การสอดสาน 4 เส้นทางสําหรับระบบ Vakuum: การบูรณาการ Multi-Port ด้วยความสมบูรณ์แบบอย่างเต็มที่

คําอธิบายสินค้า

การตัด 4 ทางสําหรับระบบระบายความว่างare precision multi-port fittings designed to connect up to four vacuum components in orthogonal directions while maintaining uncompromised vacuum integrity from rough vacuum to ultra-high vacuum (UHV) levelsไม่เหมือนกับสัญลักษณ์ประกอบการปรับปรุงระบบประปาแบบมาตรฐาน ส่วนประกอบที่ระดับระยะว่างนี้ มีรูปทรงภายในเรียบ,และการทําความสําเร็จบนพื้นผิวระดับระดับระยะว่าง เพื่อกําจัดการรั่วไหล virtual และลดการออกก๊าซ.

ผลิตจากสแตนเลสที่มีคาร์บอนต่ํา (304L หรือ 316L) สลับเหล่านี้เป็นสิ่งจําเป็นสําหรับแหล่งเก็บความซับซ้อน, ห้องหลายเครื่องมือ, จุดกระจายก๊าซและระบบปั๊มระบายข้ามการผลิตทุกเส้นสี่ทาง ด้วยความใส่ใจอย่างเข้มงวดต่อคุณภาพการผสมผสาน สภาพพื้นผิวภายใน และการจัดสรร flange ทั่วทุก 4 ท่าทางไม่ว่าคุณจะสร้างสถานีวินิจฉัยหลายเซนเซอร์, แมนนิโพลด์ผสมก๊าซ, หรือฮับแวคูมิคการเข้าถึง 360 องศา, ไม้กราฟเหล่านี้ให้การนํา, ความยืดหยุ่น, และความน่าเชื่อถือที่ต้องการการใช้งานแวคูมิคสูงและ UHV.

ลักษณะและลักษณะสําคัญ

• การตั้งค่า:สี่ช่องทางตรง (ตรงผ่านแนวราบ + ตรงตั้งแนวตั้ง)

• สาขา:90° ระหว่างท่าเรือที่อยู่ใกล้เคียงกันทั้งหมด (มุมตามความต้องการ)

• ระยะระยะว่าง:ระดับบรรยากาศ 1×10−9 Torr (เข้ากับ UHV)

• มาตรฐานของฟลานจ์:ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat) หรือการตั้งค่าตามความต้องการ

• วัสดุสแตนเลส 304L / 316L (ความสามารถในการผ่านแม่เหล็กต่ํา)

• ปลายพื้นผิวภายใน:Ra ≤ 0.8 μm (เคลือบไฟฟ้าหรือเคลือบกล)

• อัตราการออกก๊าซ< 2×10−8 Torr·L/s·cm2 (หลังจากทําความสะอาดด้วยสูบ)

• ความสมบูรณ์แบบของการรั่วไหลการรั่วไหลของฮีเลียมที่ทดสอบถึง < 1 × 10−9 mbar·L/s

• ความสามารถในการเผา:ถึง 400 °C (ฟลานจ์ CF พร้อมปุ่มโลหะ)

• ตัวเลือกพอร์ต:ท่าทางทั้งหมดขนาดเดียวกัน หรือลดเส้นตัดที่มีกว้างผสม

• สัมมาตร:กณิตศาสตร์ตรงขวาที่แท้จริงสําหรับลักษณะการไหลของระดับเดียวกัน

การใช้งาน

• เครื่องสกัดกระบอกสกัดกระบอกการเชื่อมโยงเครื่องวัด, RGA และพอร์ตวิวพร้อมกัน

• เครื่องผสมก๊าซ:การนําก๊าซกระบวนการหลายชนิดเข้าไปในห้องฝัง

• การฝากผนังบาง:การพ่น, การระเหย, และระบบ ALD

• ระบบการปั๊มระบายข้าม:การปั๊มแบบ symmetric สําหรับการกระจายความดันที่เท่าเทียมกัน

• เครื่องมือวิเคราะห์:เครื่องวัดสเปคตรเมตรมวล เครื่องกล้องจุลินทรีย์อิเล็กตรอน เครื่องมือวิเคราะห์ผิว

• อุปกรณ์ครึ่งตัวนํา:โหลดภาระ, ห้องโอนและโมดูลกระบวนการ

• R&D ระบบสูบ:การจัดตั้งการทดลองแบบยืดหยุ่นที่ต้องการจุดเข้าหลายจุด

• การจําลองอวกาศ:ประตูอุปกรณ์ห้องสูญเสียความร้อน

ทําไมต้องเลือกเครื่องสี่ทางของเรา สําหรับระบบระบายความร้อน

เรารวมการโกหกแม่นยํา การแปรรูป CNC และการปั่นออร์บิตัล เพื่อให้มีสลัดระยะว่าง ที่ตรงกับหรือเกินมาตรฐานระยะว่างที่สะอาดสากลทําความสะอาด ultrasonic ด้วยยาซักผ้าประเภท semiconductor, และกระเป๋าสองในสภาพแวดล้อมห้องสะอาด การลดกระดาน (กว้างประตูที่แตกต่างกัน), การตั้งทิศทางประตูที่กําหนดเอง, และมิติพิเศษจากศูนย์ไปยัง flange มีให้พร้อมด้วยการสนับสนุนด้านวิศวกรรม