Pelepasan Gas:< 2×10⁻⁸ Torr·L/s·cm² (setelah pembersihan vakum)

• Integritas Kebocoran:Kebocoran helium diuji hingga < 1×10⁻⁹ mbar·L/s

• Kemampuan Memanggang:Hingga 400°C (flensa CF dengan segel logam)

• Opsi Pelabuhan:Semua port berukuran sama, atau mengurangi persilangan dengan diameter beragam

• Simetri:Geometri ortogonal sejati untuk karakteristik aliran seragam

Aplikasi

• Hub vakum multi-instrumen:Menghubungkan pengukur, RGA, dan area pandang secara bersamaan

• Manifold pencampur gas:Memperkenalkan beberapa gas proses ke ruang deposisi

• Deposisi film tipis:Sputtering, evaporasi, dan pipa sistem ALD

• Konfigurasi pemompaan lintas aliran:Pemompaan simetris untuk distribusi tekanan yang seragam

• Instrumen analisis:Spektrometer massa, mikroskop elektron, alat analisis permukaan

• Peralatan semikonduktor:Kunci muat, ruang transfer, dan modul proses

• Sistem vakum penelitian dan pengembangan:Pengaturan eksperimental fleksibel yang memerlukan beberapa titik akses

• Simulasi luar angkasa:Port instrumentasi ruang vakum termal

Mengapa Memilih Persilangan 4 Arah Kami untuk Sistem Vakum?

Kami menggabungkan penempaan presisi, permesinan CNC, dan pengelasan orbital untuk menghasilkan persilangan vakum yang memenuhi atau melampaui standar vakum bersih internasional. Setiap persilangan 4 arah telah diuji kebocoran helium, dibersihkan secara ultrasonik dengan deterjen tingkat semikonduktor, dan dimasukkan ke dalam kantong ganda di lingkungan ruang bersih. Mengurangi persilangan (diameter port berbeda), orientasi port khusus, dan dimensi pusat-ke-flensa khusus tersedia dengan dukungan teknik.